用于制造太阳能电池的设备、和用于在制造太阳能电池中使用的基板上丝网印刷的沉积布置制造技术

本公开内容提供了一种用于制造太阳能电池的设备和用于在制造太阳能电池中使用的基板上丝网印刷的沉积布置。设备(100)包括处理站(110)、运输布置(120)和位于处理站(110)处的沉积布置(112)。运输布置(120)包括：第一线性运输器件(122)，所述第一线性运输器件经构造以用于在第一方向(1)上运输基板(10)；以及运输器件(124)，所述运输器件邻近第一线性运输器件(122)并且经构造以用于将基板(10)运输至处理站(110)。沉积布置(112)经构造以平行于第一方向(1)而移动，用于处理要沉积在基板(10)上的材料。

Equipment for manufacturing solar cells and deposition arrangement for screen printing on substrates used in manufacturing solar cells

The present disclosure provides a device for manufacturing solar cells and a deposition arrangement for screen printing on a substrate used in manufacturing solar cells. Equipment (100) includes a processing station (110), a transport arrangement (120) and a deposition arrangement (112) located at the processing station (110). The transport arrangement (120) includes: a first linear transport device (122), which is constructed for transporting a substrate (10) in the first direction (1), and a transport device (124), which is adjacent to the first linear transport device (122) and is constructed for transporting the substrate (10) to a processing station (110). The deposition arrangement (112) is structurally moved parallel to the first direction (1) for processing materials to be deposited on the substrate (10).

