硅片分片机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种硅片分片机，包括工作平台、夹持机构、侧端吸盘、顶端吸盘，所述工作平台的工作平面上设有用于承载硅片花篮的硅片花篮承载区，所述夹持机构位于所述工作平台的工作平面上方，所述侧端吸盘位于所述工作平台上的硅片花篮承载区的一侧，所述顶端吸盘位于所述工作平台上的硅片花篮承载区的上方，所述侧端吸盘和顶端吸盘在工作时分别从硅片花篮的侧端和顶端插入硅片花篮中。上述硅片分片机，无需将硅片花篮中的硅片预先取出，在硅片花篮中即可将吸合在一起的硅片分开，同时通过侧端吸盘和顶端吸盘的协同吸附作用提高了分片效率，降低了在分片过程中硅片出现碎片和隐裂的几率，实现了硅片分片的全程自动化操作，无需人工处理。

【技术实现步骤摘要】
硅片分片机
本技术涉及硅片加工
，特别是涉及一种硅片分片机。
技术介绍
硅片在黑硅槽式机中进行单面制绒的过程中，位于硅片花篮同一篮齿中的两片硅片会由于液体的张力作用两两吸合在一起，完成表面制绒的硅片从黑硅槽式机出来后，需要将硅片花篮中吸合在一起的硅片分开，才能进入制绒清洗链式机进行硅片表面清洗、烘干及后续的检验、包装。目前对于硅片分片采取的是人工分片的方法，不仅分片效率低、容易造成碎片和隐裂，硅片中夹杂的酸碱溶液还会对工人的身体健康造成伤害。
技术实现思路
基于此，有必要针对硅片人工分片效率低、质量不稳定、易造成健康损害的问题，提供一种硅片分片机。一种硅片分片机，包括工作平台、夹持机构、侧端吸盘、顶端吸盘，所述工作平台的工作平面上设有用于承载硅片花篮的硅片花篮承载区，所述夹持机构位于所述工作平台的工作平面上方，用于将硅片花篮通过夹持作用固定在所述工作平台的工作平面上，所述侧端吸盘位于所述工作平台上的硅片花篮承载区的一侧，所述顶端吸盘位于所述工作平台上的硅片花篮承载区的上方，所述侧端吸盘和顶端吸盘在工作时分别从硅片花篮的侧端和顶端插入硅片花篮中。上述硅片分片机，无需将硅片花篮中的硅片预先取出，在硅片花篮中即可将吸合在一起的硅片分开，可以实现与硅片上下游处理设备之间的连续化操作，同时通过侧端吸盘和顶端吸盘的协同吸附作用提高了分片效率，降低了在分片过程中硅片出现碎片和隐裂的几率，单台分片机器日产能可达17万片，实现了硅片分片的全程自动化操作，无需人工处理。在其中一个实施例中，所述夹持机构为气缸夹持机构，所述气缸夹持机构包括相对于硅片花篮承载区的X向气缸和Y向气缸。在其中一个实施例中，所述侧端吸盘和顶端吸盘为微孔陶瓷真空吸盘。在其中一个实施例中，所述侧端吸盘沿设置于工作平台的工作平面上的丝杠相对于硅片花篮进行位置移动。在其中一个实施例中，所述侧端吸盘与伺服电机电连接。在其中一个实施例中，所述顶端吸盘与外设的机器人设备连接。附图说明图1为本技术实施例的硅片分片机结构示意图(吸盘未画出)；图2为本技术实施例的硅片分片机的侧端吸盘在插入硅片花篮前的位置示意图；图3为本技术实施例的硅片分片机的侧端吸盘在插入硅片花篮后的位置示意图；图4为本技术实施例的硅片分片机的侧端吸盘在插入硅片花篮后，顶端吸盘插入硅片花篮前的位置示意图；图5为本技术实施例的硅片分片机的侧端吸盘与顶端吸盘吸附硅片花篮中硅片具体位置的位置示意图；图6为本技术实施例的硅片分片机的顶端吸盘吸附硅片后在机器人设备带动下将吸住的硅片向上移动的示意图；图7为本技术实施例的硅片分片机的侧端吸盘破真空后退出硅片花篮的示意图；图8为本技术实施例的硅片分片机的顶端吸盘吸附已与侧端吸盘分离的硅片的示意图。具体实施方式为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的较佳实施例。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容的理解更加透彻全面。需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。如图1-8所示，本技术的硅片分片机100，包括工作平台110、夹持机构120、侧端吸盘130、顶端吸盘140，所述工作平台110的工作平面上设有用于承载硅片花篮的硅片花篮承载区，所述夹持机构120位于所述工作平台110的工作平面上方，用于将硅片花篮通过夹持作用固定在所述工作平台110的工作平面上，所述侧端吸盘130位于所述工作平台110上的硅片花篮承载区的一侧，所述顶端吸盘140位于所述工作平台110上的硅片花篮承载区的上方，所述侧端吸盘130和顶端吸盘140在工作时分别从硅片花篮的侧端和顶端插入硅片花篮中。