恒压体系装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及恒压体系装置，包含通过管路依次串接的正压罐、恒压罐以及负压罐，正压罐上连接惰性气体管路，恒压罐上连接尾气管路，负压罐通过管路连接真空泵的进口，真空泵的出口连接吸收塔，吸收塔上的出气口通过管路连接滤油棉装置的进口，滤油棉装置的出口连接风机的进风口，风机的出风口与大气相通。使尾气排放至恒压罐内，保持尾气在一定的恒压压力范围内，保证稳定的生产环境，再经抽空后由尾气处理系统处理后排放至大气中；实现现场作业和远程控制，自动操作和自动报警提示，可根据实际情况，处理不同压力条件下的尾气。

Constant Pressure System Device

The utility model relates to a constant pressure system device, which comprises a positive pressure tank, a constant pressure tank and a negative pressure tank connected in series through pipelines, an inert gas pipeline connected on the positive pressure tank, a tail gas pipeline connected on the constant pressure tank, a negative pressure tank connected with the inlet of the vacuum pump through pipelines, an absorption tower connected with the outlet of the vacuum pump, an outlet of the absorption tower connected with the inlet of the oil cotton filter device through pipelines, and an oil cotton filter. The outlet of the device is connected with the air inlet of the fan, and the air outlet of the fan is connected with the atmosphere. The tail gas is discharged into the constant pressure tank, the tail gas is kept in a certain constant pressure range, the stable production environment is guaranteed, and then it is discharged into the atmosphere by the tail gas treatment system after exhaustion. The field operation and remote control, automatic operation and automatic alarm are realized, and the tail gas under different pressure conditions can be processed according to the actual situation.

