用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的分光棱镜光学膜制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的分光棱镜光学膜，包括反射膜、减反射膜、偏振膜和扩散膜，所述反射膜、减反射膜、偏振膜以及扩散膜均处于同一水平面上，且相互之间通过十字型隔板隔开，所述反射膜、减反射膜、偏振膜、扩散膜以及十字型隔板的下端均贴合有HR介质膜层，所述HR介质膜层的下端贴合有偏振片。本实用新型专利技术可测试多种不同功能的膜对激光的反射现象，便于直观的进行对比，同时具有抗紫外线黄变功能。

Spectrophotometric Prism Optical Film for 228.5 nm Deep-ultraviolet All-solid-state Laser Device

The utility model discloses a spectroscopic prism optical film for a 228.5 nm wavelength deep ultraviolet all-solid-state laser device, comprising a reflection film, an anti-reflection film, a polarization film and a diffusion film. The reflection film, an anti-reflection film, a polarization film and a diffusion film are all on the same horizontal plane, and are separated from each other by a cross-shaped separator, and the reflection film, an anti-reflection film, a polarization film, a diffusion film and the like. The lower end of the cross-shaped baffle is bonded with an HR dielectric film, and the lower end of the HR dielectric film is bonded with a polarizer. The utility model can test the reflection phenomena of various different functions of the film to the laser, which is convenient for intuitive comparison, and has the function of anti-ultraviolet yellowing.

【技术实现步骤摘要】
用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的分光棱镜光学膜
本技术涉及分光棱镜光学膜
，具体为用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的分光棱镜光学膜。
技术介绍
主要的光学薄膜器件包括反射膜、减反射膜、偏振膜和扩散膜等等。它们在国民经济和国防建设和实验中得到了广泛的应用，获得了科学技术工作者的日益重视。现有的分光棱镜光学膜只具备反射膜、减反射膜以及偏振膜等中的一种，在实验时，有时需要测试几种不同功能的膜对激光的反射现象，如果每次只测试一种的话，操作复杂，不便于进行直观的对比，同时现有的分光棱镜光学膜抗紫外线黄变效果差。
技术实现思路
本技术的目的在于提供用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的分光棱镜光学膜，以解决上述
技术介绍
中提出的实验时，不便于不同功能的膜对激光的反射现象的进行直观的对比以及抗紫外线黄变效果差的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的分光棱镜光学膜，包括反射膜、减反射膜、偏振膜和扩散膜，所述反射膜、减反射膜、偏振膜以及扩散膜均处于同一水平面上，且相互之间通过十字型隔板隔开，所述反射膜、减反射膜、偏振膜、扩散膜以及十字型隔板的下端均贴合有HR介质膜层，所述HR介质膜层的下端贴合有偏振片。优选的，所述反射膜、减反射膜、偏振膜以及扩散膜的大小以及厚度均一致。优选的，所述十字型隔板为挡光板，且通体表面涂布有黑漆。优选的，所述偏振片为平板型偏振片。优选的，所述减反射膜设置有双层。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1.本技术，通过由于将反射膜、减反射膜、偏振膜以及扩散膜均处于同一水平面上，且相互之间通过十字型隔板隔开，该设计可一次性测试多种不同功能的膜对激光的反射现象，便于直观的进行对比。2.由于设置HR介质膜层，该设计使整体具有良好的抗紫外线黄变功能。附图说明图1为本技术实施例结构主视图；图2为本技术实施例结构俯视图。图中：1、偏振片；2、HR介质膜层；3、反射膜；4、十字型隔板；5、减反射膜；6、偏振膜；7、扩散膜。具体实施方式为了解决在实验时，有时需要测试几种不同功能的膜对激光的反射现象，如果每次只测试一种的话，操作复杂，不便于进行直观的对比，同时现有的分光棱镜光学膜抗紫外线黄变效果差的问题。下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例1请参阅图1-2，本实施例提供了用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的分光棱镜光学膜，包括反射膜3、减反射膜5、偏振膜6和扩散膜7，反射膜3、减反射膜5、偏振膜6以及扩散膜7均处于同一水平面上，且相互之间通过十字型隔板4隔开，反射膜3、减反射膜5、偏振膜6、扩散膜7以及十字型隔板4的下端均贴合有HR介质膜层2，HR介质膜层2的下端贴合有偏振片1。本实施例中，通过由于将反射膜3、减反射膜5、偏振膜6以及扩散膜7均处于同一水平面上，且相互之间通过十字型隔板4隔开，该设计可一次性测试多种不同功能的膜对激光的反射现象，便于直观的进行对比，由于设置HR介质膜层2，该设计使整体具有良好的抗紫外线黄变功能。实施例2请参阅图1-2，在实施例1的基础上做了进一步改进：反射膜3、减反射膜5、偏振膜6以及扩散膜7的大小以及厚度均一致。使整体的结构的一致性。十字型隔板4为挡光板，且通体表面涂布有黑漆。隔光效果好，防止反射膜3、减反射膜5、偏振膜6以及扩散膜7之间发生相互光干扰现象，提高实验的准确性。偏振片1为平板型偏振片。可以做得很大，抗激光强度也比较高。减反射膜5设置有双层。在较宽的光谱区达到好的增透效果。本实用的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或者位置关系为基于附图所示的方位或者位置关系，仅是为了便于描述本实用和简化描述，而不是指示或者暗示所指的装置或者元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用的限制。本实用的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限制，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接连接，也可以是通过中间媒介相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用中的具体含义。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的分光棱镜光学膜，包括反射膜(3)、减反射膜(5)、偏振膜(6)和扩散膜(7)，其特征在于：所述反射膜(3)、减反射膜(5)、偏振膜(6)以及扩散膜(7)均处于同一水平面上，且相互之间通过十字型隔板(4)隔开，所述反射膜(3)、减反射膜(5)、偏振膜(6)、扩散膜(7)以及十字型隔板(4)的下端均贴合有HR介质膜层(2)，所述HR介质膜层(2)的下端贴合有偏振片(1)。

【技术特征摘要】
1.用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的分光棱镜光学膜，包括反射膜(3)、减反射膜(5)、偏振膜(6)和扩散膜(7)，其特征在于：所述反射膜(3)、减反射膜(5)、偏振膜(6)以及扩散膜(7)均处于同一水平面上，且相互之间通过十字型隔板(4)隔开，所述反射膜(3)、减反射膜(5)、偏振膜(6)、扩散膜(7)以及十字型隔板(4)的下端均贴合有HR介质膜层(2)，所述HR介质膜层(2)的下端贴合有偏振片(1)。2.根据权利要求1所述的用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的分光棱镜光学膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：曲轶，任永学，赵波，
申请(专利权)人：前海盛德技术深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44