【技术实现步骤摘要】
用于制造太阳能电池的设备、和用于在制造太阳能电池中使用的基板上丝网印刷的沉积布置
本公开内容的实施例涉及一种用于制造太阳能电池的设备、和用于在制造太阳能电池中使用的基板上丝网印刷的沉积布置。本公开内容的实施例具体涉及了在转台处的丝网印刷头。
技术介绍
太阳能电池是将阳光直接转换为电力的光伏器件。在这个领域内，已知使用沉积工具(特别是印刷工具)在结晶硅基上生产太阳能电池，从而在太阳能电池的前表面上实现选择性发射级结构。处理周期可以包括至少一个印刷操作和另一可选材料处理操作，在所述印刷操作期间通过沉积器件在基板上沉积材料。设备的生产率和/或产量可由处理周期的周期时间限制。此外，印刷单元应当易于监视和/或应当是容易接取的(accessible)，例如，用于进行维护和进行印刷工艺控制。鉴于以上，克服本领域的至少一些问题的用于制造太阳能电池的新的设备和用于在制造太阳能电池中使用的基板上丝网印刷的沉积布置是有益的。本公开内容旨在提供一种易于监视并容易接取的设备和沉积布置。
技术实现思路
鉴于以上，提供了一种用于制造太阳能电池的设备、和用于在制造太阳能电池中使用的基板上丝网印刷的沉积布置。本公开内容的另外方面、优点和特征从权利要求书、说明书和随附附图中显而易见。根据本公开内容的一个方面，提供了一种用于制造太阳能电池的设备。所述设备包括处理站、运输布置(arrangement)和位于所述处理站处的沉积布置。运输布置包括：第一线性运输器件，所述第一线性运输器件经构造以用于在第一方向上运输基板；和运输器件，所述运输器件邻近所述第一线性运输器件并且经构造以将所述基板运输至处理站。沉积布置经构造以在第一方向上移动，用于处理要沉积在基板上的材料。在一些实施例中，所述运输器件包括至少一个转台。在一些实施例中，所述沉积布置被提供在所述至少一个转台处。在一些实施例中，所述至少一个转台的旋转轴线布置在垂直于所述第一方向的直线上。在一些实施例中，所述运输布置包括第二线性运输器件，并且其中所述运输器件布置在所述第一线性运输器件与所述第二线性运输器件之间。在一些实施例中，所述第一线性运输器件包括第一线性运输通道和邻近所述第一线性运输通道的第二线性运输通道，其中所述沉积布置包括第一沉积器件和第二沉积器件，所述第一沉积器件用于在由所述第一线性运输通道提供的基板上沉积材料，第二沉积器件用于在由所述第二线性运输通道提供的基板上沉积材料的，并且其中所述第一沉积器件和所述第二沉积器件布置在所述第一线性运输通道和所述第二线性运输通道之间。在一些实施例中，所述运输器件包括第一转台和第二转台，所述第一转台经构造以从所述第一线性运输通道接收基板，所述第二转台经构造以从所述第二线性运输通道接收基板。在一些实施例中，所述第一转台和所述第二转台直接邻近彼此布置。在一些实施例中，所述第一转台的旋转轴线和所述第二转台的旋转轴线布置在垂直于所述第一方向的直线上。在一些实施例中，所述第一线性运输器件包括第一线性运输通道和邻近所述第一线性运输通道的第二线性运输通道，其中所述沉积布置包括第一沉积器件和第二沉积器件，所述第一沉积器件用于在由所述第一线性运输通道提供的基板上沉积材料，所述第二沉积器件用于在由所述第二线性运输通道提供的基板上沉积材料，并且其中所述第一线性运输通道和所述第二线性运输布置在所述第一沉积器件和所述第二沉积器件之间。在一些实施例中，所述运输器件包括第一转台和第二转台，所述第一转台经构造以从所述第一线性运输通道接收基板，所述第二转台经构造以从所述第二线性运输通道接收基板，并且其中所述第一转台和所述第二转台在所述第一方向上相对于彼此而偏移。在一些实施例中，所述第一沉积器件和所述第二沉积器件相对于所述第一方向对称。在一些实施例中，所述第一方向是水平方向。在一些实施例中，所述沉积布置包括至少一个丝网印刷头。在一些实施例中，所述至少一个丝网印刷头包括一个或多个材料处理器件和一个或多个沉积器件，所述一个或多个材料处理器件用于对丝网上的材料进行材料处理，所述一个或多个沉积器件用于将材料从所述丝网传送至所述基板。在一些实施例中，所述一个或多个材料处理器件经构造以在所述第一方向上移动，用于对在所述丝网上的所述材料进行所述材料处理，并且所述一个或多个沉积器件经构造以在与所述第一方向相反的第二方向上移动，用于将所述材料从所述丝网传送至所述基板。在一些实施例中，所述一个或多个沉积器件经构造以在所述第一方向上移动，用于将所述材料从所述丝网传送至所述基板，并且所述一个或多个材料处理器件经构造以在与所述第一方向相反的所述第二方向上移动，用于对在所述丝网上的所述材料进行所述材料处理。根据本公开内容的另外方面，提供了一种用于在制造太阳能电池中使用的基板上丝网印刷的沉积布置。所述沉积布置包括至少一个丝网印刷头，所述至少一个丝网印刷头经构造以在平行于基板的线性运输方向的处理方向上移动。在一些实施例中，所述沉积布置根据上述的设备进行构造。在一些实施例中，所述处理方向和所述线性运输方向是水平方向。附图说明因此，为了能够详细理解本公开内容的上述特征所用方式，上文所简要概述的本公开内容的更具体的描述可以参考各个实施例而获得。随附附图涉及本公开内容的实施例，并且如下描述：图1示出了根据本文所述的实施例的用于制造太阳能电池的设备的示意图；图2A示出了根据本文所述的实施例的用于在制造太阳能电池中使用的基板上丝网印刷的沉积布置的示意图；图2B和图2C示出了根据本文所述的实施例的分别在第一方向和第二方向上移动以进行印刷和材料处理的丝网印刷头的示意图；图3示出了根据本文所述的另外实施例的用于制造太阳能电池的设备的示意图；图4示出了根据本文所述的实施例的在用于制造太阳能电池的设备中的不同位置处的坐标；和图5示出了根据本文所述的实施例的用于制造太阳能电池的设备的示意图。具体实施方式现将详细参考本公开内容的各种实施例，它们的一个或多个示例在附图中示出。在以下针对附图的描述中，相同元件符号是指相同元件。一般来说，仅描述了相对于个别实施例的差异。每个示例以解释本公开内容的方式而提供，而非意欲作为本公开内容的限制。另外，示出或描述为一个实施例的部分的特征可以用于其它实施例或与其它实施例结合以产生又一实施例。描述意欲包括这样的修改和变化。用于生产太阳能电池的工具架构可以基于双通道(dual-lane)式架构和具有能够以300mm/s或更高的速率印刷的太阳能电池浆料的高生产率(例如，5000-5500wph)的转台式印刷机。例如将这种架构应用于异质结电池上可能受到特定太阳能浆料要求的限制。例如，对异质结电池的要求可由150mm/s的印刷速度和400mm/s的覆墨速度(floodspeed)(相对于300mm/s和800mm/s的常规电池)表示。在此类条件下，对于156×156电池规格，生产率可能被限制在3200wph。本公开内容的实施例可应用于异质结电池的制造。然而，本公开内容不限于此并且本公开内容的实施例可应用于其它种类的太阳能电池的制造。本公开内容可以使用将电池从通道运输至印刷位置的运输器件，诸如转台。印刷方向平行于电池的通道。特定地，沉积布置基本上平行于基板线性运输方向移动，而并非垂直于所述线性运输方向移动。沉积本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于制造太阳能电池的设备，其特征在于，所述设备包括：处理站；运输布置，所述运输布置包括：第一线性运输器件，经构造以用于在第一方向上运输基板；和运输器件，邻近所述第一线性运输器件并且经构造以用于将所述基板运输至所述处理站；和沉积布置，所述沉积布置位于所述处理站处，并且经构造以在平行于所述第一方向的方向上移动，用于处理要沉积在所述基板上的材料。

