工件处理装置、工件输送系统制造方法及图纸

本发明专利技术课题在于现有技术尚未能适当地进行工件缺陷的检测。本发明专利技术解决手段是本发明专利技术的工件处理装置具备：第一旋转距离资讯储存部101，供储存多个第一旋转距离资讯，所述第一旋转距离资讯为具有使圆形工件旋转时的旋转角度与第一距离资讯形成对应的资讯，而该第一距离资讯为关于从对应旋转角度的工件旋转中心至边缘的距离的资讯；取得部103，使用储存于第一旋转距离资讯储存部101的多个第一旋转距离资讯，取得用以使工件对准位置的资讯、用以特定工件朝向的资讯、及关于工件边缘缺陷部分的资讯；及输出部104，用来输出取得部103所取得的工件对准位置用的资讯、用以特定工件朝向的资讯、及关于缺陷部分的资讯。藉此工件处理装置，可适当进行工件缺陷的检测。

【技术实现步骤摘要】
工件处理装置、工件输送系统本申请是申请日为2014年11月21日、申请号为201410669762.0、专利技术名称为“工件处理装置、工件输送系统”的申请的分案申请。
本专利技术关于执行工件的定位的工件处理装置等。
技术介绍
现有技术中，使晶圆旋转，并使其边缘位置对应旋转角度加以检测记忆，依据检测讯号的最大值、最小值来计算晶圆位置的偏心量及方向，以依照该偏心数据进行晶圆的中心对正。在设于晶圆的平坦部等的开始点及结束点上，由于边缘位置的变化较其他部分急剧，故藉由将边缘位置数据的变化率达一定程度以上的部分加以计算，并在相同装置上进行使该平坦部等对输送装置等其他作业台而言位于特定位置的作法已为公知技术(例如，参照专利文献1)。【先前技术文献】〔专利文献〕(专利文献1)日本专利第2729297号公报(第1页图1等)
技术实现思路
〔专利技术所欲解决的课题〕透过利用工件输送装置，将使用例如上述现有装置实施定位的工件输送到进行CVD(化学汽相沉积，ChemicalVaporDeposition)或CMP(化学机械抛光，ChemicalMechanicalPolishing)等的装置，可对工件适当地进行所需的处理。对边缘存在有毛边或崩缺(chipping)等的晶圆等工件进行CVD、研磨等处理时，由于加诸于工件的热或压力等，工件会有破损之虞。因此，对工件进行处理之前，较佳为进行检查，以检测有无毛边或崩缺等缺陷部分。为了此一目的，乃期望首先能在使用上述现有技术进行工件定位之前，进行工件缺陷部分的检查。然而，进行工件缺陷部分的检查时，先用工件输送装置将工件输送到缺陷部分检查用装置以进行缺陷部分的检查，检查后，还须用工件输送装置将工件输送到执行工件定位的装置进行定位，故有工件检查及工件输送到检查装置要耗费时间的问题。此外，除了进行定位的装置外，也需要设置执行检查的装置，故在使成本升高的同时，也必须在工件输送路径上确保执行检查装置的设置场所，而有要达到节省空间是极为困难的问题。结果，现有技术中，乃有无法适当地进行工件缺陷检测的课题。本专利技术为了解决上述的课题而研发者，其目的在提供能够适当地进行工件缺陷检测的工件处理装置等。〔解决课题所使用的手段〕本专利技术的工件处理装置具备：第一旋转距离资讯储存部，供储存多个第一旋转距离资讯，所述第一旋转距离资讯为具有使圆形工件旋转时的旋转角度与第一距离资讯形成对应的资讯，而该第一距离资讯为关于从对应旋转角度的工件旋转中心至边缘的距离资讯；取得部，使用储存于第一旋转距离资讯储存部的多个第一旋转距离资讯，来取得工件对准位置用的资讯、特定工件的朝向用的资讯、及关于工件边缘缺陷部分的资讯；以及输出部，用以输出取得部所取得的工件对准位置用的资讯、特定工件的朝向用的资讯、及关于缺陷部分的资讯。藉由此种构成，在结合对准工件的位置与朝向时，可进行工件边缘缺陷的检测，而可适当地进行工件缺陷的检测。再者，本专利技术的工件处理装置在前述工件处理装置中进一步具备：移动部，使用输出部输出的有关工件边缘缺陷部分的资讯，令工件移动，俾使工件边缘的缺陷部分配置在预先指定区域的拍摄区域内；拍摄部，用以拍摄配置于拍摄区域内的工件边缘缺陷部分；以及影像输出部，用以输出拍摄部所拍摄的影像。