The utility model relates to a solid purified cooling receiving and weighing device of solid MO source. Glove box is installed on the glove box table panel. The jacket of glove box is circularly connected with the refrigerator through pipeline. The receiving tank is placed in glove box. The receiving tank is connected with the discharge pipe through bellows. A top box plate is arranged on the top of the glove box, and a weighing module is suspended on the top box board, and the weighing module is connected with the receiving tank. The receiving tank is suspended in the glove box by hoisting, and the weighing module communicates with the PLC data acquisition, analysis and recording unit. It not only realizes the purified cooling reception of solid MO source, but also realizes the measurement of receiving weight. By using condensation reception, the uniformity of receiving solid particles can be controlled to meet the requirement of solid MO source for MOCVD epitaxy growth. It can be directly packaged to prevent secondary pollution during operation and solve the problem of purity and granularity of MO source. The problem of measurement.
【技术实现步骤摘要】
固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置
本技术涉及一种固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置,属于化工
技术介绍
目前,现代生长化合物半导体材料的方法有金属有机化学气相沉积(MOCVD)、分子束外延(MBE)、化学束外延(CBE))和液相外延(LPE)等多种技术,特别MOCVD技术,是目前能够进行规模化生产化合物半导体薄膜材料最佳的方法。MOCVD外延过程中所使用最关键的基础材料是纯度大于99.9999%(>6N)的高纯金属有机化合物(简称MO源),MO源也是CBE外延技术的支撑材料。高纯MO源是MOCVD技术的关键原材料,但是固态MO源是最难提纯的产品,采用传统的固体提纯方法如重结晶、升华、区域熔融等方法,很难将固态MO源纯度提纯到6N以上。例如采用重结晶需要添加新的溶剂,除了添加溶剂需要提纯以外,还需要进行重结晶后的过滤,蒸出溶剂的过程,操作十分繁琐,质量也不稳定;由于这类固体大多熔点较高,升华大多采用减压升华,条件较苛刻,并且在系统恢复常压的过程极易引入新的杂质;由于固态MO源对空气和水都很敏感,提纯必须在隔绝空气的前提下进行,区域熔融的设备显然无法满足要求,所以一般固体提纯方法都不适用于固态MO源的提纯及工业化生产。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术存在的不足,提供一种固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置。本技术的目的通过以下技术方案来实现:固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置,特点是:在手套箱台面板上安装手套箱,手套箱的夹套通过管路与冷冻机循环连接,接收罐置于手套箱中,接收罐通过波纹管连接出料管,手套箱的上方设有顶面厢 ...
【技术保护点】
1.固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置,其特征在于:在手套箱台面板上安装手套箱,手套箱的夹套通过管路与冷冻机循环连接,接收罐置于手套箱中,接收罐通过波纹管连接出料管,手套箱的上方设有顶面厢板,顶面厢板悬挂一计重模块,计重模块与接收罐吊接,使接收罐悬浮于手套箱中,所述计重模块与PLC数据采集分析记录单元通讯连接。
【技术特征摘要】
1.固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置,其特征在于:在手套箱台面板上安装手套箱,手套箱的夹套通过管路与冷冻机循环连接,接收罐置于手套箱中,接收罐通过波纹管连接出料管,手套箱的上方设有顶面厢板,顶面厢板悬挂一计重模块,计重模块与接收罐吊接,使接收罐悬浮于手套箱中,所述计重模块与PLC数据采集分析记录单元通讯连接。2.根据权利要求1所述的固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置,其特征在于:所述计重模块上吊挂一圆形钢板,圆形钢板上设有吊绳,吊绳与接收罐上的吊钩相连接。3.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员:陆平,张溧,徐彬,
申请(专利权)人:江苏南大光电材料股份有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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