低斜锥角的金属导线基板制造技术

本实用新型专利技术提供一种低斜锥角的金属导线基板，具有以不导电材质所制成的基板，基板表面设置有以多个导电材质所制成的图形部，图形部具有第一导电区块以及第二导电区块，使两相邻图形部的第二导电区块的间距大于第一导电区块的间距，让图形部的侧方与表面之间形成有内缩区域，使金属导线基板于电铸长成遮罩时，其斜锥角度可有效的缩小，进而提高遮罩使用时的有效面积，提升蒸镀品质。

【技术实现步骤摘要】
低斜锥角的金属导线基板
本技术涉及一种低斜锥角的金属导线基板，尤指金属蒸镀遮罩于电铸制程生产中所使用的金属导线基板。
技术介绍
现有金属蒸罩是以黄光显影制程于金属薄料上蚀刻出所需的开口，开口须以上、下两面蚀刻加工形成，所以开口尺寸公差大，并会于开口内形成尖点，而产生遮蔽影响区影响蒸镀品质，且开口处的斜锥角度过大，同样的会影响导蒸镀品质；因此本案技术设计人为改善现有金属蒸罩的缺失，遂研发出以金属导线基板以及电铸方式制成金属遮罩，请参阅图3所示，利用电铸方式制作蒸罩，主要是于绝缘基板A上设置金属薄膜B，并以蚀刻方式于金属薄膜B上形成有图形部B1，利用电铸方式使图形部B1表面长成蒸罩C，避免产生现有技术的尖点问题，但此种方式由于蚀刻所形成的图形部B1在进行电铸时，因其侧边B2与表面B3之间较为突出，会使的侧向长成与垂直长成之间的过渡区域长成速度特别快，造成斜锥角度θ1过大，使得蒸罩C的有效蒸镀面积降低。
技术实现思路
本技术的主要目的乃在于，利用金属导线基板的图形部于侧方以及表面之间形成有内缩区域，让使遮罩于图形部长成时，有效的缩小斜锥角度，进而提高遮罩使用时的有效面积，提升蒸镀品质。为达上述目的，本技术提供一种低斜锥角的金属导线基板，是金属蒸镀遮罩在电铸制程生产中所使用的金属导线基板，该金属导线基板具有以不导电材质所制成的基板，基板表面设置有以多个导电材质所制成的图形部，其特征在于：该图形部具有第一导电区块以及第二导电区块，第一导电区块具有第一基部以及第一基部侧方的第一露出部，且第一导电区块设置于基板表面，第二导电区块设置于第一导电区块的第一基部表面，使两相邻图形部的第二导电区块的间距大于第一导电区块的间距。所述低斜锥角的金属导线基板，其中：该图形部的第二导电区块具有第二基部以及第二基部侧方的第二露出部，且第二导电区块的第二基部表面设置有第三导电区块，使两相邻图形部的第三导电区块的间距大于第二导电区块的间距。与现有技术相比较，采用上述技术方案的本技术具有的优点在于：两相邻图形部的第二导电区块的间距大于第一导电区块的间距，让图形部的侧方与表面之间形成有内缩区域，使金属导线基板于电铸长成遮罩时，遮罩的斜锥角度可有效的缩小。附图说明图1是本技术第一实施例的示意图。图2是本技术第二实施例的示意图。图3是现有金属导线基板的示意图。附图标记说明：1-基板；2-2’-图形部；21-21’-第一导电区块；211-211’-第一基部；212-212’-第一露出部；22-22’-第二导电区块；221’-第二基部；222’-第二露出部；23’-第三导电区块；24-24’-第一内缩区域；25’-第二内缩区域；3-导电膜；4-蒸罩；A-绝缘基板；B-金属薄膜；B1-图形部；B2-侧边；B3-表面；C-蒸罩。具体实施方式请参阅图1所示，由图中可清楚看出，本技术第一实施例的金属导线基板设置有以不导电材质(例如：玻璃、硅或任何不导电但金属可附着的材料)所制成的基板1，并于基板1上设置有导电膜3(例如：银、钼、钛、石墨稀、铝等导电性能好的材质)，再以蚀刻方式，使导电膜3形成有多个图形部2，各图形部2具有第一导电区块21以及第二导电区块22，第一导电区块21具有第一基部211以及第一基部211侧方的第一露出部212，且第一导电区块21设置于基板1表面，第二导电区块22设置于第一导电区块21的第一基部211表面，使两相邻图形部2的第二导电区块22的间距d2大于第一导电区块21的间距d1，让图形部2于第一导电区块21表面与第二导电区块22侧方之间形成有第一内缩区域24，凭借上，当金属导线基板以电铸制程于图形部2上长出蒸罩4时，由于第一内缩区域24的设置，使得蒸罩4在长成时，其侧向长成与垂直长成之间的过渡区域长成速度降低，有效的使蒸罩4的斜锥角度θ2缩小，进而增加蒸罩4有效的蒸镀面积，提高蒸镀品质。再者，前述图形部2的第一导电区块21与第二导电区块22可使用导电率相同或不同的材质所制成。请参阅图2所示，由图中可清楚看出，本技术第二实施例与前述的第一实施例的差异在于，该图形部2’的第二导电区块22’区分为第二基部221’与第二基部221’侧方的第二露出部222’，且第二导电区块22’的第二基部221’表面设置有第三导电区块23’，使两相邻图形部2’的第三导电区块23’的间距d3大于第二导电区块22’的间距d2，让图形部2’于第二导电区块22’表面与第三导电区块23’侧方之间形成有第二内缩区域25’，使第一内缩区域24’与第二内缩区域25’的设置，使得蒸罩4在长成时，其侧向长成与垂直长成之间的过渡区域长成速度降低，有效的使蒸罩4的斜锥角度θ3缩小，进而增加蒸罩4有效的蒸镀面积，提高蒸镀品质。再者，前述图形部2’的第一导电区块21’、第二导电区块22’与第三导电区块23’，可使用导电率相同或不同的材质所制成。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种低斜锥角的金属导线基板，是金属蒸镀遮罩在电铸制程生产中所使用的金属导线基板，该金属导线基板具有以不导电材质所制成的基板，基板表面设置有以多个导电材质所制成的图形部，其特征在于：该图形部具有第一导电区块以及第二导电区块，第一导电区块具有第一基部以及第一基部侧方的第一露出部，且第一导电区块设置于基板表面，第二导电区块设置于第一导电区块的第一基部表面，使两相邻图形部的第二导电区块的间距大于第一导电区块的间距。

【技术特征摘要】
1.一种低斜锥角的金属导线基板，是金属蒸镀遮罩在电铸制程生产中所使用的金属导线基板，该金属导线基板具有以不导电材质所制成的基板，基板表面设置有以多个导电材质所制成的图形部，其特征在于：该图形部具有第一导电区块以及第二导电区块，第一导电区块具有第一基部以及第一基部侧方的第一露出部，且第一导电区块设置于基板表面，第二导电区...

【专利技术属性】
技术研发人员：张东晖，
申请(专利权)人：张东晖，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71