藉由此种构成，可容易确认工件边缘的缺陷部分。再者，本专利技术的工件输送系统具备：前述工件处理装置；以及对工件处理装置进行工件交接的工件输送装置。藉由此种构成，可于输送中在工件处理装置一并进行结合工件位置与朝向的处理及检测缺陷部分的处理，故可以缩短结合工件位置与朝向的处理及缺陷部分的检测处理所需要的时间。而且，输送时的工件移动可抑制到最小限度。〔专利技术的功效〕若依本专利技术的工件处理装置等，可适当地进行工件缺陷的检测。附图说明图1为实施形态1的工件处理装置的方块图；图2(a)为用以说明工件处理装置中所使用的圆形工件的一例的示意图；图2(b)为用以说明工件处理装置的修正资讯取得处理的示意图；图3为工件处理装置的边缘位置检测器的一例的示意图；图4为具备工件处理装置的工件输送系统的一例的俯视图；图5为工件处理装置所利用的关系式的说明用图示；图6为有关工件处理装置的动作的说明用流程图；图7为有关具备工件处理装置的工件输送系统的动作的说明流程图；图8为工件处理装置的第一旋转距离资讯管理表的图示；图9为用以说明工件处理装置的第一旋转距离资讯的曲线图；图10(a)为工件处理装置的第一旋转距离资讯在旋转角度为0度以上未达90度范围的曲线图；图10(b)为工件处理装置的第一旋转距离资讯在旋转角度为90度以上未达180度范围的曲线图；图10(c)为工件处理装置的第一旋转距离资讯在旋转角度为180度以上未达270度范围的曲线图；图10(d)为工件处理装置的第一旋转距离资讯在旋转角度为270度以上未达360度范围的曲线图；图10(e)为工件处理装置的第一旋转距离资讯的合成曲线图；图10(f)为工件处理装置的第一旋转距离资讯的变化较小部分的曲线图；图11为工件处理装置的合成距离资讯管理表的图示；图12为工件处理装置的第二旋转距离资讯管理表的图示；图13为工件处理装置的多个第二旋转距离资讯的图示；图14为工件处理装置的距离差资讯管理表的图示；图15(a)为表示工件处理装置所取得的距离差资讯与旋转角度的关系的曲线图；图15(b)为用以说明工件处理装置的缺口检测装置所执行的处理的曲线图；图15(c)为用以说明工件处理装置的缺陷检测装置所执行的处理的曲线图；图16为工件处理装置的输出例的图示；图17为实施形态2的工件处理装置的方块图；图18(a)、(b)分别为工件处理装置的一例的示意图(图18(a))、及工件处理装置的边缘位置检测器的一例的示意图(图18(b))；图19(a)、(b)分别为用以说明使该工件处理装置的缺陷部分移动到拍摄区域内的处理的图示，其中，图19(a)为旋转前图示、图19(b)为旋转后图示；图20为有关工件处理装置的动作的说明用流程图；图21为工件处理装置的影像管理表的一例的图示；图22为工件处理装置的显示例的图示；图23为工件处理装置的影像情况资讯管理表的一例的图示；图24为工件处理装置的显示例图；以及图25为实施形态1的工件处理装置的其他例子的方块图。具体实施方式〔专利技术的实施形态〕以下，参照图式就工件处理装置等的实施形态加以说明。此外，实施形态中，由于附注相同符号的构成要素执行同样的动作，故有省略再次说明的情形。(实施形态1)图1为本实施形态的工件处理装置1的方块图。工件处理装置1具备：第一旋转距离资讯储存部101、边缘位置检测器102、取得部103、输出部104、评估相关资讯受理部105、以及设定部106。取得部103具备例如：合成装置1031、合成处理装置1032、修正资讯取得装置1033、第二距离资讯取得装置1034、计算装置1035、缺口检测装置1036、以及缺陷检测装置1037。图2为用以说明本实施形态中作为第一旋转距离资讯的取得对象的圆形工件的一例的示意图(图2(a))、及用以说明取得工件修正资讯的处理的示意图(图2(b))。图3为本实施形态的边缘位置检测器102的一例的示意图。