一种用于单晶炉的导流筒制造技术

技术编号:20383084 阅读:47 留言:0更新日期:2019-02-20 00:07
本发明专利技术涉及一种用于单晶炉的导流筒,包括进料筒、分料筒和两向导筒,所述的进料筒安装在分料筒的顶部,所述的两向导筒安装在分料筒的底部,所述的进料筒的上端连接有法兰,所述的分料筒的两侧内壁呈圆弧状,两侧圆弧状内壁之间安装有分料机构,所述的分料机构是由伺服电机、转动轴和分料板,所述的伺服电机安装在分料筒的外壁上,所述的转动轴转动连接在两侧圆弧状内壁之间并且其的一端穿过分料筒与伺服电机相连,所述的分料板的两端与两侧圆弧状内壁相接触,所述的两向导筒内设置有分隔板,所述的两向导筒的内部空间通过分隔板分隔成两个输送通道,所述的分隔板的上端伸入至分料筒内;本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。

A Guide Tube for Single Crystal Furnace

The invention relates to a guide drum for a single crystal furnace, which comprises a feed drum, a distributor drum and two guide drums. The feed drums are installed at the top of the distributor drums, and the two guide drums are installed at the bottom of the distributor drums. The upper end of the feed drums is connected with flanges. The inner walls of the distributor drums are circular arc-shaped, and a distributor mechanism is installed between the two arc-shaped inner walls. The dividing mechanism is composed of a servo motor, a rotating shaft and a dividing plate. The servo motor is installed on the outer wall of the dividing barrel. The rotating shaft rotates and connects between the arc-shaped inner walls on both sides, and one end of the rotating shaft is connected with the servo motor through the dividing barrel. The two ends of the dividing plate are in contact with the arc-shaped inner walls on both sides. The dividing plates are arranged in the two guide barrels. The inner space of the guide drum is divided into two conveying channels through a separator, and the upper end of the separator extends into the separator. The design has the advantages of simple structure, easy manufacture and high efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶炉的导流筒
本专利技术涉及单晶炉
,特别是一种用于单晶炉的导流筒。
技术介绍
导流筒作为单晶炉的一个重要部件,在单晶硅的生产中起到了重要的作用,单晶炉的导流筒对晶体生长有很大影响。使用导流筒可以减少炉体上部的氩气流动涡胞,进而减少Si0在单晶炉上部的沉积,从而确保拉制的单晶硅棒具有很高的质量。但是现有的导流筒上下端部的直径不一样,从上端部至下端部递减,这样由于气体的流通面减小,气体通过的该截面时的流速增大,突然增大的流速将会引起气流的波动,使氩气流在进入单晶炉下端时气流强度会加强,导致单晶硅棒晃动、液面波动,严重时可导致掉棒等生产事故。此外,现有的导流筒进行热辐射时,是将热量向炉壁四周发散,这样就增加了能耗。因此设计一种可以增加流动面积的单晶炉导流筒就显得尤为重要。
技术实现思路
本专利技术在分料筒内安装有分料机构,通过分料机构选取两向导筒相对应的输送通道进行送料,起到了增加其实用性能的作用;提供一种用于单晶炉的导流筒。为解决上述的技术问题,本专利技术的结构包括进料筒、分料筒和两向导筒,所述的进料筒安装在分料筒的顶部,所述的两向导筒安装在分料筒的底部,所述的进料筒的上端连接有法兰,所述的分料筒的两侧内壁呈圆弧状,两侧圆弧状内壁之间安装有分料机构,所述的分料机构是由伺服电机、转动轴和分料板,所述的伺服电机安装在分料筒的外壁上,所述的转动轴转动连接在两侧圆弧状内壁之间并且其的一端穿过分料筒与伺服电机相连,所述的分料板的两端与两侧圆弧状内壁相接触,所述的两向导筒内设置有分隔板,所述的两向导筒的内部空间通过分隔板分隔成两个输送通道,所述的分隔板的上端伸入至分料筒内。进一步:所述的分料板的两端也呈弧形状。又进一步:所述的分料板的两端开设有导向槽,所述的导向槽内活动连接有限位板,两侧的圆弧状内壁上开设有与限位板相匹配的卡槽,所述的分料板的底部安装有两个电动缸,两个电动缸依次通过传动板和螺杆与分料板两端导向槽内的限位板相连,所述的限位板通过电动缸的驱动连接在卡槽。又进一步:所述的螺杆的上端固定连接在分料板的底部,所述的螺杆的下端穿过传动板,所述的传动板上下两侧的螺杆上各连接有一个锁紧螺母,所述的传动板通过上下两侧的锁紧螺母固定在螺杆上,所述的传动板与电动缸的出轴端相连。又进一步:所述的分料筒的上端连接有第二螺杆,所述的法兰的顶部开设有凹槽,所述的第二螺杆的上端穿过进料筒并伸入至法兰的凹槽内,所述的凹槽内的第二螺杆上连接有锁紧螺母,所述的法兰和进料筒通过锁紧螺母与第二螺杆的配合固定在分料筒上。再进一步:所述的分料筒下端的两侧外壁上设置有第一连接座,所述的两向导筒上端的两侧外壁上设置有第二连接座,所述的第一连接座通过螺纹组件与第二连接座相连。采用上述结构后,本专利技术在分料筒内安装有分料机构,通过分料机构选取两向导筒相对应的输送通道进行送料,起到了增加其实用性能的作用;并且本设计还具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。附图说明下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。图1为本专利技术的结构示意图。图2为分料机构的结构示意图。具体实施方式如图1和图2所示的一种用于单晶炉的导流筒,包括进料筒1、分料筒2和两向导筒3,所述的进料筒1安装在分料筒2的顶部,所述的两向导筒3安装在分料筒2的底部,所述的进料筒1的上端连接有法兰10,所述的分料筒2的两侧内壁呈圆弧状,两侧圆弧状内壁之间安装有分料机构,所述的分料机构是由伺服电机、转动轴13和分料板8,所述的伺服电机安装在分料筒2的外壁上,所述的转动轴13转动连接在两侧圆弧状内壁之间并且其的一端穿过分料筒2与伺服电机相连,所述的分料板8的两端与两侧圆弧状内壁相接触,所述的两向导筒3内设置有分隔板5,所述的两向导筒3的内部空间通过分隔板5分隔成两个输送通道4,所述的分隔板5的上端伸入至分料筒2内,所述的分料板8的两端也呈弧形状。本专利技术在分料筒内安装有分料机构,通过分料机构选取两向导筒相对应的输送通道进行送料,起到了增加其实用性能的作用;并且本设计还具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。如图2所示的分料板8的两端开设有导向槽15,所述的导向槽15内活动连接有限位板14,两侧的圆弧状内壁上开设有与限位板14相匹配的卡槽,所述的分料板8的底部安装有两个电动缸19,两个电动缸19依次通过传动板18和螺杆17与分料板8两端导向槽内的限位板14相连,所述的限位板14通过电动缸19的驱动连接在卡槽。如图2所示的螺杆17的上端固定连接在分料板8的底部,所述的螺杆17的下端穿过传动板18,所述的传动板18上下两侧的螺杆17上各连接有一个锁紧螺母20,所述的传动板18通过上下两侧的锁紧螺母20固定在螺杆上,所述的传动板18与电动缸19的出轴端相连。如图1所示的分料筒2的上端连接有第二螺杆9,所述的法兰10的顶部开设有凹槽,所述的第二螺杆9的上端穿过进料筒1并伸入至法兰10的凹槽内,所述的凹槽内的第二螺杆9上连接有锁紧螺母12,所述的法兰10和进料筒1通过锁紧螺母12与第二螺杆9的配合固定在分料筒2上。如图1所示的分料筒2下端的两侧外壁上设置有第一连接座6,所述的两向导筒3上端的两侧外壁上设置有第二连接座7,所述的第一连接座6通过螺纹组件与第二连接座7相连。本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于单晶炉的导流筒,其特征在于:包括进料筒、分料筒和两向导筒,所述的进料筒安装在分料筒的顶部,所述的两向导筒安装在分料筒的底部,所述的进料筒的上端连接有法兰,所述的分料筒的两侧内壁呈圆弧状,两侧圆弧状内壁之间安装有分料机构,所述的分料机构是由伺服电机、转动轴和分料板,所述的伺服电机安装在分料筒的外壁上,所述的转动轴转动连接在两侧圆弧状内壁之间并且其的一端穿过分料筒与伺服电机相连,所述的分料板的两端与两侧圆弧状内壁相接触,所述的两向导筒内设置有分隔板,所述的两向导筒的内部空间通过分隔板分隔成两个输送通道,所述的分隔板的上端伸入至分料筒内。