【技术特征摘要】
1.一种用于制造太阳能电池的设备，其特征在于，所述设备包括：处理站；运输布置，所述运输布置包括：第一线性运输器件，经构造以用于在第一方向上运输基板；和运输器件，邻近所述第一线性运输器件并且经构造以用于将所述基板运输至所述处理站；和沉积布置，所述沉积布置位于所述处理站处，并且经构造以在平行于所述第一方向的方向上移动，用于处理要沉积在所述基板上的材料。2.如权利要求1所述的设备，其中所述运输器件包括至少一个转台。3.如权利要求2所述的设备，其中所述沉积布置被提供在所述至少一个转台处。4.如权利要求2所述的设备，其中所述至少一个转台的旋转轴线布置在垂直于所述第一方向的直线上。5.如权利要求1所述的设备，其中所述运输布置包括第二线性运输器件，并且其中所述运输器件布置在所述第一线性运输器件与所述第二线性运输器件之间。6.如权利要求1所述的设备，其中所述第一线性运输器件包括第一线性运输通道和邻近所述第一线性运输通道的第二线性运输通道，其中所述沉积布置包括第一沉积器件和第二沉积器件，所述第一沉积器件用于在由所述第一线性运输通道提供的基板上沉积材料，第二沉积器件用于在由所述第二线性运输通道提供的基板上沉积材料的，并且其中所述第一沉积器件和所述第二沉积器件布置在所述第一线性运输通道和所述第二线性运输通道之间。7.如权利要求6所述的设备，其中所述运输器件包括第一转台和第二转台，所述第一转台经构造以从所述第一线性运输通道接收基板，所述第二转台经构造以从所述第二线性运输通道接收基板。8.如权利要求7所述的设备，其中所述第一转台和所述第二转台直接邻近彼此布置。9.如权利要求7所述的设备，其中所述第一转台的旋转轴线和所述第二转台的旋转轴线布置在垂直于所述第一方向的直线上。10.如权利要求1所述的设备，其中所述第一线性运输器件包括第一线性运输通道和邻近所述第一线性运输通道的第二线性运输通道，其中所述沉积布置包括第一沉积器件和第二沉积器件，所述第一沉积器件用于在由所述第一线性运输通道提供的基板上沉...

【专利技术属性】
技术研发人员：达维德·科莱，
申请(专利权)人：应用材料意大利有限公司，
类型：新型
国别省市：意大利,IT