液体材料吐出装置、其涂布装置及涂布方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种液体材料吐出装置及方法，其可在负压环境下，抑制因杆的上升动作而引起的气泡的产生。提供一种液体材料吐出装置及方法，其解决因阀杆前端或阀座的磨损造成利用阀杆前端的关闭变得不充分而产生的液体材料的泄漏的问题。一种液体材料吐出装置，具备：贮存容器；压缩气体供给源，其对贮存容器进行加压；喷嘴，其具备吐出流路；进行往返动作的阀杆；致动器，其驱动阀杆；阀座，其具有与吐出流路连通的连通孔；及吐出控制装置，其控制致动器并以阀杆的前端开闭连通孔；且在负压空间内使用，上述吐出控制装置通过将利用上述致动器的阀杆的上升时的加速时间(Au)控制在2～300[ms]的范围内，从而防止伴随着阀杆的上升的气泡的产生。

Liquid material spitting device, coating device and coating method

The invention provides a liquid material ejection device and method, which can suppress the generation of bubbles caused by the rising action of the rod under negative pressure environment. The invention provides a liquid material ejection device and method, which solves the leakage problem of liquid material caused by the inadequate closure of the front end of the stem due to the wear of the stem or seat. A liquid material ejection device is provided with: a storage container; a compressed gas supply source, which pressurizes the storage container; a nozzle, which has an ejection flow path; a valve stem for reciprocating action; an actuator, which drives the valve stem; a valve seat, which has a connecting hole connected with the ejection flow path; and an ejection control device, which controls the actuator and opens and closes the connecting hole at the front end of the valve stem; When used in negative pressure space, the exhaust control device can prevent bubbles from occurring along with the rise of the valve stem by controlling the acceleration time (Au) of the valve stem using the actuator in the range of 2 to 300 [ms].

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】液体材料吐出装置、其涂布装置及涂布方法
本专利技术涉及一种在负压环境下吐出液体材料的装置及方法。本说明书中的“负压环境”包含真空环境。
技术介绍
在对安装有半导体部件等的基板涂布液状的树脂(液体材料)的工序(例如，封装(potting)或底部填充(underfill)等)中，若液体材料中存在有气泡，则带来吐出量不均匀、涂布形状或涂布位置不一定(描绘线散乱)、气泡与吐出同时地被排出并使液体材料飞溅的、多余的液体附着于喷嘴的吐出口周边等、各种不良影响。作为用于消除这些气泡的不良影响的方法，具有将液体材料放置于真空环境下进行脱气等的方法。进行脱气的最普通的方法是在进行作业之前，将用于实际作业的贮存有液体材料的容器(注射器)直接放入其它的密闭容器之中，通过对密闭容器内进行真空抽吸而进行液体材料的脱气的方法。此外，作为其他的方法，提出了一种涂布装置，其将进行涂布的空间本身作为密闭空间，且通过对内部进行真空吸引而进行液体材料的脱气。