所述硅片分片机100的工作平台110为一面积略大于硅片花篮底面面积的平整平面，该平面上所设置的硅片花篮承载区位于工作平台110中央，用于承载装满待分离贴合硅片的硅片花篮，四周留有设置夹持机构120及其他机构的空间。夹持机构120的作用是将承载于工作平台110中央的硅片花篮紧固于工作平台110上，在侧端吸盘130与顶端吸盘140插入硅片花篮时能够防止硅片花篮的位移，避免对分片过程的不良影响。侧端吸盘130和顶端吸盘140在分片时，将贴合在一起的两张硅片分别进行吸附，顶端吸盘140向上运动，将贴合在一起的两张硅片分离。侧端吸盘130和顶端吸盘140均是插入硅片花篮后与硅片吸附，整个吸附及分片的过程均在硅片花篮中完成，无需将硅片花篮中的硅片预先取出，可以实现与硅片上下游处理设备之间的连续化操作。在一个可选地实施例中，所述夹持机构120为气缸夹持机构，所述气缸夹持机构包括相对于硅片花篮承载区的X向气缸和Y向气缸。所述气缸夹持机构利用气缸将压缩气体的压力能转换为机械能，通过设置于花篮承载区的X向和Y向的两个气缸，实现对硅片花篮的夹持紧固，从而保证硅片花篮的位置在整个硅片分片过程中不发生变化。在一个可选地实施例中，所述侧端吸盘130和顶端吸盘140为微孔陶瓷真空吸盘。所述微孔陶瓷真空吸盘相比于其他类型的吸盘可以实现吸盘自身厚度的最小化，能够较为容易地插入硅片花篮所装载的贴合硅片与相邻贴合硅片之间的缝隙之中。在一个可选地实施例中，所述侧端吸盘130沿设置于工作平台的工作平面上的丝杠相对于硅片花篮进行位置移动。所述侧端吸盘130需要从硅片花篮的侧方插入贴合硅片与相邻贴合硅片之间的缝隙之中，实现这一方向上位置移动的一种方式是在工作平台110的工作平面上设置相应走向的丝杠，侧端吸盘130沿丝杠相对于硅片花篮进行位置移动。在一个可选地实施例中，所述侧端吸盘130与伺服电机电连接。所述伺服电机提供侧端吸盘130沿丝杠进行位置移动的基础动力，并可实现对侧端吸盘130移动速度的精确控制。在一个可选地实施例中，所述顶端吸盘140与外设的机器人设备150连接。所述机器人设备150能够实现对顶端吸盘140的精确控制，包括能够将整组顶端吸盘140准确插入贴合硅片与相邻贴合硅片之间的缝隙，对顶端吸盘140与硅片表面距离进行精确控制，以及对分片操作时顶端吸盘运动速度、作用力进行精确控制，从而进一步提高吸附效率、降低分片过程中硅片出现碎片和隐裂的几率。本技术的硅片分片机100的一种工作方式如下：装载有硅片的硅片花篮在经黑硅槽式机完成表面制绒后，转移至硅片分片机100工作平台110上的花篮承载区上，位于工作平台的工作平面上方的气缸夹持机构分别从花篮承载区的X向和Y向将位于花篮承载区的硅片花篮进行固定。侧端吸盘130沿设置于工作平台110的工作平面上的丝杠相对于硅片花篮进行位置移动，从硅片花篮的侧方插入贴合硅片与相邻贴合硅片之间的缝本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片分片机，其特征在于，包括工作平台、夹持机构、侧端吸盘、顶端吸盘，所述工作平台的工作平面上设有用于承载硅片花篮的硅片花篮承载区，所述夹持机构位于所述工作平台的工作平面上方，用于将硅片花篮通过夹持作用固定在所述工作平台的工作平面上，所述侧端吸盘位于所述工作平台上的硅片花篮承载区的一侧，所述顶端吸盘位于所述工作平台上的硅片花篮承载区的上方，所述侧端吸盘和顶端吸盘在工作时分别从硅片花篮的侧端和顶端插入硅片花篮中。

【技术特征摘要】
1.一种硅片分片机，其特征在于，包括工作平台、夹持机构、侧端吸盘、顶端吸盘，所述工作平台的工作平面上设有用于承载硅片花篮的硅片花篮承载区，所述夹持机构位于所述工作平台的工作平面上方，用于将硅片花篮通过夹持作用固定在所述工作平台的工作平面上，所述侧端吸盘位于所述工作平台上的硅片花篮承载区的一侧，所述顶端吸盘位于所述工作平台上的硅片花篮承载区的上方，所述侧端吸盘和顶端吸盘在工作时分别从硅片花篮的侧端和顶端插入硅片花篮中。2.根据权利要求1所述的硅片分片机，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：张喜，唐亮，季威，
申请(专利权)人：扬州协鑫光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32