图4为具备本实施形态的工件处理装置1的工件输送系统1000的一例的俯视图。工件处理装置1为本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种工件处理装置，其特征在于，具备：第一旋转距离资讯储存部，供储存多个第一旋转距离资讯，所述第一旋转距离资讯为具有使圆形工件旋转时的旋转角度与第一距离资讯形成对应的资讯，而该第一距离资讯则为关于从对应该旋转角度的工件旋转中心至边缘为止的距离资讯；合成装置，将包含于前述多个第一旋转距离资讯的第一距离资讯中对应旋转角度逐次相异90度的多个第一距离资讯合成；合成处理装置，在前述合成装置将第一距离资讯合成并取得的资讯的多个合成距离资讯中，将对应的旋转角度相连续且值的大小变化较小的多个合成距离资讯进行检测，并取得检测所得的多个合成距离资讯中的一个以上对应的合成前多个第一距离资讯及与合成前的一个以上第一距离资讯对应的旋转角度；修正资讯取得装置，使用前述合成处理装置所取得的多个第一距离资讯及旋转角度，取得用以使前述工件的旋转中心与前述工件的中心对准的修正资讯；以及修正资讯输出装置，输出前述修正资讯取得装置所取得的修正资讯。

【技术特征摘要】
2013.12.02 JP 2013-249159;2014.03.28 JP 2014-067881.一种工件处理装置，其特征在于，具备：第一旋转距离资讯储存部，供储存多个第一旋转距离资讯，所述第一旋转距离资讯为具有使圆形工件旋转时的旋转角度与第一距离资讯形成对应的资讯，而该第一距离资讯则为关于从对应该旋转角度的工件旋转中心至边缘为止的距离资讯；合成装置，将包含于前述多个第一旋转距离资讯的第一距离资讯中对应旋转角度逐次相异90度的多个第一距离资讯合成；合成处理装置，在前述合成装置将第一距离资讯合成并取得的资讯的多个合成距离资讯中，将对应的旋转角度相连续且值的大小变化较小的多个合成距离资讯进行检测，并取得检测所得的多个合成距离资讯中的一个以上对应的合成前多个第一距离资讯及与合成前的一个以上第一距离资讯对应的旋转角度；修正资讯取得装置，使用前述合成处理装置所取得的多个第一距离资讯及旋转角度，取得用以使前述工件的旋转中心与前述工件的中心对准的修正资讯；以及修正资讯输出装置，输出前述修正资讯取得装置所取得的修正资讯。2.根据权利要求1所述的工件处里装置，其特征在于，具备：第二距离资讯取得装置，使用前述修正资讯输出装置所输出的修正资讯，取得表示前述工件为边缘无凹凸的圆形时的旋转角度与第二距离资讯的关系的关系式，而该第二距离资讯则为关于与旋转角度相应的工件至边缘的距离的资讯，将与前述多个第一旋转距离资讯对应的多个旋转角度分别代入该取得的关系式，并取得第二距离资讯；计算装置，使用前述多个第一旋转距离资讯及前述第二距离资讯取得装置所取得的多个第二距离资讯，来取得与相同的旋转角度形成对应的前述第一距离资讯与第二距离资讯的差；以及距离差相关输出装置，输出关于前述计算装置所计算的差的资讯。3.根据权利要求1所述的工件处理装置，其特征在于，前述合成处理装置在前述多个合成距离资讯中，将从值较大者依序检测一个以上合成距离资讯的第一处理及从值较小者依序检测一个以上合成距离资讯的第二处理的至少一个执行1次以上，并在该第一处理及第二处理未受检测的其余合成距离资讯中，取得与对应的旋转角度在预先指定数以上的相连续合成距离资讯的一个以上合成距离资讯对应的合成前多个第一距离资讯、与对应合成前的一个以上第一距离资讯的旋转角度的组对。4.根据权利要求2所述的工件处理装置，其特征在于，前述合成处理装置在前述多个合成距离资讯中，将从值较大者依序检测一个以上合成距离资讯的第一处理及从值较小者依序检测一个以上合成距离资讯的第二处理的至少一个执行1次以上，并在该第一处理及第二处...

【专利技术属性】
技术研发人员：仓桥孝治，宫本玲，川上敦司，崎元直树，
申请(专利权)人：株式会社大亨，
类型：发明
国别省市：日本,JP