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶炉的导流筒,其特征在于:包括进料筒、分料筒和两向导筒,所述的进料筒安装在分料筒的顶部,所述的两向导筒安装在分料筒的底部,所述的进料筒的上端连接有法兰,所述的分料筒的两侧内壁呈圆弧状,两侧圆弧状内壁之间安装有分料机构,所述的分料机构是由伺服电机、转动轴和分料板,所述的伺服电机安装在分料筒的外壁上,所述的转动轴转动连接在两侧圆弧状内壁之间并且其的一端穿过分料筒与伺服电机相连,所述的分料板的两端与两侧圆弧状内壁相接触,所述的两向导筒内设置有分隔板,所述的两向导筒的内部空间通过分隔板分隔成两个输送通道,所述的分隔板的上端伸入至分料筒内。2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的导流筒,其特征在于:所述的分料板的两端也呈弧形状。3.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的导流筒,其特征在于:所述的分料板的两端开设有导向槽,所述的导向槽内活动连接有限位板,两侧的圆弧状内壁上开设有与限位板相匹配的卡槽,所述的分料板的底部安装有两个电动...

【专利技术属性】
技术研发人员:耿禹恒
申请(专利权)人:徐州振丰原喷灌设备有限公司
类型:发明
国别省市:江苏,32

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1