高润滑高稀释倍率金刚线切割液及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种高润滑高稀释倍率金刚线切割液及其制备方法，其重量按个百分比计算，其组分分别为，20‑35％的润滑型表面活性剂，5‑15％的渗透性表面活性剂，7‑15％防锈型pH调整剂，5‑13％改性硅氧烷消泡剂，余量为水；本发明专利技术为硅片加工用金刚线线切割液，适应金刚线加工线切割工艺，使用时高倍率(200‑400倍)稀释，使用过程中拥有良好的润滑性和分散能力，切片良率在98％以上。有效降低硅片的线痕，TTV、崩边。

WEDM Fluid with High Lubrication and High Dilution Ratio and Its Preparation Method

The invention discloses a high lubrication and high dilution ratio diamond wire cutting fluid and its preparation method. Its weight is calculated by a percentage, and its components are 20 35% lubricating surfactant, 5 15% permeable surfactant, 7 15% rust-proof pH regulator, 5 13% modified siloxane defoamer, and the remainder is water. The diamond wire cutting method for silicon wafer processing is provided. Liquid, suitable for WEDM process, high rate of dilution (200 to 400 times), good lubricity and dispersibility in the process of use, slice yield of more than 98%. It can effectively reduce the line marks, TTV and edge collapse of silicon wafer.