例如，专利文献1是如下涂布装置：在具备收纳液体材料并自吐出口吐出液体材料的收纳吐出部，且对涂布对象物涂布液体材料的液体材料涂布装置中，具备：涂布空间，其至少包围收纳吐出部及涂布对象物；及排气系统，其将涂布空间设为负压状态，将涂布空间设为负压状态而自收纳吐出部对涂布对象物吐出液体材料。此外，专利文献2是如下涂布装置：是将供给液状树脂的被涂布品配置于真空室内，且在真空下自供给液状树脂的分配器朝被涂布品的规定位置供给液状树脂的真空涂布装置，由容纳且支撑被涂布品的第1容器部分、及安装分配器的喷嘴的第2容器部分构成容纳被涂布品的真空腔室，且将第1容器部分及第2容器部分设为不破坏真空腔室的气密状态且在X-Y平面内相对地可动，且在真空腔室的外部设置X-Y驱动部，该X-Y驱动部使第1及第2容器部分的至少一者在X-Y平面内移动且使被涂布品与喷嘴的相对的平面位置为可变。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2005-211874号公报专利文献2：日本特开2007-111862号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题在负压空间内配置吐出装置进行涂布作业的情况下，在具备往返动作的阀杆(柱塞)的吐出装置中，由于阀杆的上升动作，杆前端附近的液体压力降低，从而产生了会产生气泡这样的问题。若在阀杆前端附近产生气泡，则产生因上述气泡而引起的描绘线的散乱或吐出时的液体材料的飞溅等问题。因此，本专利技术的目的在于，提供一种液体材料吐出装置及方法，其可在负压环境下，抑制因杆的上升动作而引起的气泡的产生。此外，本专利技术的目的在于，提供一种液体材料吐出装置及方法，其解决因阀杆前端或阀座的磨损造成利用阀杆前端的关闭变得不充分而产生的液体材料的泄漏的问题。解决问题的技术手段第一观点的本专利技术的液体材料吐出装置，其特征在于，具备：贮存容器，其贮存液体材料；压缩气体供给源，其对贮存容器进行加压；喷嘴，其具备吐出流路；进行往返动作的阀杆；致动器，其驱动阀杆；阀座，其具有与吐出流路连通的连通孔；及吐出控制装置，其控制致动器并以阀杆的前端开闭连通孔；所述液体材料吐出装置在负压空间内使用；上述吐出控制装置通过将利用上述致动器的阀杆的上升时的加速时间Au控制在2～300[ms]的范围内，从而防止伴随着阀杆的上升的气泡的产生。在上述液体材料吐出装置中，其特征也可为：上述吐出控制装置将利用上述致动器的阀杆的上升时的目标速度V1控制在0.2～30[mm/s]的范围内。在上述液体材料吐出装置中，其特征也可为：上述吐出控制装置将利用上述致动器的阀杆的下降时的加速时间Ad控制在2～300[ms]的范围内，该情况下，其特征也可为：上述吐出控制装置将利用上述致动器的阀杆的上升时的加速时间Au及下降时的加速时间Ad设定为相同。在上述液体材料吐出装置中，其特征也可为：上述致动器将可通过上述吐出控制装置控制上述阀杆的前进位置的马达作为驱动源，该情况下，其特征也可为：上述致动器将选自步进马达、伺服马达及线性马达的一马达作为驱动源，再有，其特征也可为：具备：位置检测机构，其检测上述阀杆的前端位于关闭上述阀座的位置。第二观点的本专利技术的液体材料吐出装置，其特征在于，具备：贮存容器，其贮存液体材料；压缩气体供给源，其对贮存容器进行加压；喷嘴，其具备吐出流路；进行往返动作的阀杆；致动器，其驱动阀杆；阀座，其具有与吐出流路连通的连通孔；及吐出控制装置，其控制致动器并以阀杆的前端开闭连通孔；具备：位置检测机构，其检测上述阀杆的前端位于关闭上述阀座的位置。在上述第二观点的液体材料吐出装置中，其特征也可为：上述致动器将可通过上述吐出控制装置控制上述阀杆的前进位置的马达作为驱动源，该情况下，其特征也可为：上述致动器将选自步进马达、伺服马达及线性马达的一马达作为驱动源。在具备上述位置检测机构的液体材料吐出装置中，其特征也可为：上述位置检测机构构成为具备：滑动构件，其与上述致动器连接；滑块，其与滑动构件连接；传感器机构，其检测滑动构件位于规定的位置；杆连动构件，其与上述阀杆连接，且可分离地抵接配置于滑动构件；及弹性构件，其赋予使杆连动构件与滑动构件可分离地抵接的作用力；在上述阀杆抵接于上述阀座之后，若通过上述致动器作用使上述阀杆进一步前进的力，则上述滑动构件与上述杆连动构件分离而朝下方移动，且通过传感器机构检测该滑动构件的移动，从而检测上述阀杆的前端位于关闭上述阀座的位置。在具备上述杆连动构件的液体材料吐出装置中，其特征也可为：上述杆连动构件连接于上述滑块，上述弹性构件是连结上述杆连动构件与上述滑动构件的拉伸线圈弹簧，该情况下，其特征也可为：上述弹性构件具有与当上述阀杆与上述阀座不抵接时，可使上述杆连动构件及上述滑动构件移动的力同等的初始张力Pi。