【技术实现步骤摘要】
恒压体系装置
本技术涉及一种恒压体系装置。
技术介绍
目前，高纯金属有机化合物(MO源)是现代化合物半导体产业的支撑源材料，是半导体照明(LED)产业链的源头材料；其主要应用于移动设备的背光源、液晶显示器背光源、半导体激光器及航天高效太阳能电池等高端军品
、信号灯、汽车照明和半导体照明灯光电子
MO源是采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术进行外延生长时的支撑材料，如GaAs、GaN、InP、AlGaAs等化合物半导体超薄型膜材料，能生产LED外延片、HEMT器件、半导体激光器、太阳能电池等；是发展光电子产业的关键材料之一，也是生产高亮度、超高亮度发光材料及大规模集成电路的必备原料。MO源具有非常活泼的化学性质，对空气和水极为敏感，在空气中能瞬间自燃，遇水则发生猛烈爆炸。所以，MO源的生产全过程就需要在密闭且无水、无氧的环境下进行。在现行的技术中，MO源的尾气是直接通过管路排放在无水、无氧的充满惰性气体的手套箱内，而手套箱是将高纯惰性气体充入箱体内，经循环过滤箱体气体中的活性物质的实验室设备，箱体承受压力较低。MO源的部分种类具有易挥发性，会使手套箱内MO源气氛，这就使手套箱的净化能力下降，需要经常更换净化系统。MO源市场的快速发展，其相关技术应用领域越来越大，大规模生产MO源应运而生，其尾气处理不能满足规模化生产，并且现在环保要求越来越高。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种恒压体系装置。本技术的目的通过以下技术方案来实现：恒压体系装置，特点是：包含通过管路依次串接的正压罐、恒压罐以及负压罐，所述正压罐上连接惰性气体管路，恒压罐上连接尾气管路，负压罐通过管路连接真空泵的进口，真空泵的出口连接吸收塔，吸收塔上的出气口通过管路连接滤油棉装置的进口，滤油棉装置的出口连接风机的进风口，风机的出风口与大气相通。进一步地，上述的恒压体系装置，其中，所述吸收塔内装有吸收液，一循环泵的进口通过管路与吸收塔的下口相连通，循环泵的出口通过管路与吸收塔的上口相连通，下口位于吸收液液面之下，上口位于吸收液液面之上。进一步地，上述的恒压体系装置，其中，所述正压罐与恒压罐之间的连接管路以及恒压罐与负压罐之间的连接管路上均设有阀门。进一步地，上述的恒压体系装置，其中，正压罐与惰性气体管路的连接管道上设有阀门。进一步地，上述的恒压体系装置，其中，恒压罐与尾气管路的连接管道上设有阀门。进一步地，上述的恒压体系装置，其中，所述正压罐、恒压罐以及负压罐均设有紧急排空管路。本技术与现有技术相比具有显著的优点和有益效果，具体体现在以下方面：该装置使尾气排放至恒压罐内，保持尾气在一定的恒压压力范围内，保证稳定的生产环境，再经抽空后由尾气处理系统处理后排放至大气中。实现现场作业和远程控制，自动操作和自动报警提示，可根据实际情况，处理不同压力条件下的尾气。附图说明图1：本技术的结构示意图。具体实施方式为了对本技术的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现详细说明具体实施方案。如图1所示，恒压体系装置，包含通过管路依次串接的正压罐1、恒压罐2以及负压罐3，正压罐1上连接惰性气体管路A，恒压罐2上连接尾气管路B，负压罐3通过管路连接真空泵4的进口，真空泵4的出口连接吸收塔5，吸收塔5上的出气口通过管路连接滤油棉装置7的进口，滤油棉装置7的出口连接风机8的进风口，风机8的出风口与大气相通。吸收塔5内装有吸收液，一循环泵6的进口通过管路与吸收塔的下口相连通，循环泵6的出口通过管路与吸收塔的上口相连通，下口位于吸收液液面之下，上口位于吸收液液面之上。通过各个系统之间的搭配与连通，使未处理的尾气保持一定的恒压压力范围，再经过尾气处理系统后排放至大气中。其中，正压罐1与恒压罐2之间的连接管路以及恒压罐2与负压罐3之间的连接管路上均设有阀门。正压罐1与惰性气体管路A的连接管道上设有阀门。恒压罐2与尾气管路B的连接管道上设有阀门。正压罐1、恒压罐2以及负压罐3均设有紧急排空管路，维护保养所用。正压罐1、恒压罐2、负压罐3的容积足够大，真空泵4的功率能满足单次气体最大排放量在一定时间内抽至负压的要求，正压罐1、恒压罐2、负压罐3在运行状态下能起到压力缓冲的作用。能用真空系统进行气体的置换作业。各个设备和各个系统的连接处保证管路及储罐的密封性，并且设有管路或储罐的检漏口。具体应用时，气体储罐的连通具有方向性，在自动的条件下是单向的补气(正压罐1、恒压罐2、负压罐3的压力是越来越小)在手动和压力变化的条件下能双向补气，负压罐3与真空泵4的连通是单向，气体储罐内的压力是保持在一定的范围内，当有压力变化时，惰性气体为正压罐1提供气体来源于压力保障，恒压罐2压力变小则通过正压罐1补气，恒压罐2压力变大则通过负压罐3排气。真空泵4把负压罐3多余的压力抽出，排至尾气处理系统，尾气经过吸收塔5和滤油棉装置7处理后排至大气。吸收塔5中的吸收液对MO源气体具有吸收或净化作用，吸收液通过循环泵6能增加对尾气处理能力，而滤油棉装置7的滤油棉则是吸附吸收液，防止被气体携带至大气中，风机8将被处理后的尾气顺畅的排出。设有PLC控制系统和报警系统是对压力变化的控制与警示。PLC控制系统会根据压力设定，实现气动系统的自动运行，还能远程操作压力的变化及尾气的排放。综上所述，本技术装置使尾气排放至恒压罐内，保持尾气在一定的恒压压力范围内，保证稳定的生产环境，再经抽空后由尾气处理系统处理后排放至大气中。实现现场作业和远程控制，自动操作和自动报警提示，可根据实际情况，处理不同压力条件下的尾气。需要说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施方式，并非用以限定本技术的权利范围；同时以上的描述，对于相关
的专门人士应可明了及实施，因此其它未脱离本技术所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰，均应包含在申请专利范围中。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.恒压体系装置，其特征在于：包含通过管路依次串接的正压罐、恒压罐以及负压罐，所述正压罐上连接惰性气体管路，恒压罐上连接尾气管路，负压罐通过管路连接真空泵的进口，真空泵的出口连接吸收塔，吸收塔上的出气口通过管路连接滤油棉装置的进口，滤油棉装置的出口连接风机的进风口，风机的出风口与大气相通。

【技术特征摘要】
1.恒压体系装置，其特征在于：包含通过管路依次串接的正压罐、恒压罐以及负压罐，所述正压罐上连接惰性气体管路，恒压罐上连接尾气管路，负压罐通过管路连接真空泵的进口，真空泵的出口连接吸收塔，吸收塔上的出气口通过管路连接滤油棉装置的进口，滤油棉装置的出口连接风机的进风口，风机的出风口与大气相通。2.根据权利要求1所述的恒压体系装置，其特征在于：所述吸收塔内装有吸收液，一循环泵的进口通过管路与吸收塔的下口相连通，循环泵的出口通过管路与吸收塔的上口相连通，下...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆平，曹明领，李刚，
申请(专利权)人：江苏南大光电材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32