【技术实现步骤摘要】
高润滑高稀释倍率金刚线切割液及其制备方法
本专利技术涉及一种线切割液及其制备方法，特别是涉及一种用于硅片线切割的高润滑高稀释倍率金刚线切割液及其制备方法。
技术介绍
随着光伏产业的迅速发展，硅片切割方式发生了巨大的变化，从原料的钢线磨料切割加工，进化成了金刚线切割加工。随着加工线材的进化，原来适合钢线磨料加工的聚乙二醇体系原液使用加工液，被新型的可稀释的表面活性剂体系线切割加工液所取代。原来加工一次需要加入200-400kg原液，且有15-30％的消耗量，现在只需要少量添加新型的线切割液就能达到同等及以上效果，我司高润滑高稀释倍率金刚线切割液，稀释倍率为200-400倍，只需要1kg产品，就可以满足一次加工需求，消耗量远小于聚乙二醇体系。相比同体系的表面活性剂类产品，也有稀释倍率高，润滑性好等优势。
技术实现思路
一种本专利技术公开了一种用于高润滑高稀释倍率金刚线切割液及其制备方法，用高润滑与可高倍稀释原料配制而成。配方由以下组份组成：所述润滑型表面活性剂反向EO/PO嵌段聚合物、聚醚脂、二聚酸酰胺、烷氧基多羟基化合物、脂肪醇EO/PO聚醚、丙烯酸聚乙二醇共聚物、蓖麻油聚氧乙烯醚或中的一种或几种的混合物。所述渗透型表面活性剂为聚乙烯月桂酸酯、油醇聚氧乙烯脂、润湿剂快T、渗透剂JFC、聚乙二醇双硬脂酸酯或椰子油酸聚氧乙烯酯中的一种或几种的混合物。所述防锈型pH调整剂为一乙醇胺，二乙醇胺，三乙醇胺，一异丙醇胺或三异丙醇胺一种或几种的混合物。所述改性硅氧烷消泡剂为道康宁消泡剂。高润滑高稀释倍率金刚线切割液的制备方法，包括以下步骤：称取具有高润滑性的表面活性剂20-35kg，放入搅拌釜中，再依次加入5-15kg的润湿型表面活性剂，5-10kg的pH调整剂，1-10kg的改性硅氧烷消泡剂，加水补充到100kg.，开始搅拌，搅拌温度常温，搅拌速度300转/分钟。搅拌时间为60分钟停止搅拌，样品为无色至淡黄色均一液体。出料装入包装瓶。本专利技术的积极进步效果在于：1、该线切割液适合金刚线线切割加工，稀释比例高，单次使用量低，使用成本低，使用液有机物含量低，废水处理压力小。2、该线切割液润滑性好，分散性佳，有效降低线痕、TTV、崩边。使用过程中不起泡，无溢缸。具体实施方式一种本专利技术公开了一种用于硅片线切割的高润滑高稀释倍率金刚线切割液的制备方法。配方由以下组份组成：所述润滑型表面活性剂反向EO/PO嵌段聚合物、聚醚脂、二聚酸酰胺、烷氧基多羟基化合物、脂肪醇EO/PO聚醚、丙烯酸聚乙二醇共聚物、蓖麻油聚氧乙烯醚或中的一种或几种的混合物。所述渗透型表面活性剂为聚乙烯月桂酸酯、油醇聚氧乙烯脂、润湿剂快T、渗透剂JFC、聚乙二醇双硬脂酸酯或椰子油酸聚氧乙烯酯中的一种或几种的混合物。防锈型pH调整剂为一乙醇胺，二乙醇胺，三乙醇胺，一异丙醇胺或三异丙醇胺一种或几种的混合物。改性硅氧烷消泡剂为道康宁消泡剂。实施例1：称取具有高润滑性的表面活性剂20kg，放入搅拌釜中，再依次加入5kg的渗透型表面活性剂，5kg的pH调整剂，1kg的改性硅氧烷消泡剂，加水补充到100kg.，开始搅拌，搅拌温度常温，搅拌速度300转/分钟。搅拌时间为60分钟停止搅拌，样品为无色至淡黄色均一液体。实施例2：称取具有高润滑性的表面活性剂30kg，放入搅拌釜中，再依次加入10kg的渗透型表面活性剂，8kg的pH调整剂，5kg的改性硅氧烷消泡剂，加水补充到100kg.，开始搅拌，搅拌温度常温，搅拌速度300转/分钟。搅拌时间为60分钟停止搅拌，样品为无色至淡黄色均一液体。实施例3：称取具有高润滑性的表面活性剂35kg，放入搅拌釜中，再依次加入15kg的渗透型表面活性剂，10kg的pH调整剂，10kg的改性硅氧烷消泡剂，加水补充到100kg.，开始搅拌，搅拌温度常温，搅拌速度300转/分钟。搅拌时间为60分钟停止搅拌，样品为无色至淡黄色均一液体。各个实施例稀释300倍后测试结果如下表所示：四球摩擦系数参照GB/T3142-1982润滑剂承载能力测试法测试。泡沫高度由手摇试管法进行测试。表面张力由GB/T11983-2008表面活性剂表面张力测定法进行测试。该线切割液适合金刚线线切割加工，稀释比例高，单次使用量低，使用成本低，使用液有机物含量低，废水处理压力小，且分散性佳，有效降低线痕、TTV、崩边。使用过程中不起泡，无溢缸。本领域的技术人员可以对本专利技术进行各种改型和改变。因此，本专利技术覆盖了落入所附的权利要求书及其等同物的范围内的各种改型和改变。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.高润滑高稀释倍率金刚线切割液，其特征在于用高润滑与可高倍稀释原料配制而成，配方由以下组份组成：

【技术特征摘要】
1.高润滑高稀释倍率金刚线切割液，其特征在于用高润滑与可高倍稀释原料配制而成，配方由以下组份组成：2.如权利要求1所述的用于高润滑高稀释倍率金刚线切割液，其特征在于，所述润滑型表面活性剂反向EO/PO嵌段聚合物、聚醚脂、二聚酸酰胺、烷氧基多羟基化合物、脂肪醇EO/PO聚醚、丙烯酸聚乙二醇共聚物、蓖麻油聚氧乙烯醚或中的一种或几种的混合物。3.如权利要求1所述的高润滑高稀释倍率金刚线切割液，其特征在于，所述渗透型表面活性剂为聚乙烯月桂酸酯、油醇聚氧乙烯脂、润湿剂快T、渗透剂JFC、聚乙二醇双硬脂酸酯或椰子油酸聚氧乙烯酯中的一种或几种的混合物。4.如权利要求1所述的高润滑高稀释倍率金刚线切...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘陈渊，许期斌，杨丽燕，
申请(专利权)人：上海都昱新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31