在具备上述杆连动构件的液体材料吐出装置中，其特征也可为：上述滑动构件具备：顶面，其具有供上述阀杆插通的第1贯通孔；及底面，其具有供上述阀杆插通的第2贯通孔；上述杆连动构件及上述弹性构件配置于上述滑动构件的顶面及底面之间，上述弹性构件使上述杆连动构件可分离地抵接于上述滑动构件的顶面或底面，该情况下，其特征也可为：还具备：固定构件，其插通有上述阀杆且固定上述杆连动构件，上述弹性构件是插通有上述阀杆的压缩线圈弹簧，再有，其特征也可为：上述弹性构件具有与为了使上述阀杆、上述杆连动构件及上述固定构件移动而需要的力同等的斥力Pii。在上述液体材料吐出装置中，其特征也可为：具备：第1导引构件，其插通有上述阀杆，且导引上述阀杆的直进运动；及第2导引构件，其插通有上述阀杆，且在第1导引构件的下方导引上述阀杆的直进运动，该情况下，其特征也可为：具备：第3导引构件，其插通有上述阀杆，且在第2导引构件的下方导引上述阀杆的直进运动。本专利技术的涂布装置，其特征在于，具备：上述液体材料吐出装置；工件台，其设置工件；相对驱动装置，其使上述液体材料吐出装置与上述工件台相对移动；罩，其构成配置上述液体材料吐出装置、上述工件台、及上述相对驱动装置的负压空间；减压装置，其将上述罩内设为负压；及驱动控制装置，其控制相对驱动装置。在上述涂布装置中，其特征也可为：上述减压装置是真空泵。本专利技术的涂布方法，其特征在于，是使用上述涂布装置的涂布方法，在通过上述减压装置将上述罩内设为负压的状态下，一边本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种液体材料吐出装置，其特征在于，具备：贮存容器，其贮存液体材料；压缩气体供给源，其对贮存容器进行加压；喷嘴，其具备吐出流路；进行往返动作的阀杆；致动器，其驱动阀杆；阀座，其具有与吐出流路连通的连通孔；及吐出控制装置，其控制致动器并以阀杆的前端开闭连通孔，所述液体材料吐出装置在负压空间内使用，所述吐出控制装置通过将利用所述致动器的阀杆的上升时的加速时间Au控制在2～300ms的范围内，从而防止伴随着阀杆的上升的气泡的产生。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.05.30 JP 2016-1078311.一种液体材料吐出装置，其特征在于，具备：贮存容器，其贮存液体材料；压缩气体供给源，其对贮存容器进行加压；喷嘴，其具备吐出流路；进行往返动作的阀杆；致动器，其驱动阀杆；阀座，其具有与吐出流路连通的连通孔；及吐出控制装置，其控制致动器并以阀杆的前端开闭连通孔，所述液体材料吐出装置在负压空间内使用，所述吐出控制装置通过将利用所述致动器的阀杆的上升时的加速时间Au控制在2～300ms的范围内，从而防止伴随着阀杆的上升的气泡的产生。2.如权利要求1所述的液体材料吐出装置，其特征在于，所述吐出控制装置将利用所述致动器的阀杆的上升时的目标速度V1控制在0.2～30mm/s的范围内。3.如权利要求1或2所述的液体材料吐出装置，其特征在于，所述吐出控制装置将利用所述致动器的阀杆的下降时的加速时间Ad控制在2～300ms的范围内。4.如权利要求3所述的液体材料吐出装置，其特征在于，所述吐出控制装置将利用所述致动器的阀杆的上升时的加速时间Au及下降时的加速时间Ad设定为相同。5.如权利要求1～4中任一项所述的液体材料吐出装置，其特征在于，所述致动器将能够通过所述吐出控制装置控制所述阀杆的前进位置的马达作为驱动源。6.如权利要求5所述的液体材料吐出装置，其特征在于，所述致动器将选自步进马达、伺服马达及线性马达的一马达作为驱动源。7.如权利要求6所述的液体材料吐出装置，其特征在于，还具备：位置检测机构，其检测所述阀杆的前端位于关闭所述阀座的位置。8.一种液体材料吐出装置，其特征在于，具备：贮存容器，其贮存液体材料；压缩气体供给源，其对贮存容器进行加压；喷嘴，其具备吐出流路；进行往返动作的阀杆；致动器，其驱动阀杆；阀座，其具有与吐出流路连通的连通孔；及吐出控制装置，其控制致动器并以阀杆的前端开闭连通孔，所述液体材料吐出装置具备：位置检测机构，其检测所述阀杆的前端位于关闭所述阀座的位置。9.如权利要求8所述的液体材料吐出装置，其特征在于，所述致动器将能够通过所述吐出控制装置控制所述阀杆的前进位置的马达作为驱动源。10.如权利要求9所述的液体材料吐出装置，其特征在于，所述致动器将选自步进马达、伺服马达及线性马达的一马达作为驱动源。11.如权利要求7～10中任一项所述的液体材料吐出装置，其特征在于，所述位置检测机构构成为具备：滑动构件，其与所述致动器连接；滑块，其与滑动构件连接；传感器机构，其检测滑动构件位于规定的位置；杆连动构件，其与所述阀杆连接，且可分离地抵接并配置于滑动构件；及...

【专利技术属性】
技术研发人员：生岛和正，
申请(专利权)人：武藏工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP