半导体产品测试系统与方法技术方案

本发明专利技术揭露一种半导体产品测试系统与方法，其中测试多个电子装置的方法，包含一次执行m个装置的测试，在配置以一次测试高达m个装置的装置测试器上以测量装置参数。每个测试之后，方法包含对所有测试装置执行测量的装置参数的统计分析，以确认包含对每个参数更新的平均值和标准差之更新的统计数据，且仅储存统计数据，并非测量的装置参数。方法进一步包含基于更新的平均值和标准差决定每个装置参数新的通过/不通过限制，以及基于对每个装置参数新的通过/不通过限制决定每个装置的通过或不通过。

【技术实现步骤摘要】
半导体产品测试系统与方法
本专利技术是有关于半导体
更具体的说，本专利技术的实施例是对半导体装置的生产测试的系统和方法。
技术介绍
半导体测试方式在业界中可差异很大。自动化测试设备(ATE)通常用于处理和测试许多不同的终端用户的半导体产品线，例如：消费类、车用类和军事类装置。测试一个待测件(deviceundertest,DUT)产生的数据量可涉及从小至5KB大至1MB，且通常只需要几秒钟来测试一个DUT。乘以时间与小生产设施的运行率，例如：20个或更多个ATEs运行一天24小时/，一个礼拜7天，而一个月中所生产的测试数据会达到2兆字节(2.0×1012位)。大量数据的存储会变得昂贵。然而，分类、转移和管理所有这些数据会需要一组工程师进行分析。管理这些数据会变成巨大的生产挑战。在多数情况下，因为需要保管也增加ATE生产这些数据所花费的时间，业界甚至可能选择不要输出或储存数据。在多数的情况下，这里根本没有获得用于特定产品的数据，且没有足够的工程人员来分析可用的数据。因此，亟待需要的是提升方法与系统解决上述某些限制。
技术实现思路
本专利技术一些实施例针对一种在自动化测试系统上的工厂测试期间，对半导体产品测试方法和系统。该过程可即时进行，因为待测件在最后测试期间运行通过自动测试系统，在运送至终端客户之前。在一些实施例中，此方法不断追踪自动测试期间进行的所有测试，并对每个测试参数创建即时统计数据分布。此方法包含基于与偏态和常态分布过程相关联的统计数据对每个测试参数判断“通过/不通过(PASS/FAIL)”标准。由于半导体制造过程在其正态分布范围内，每个装置对每个生产测试参数的测量结果也会如此。在一些实施例中，此方法在生产测试期间动态且不断地更新测量数据。在一些实施例中，根据装置参数预先设置严厉的通过/不通过的限制，即便待测件在“好的(good)”装置的特定容限(tolerance)，此方法接着标记发生在“常态(normal)”分布外的单元例如：坏的或有缺陷的待测件。因此，这种标记潜在“好的(good)”装置的方法，产生较低的DPM(每百万次缺陷)率与提升了整体产品的可靠性。在一些实施例中，此方法随着更多装置被测试可动态地判断通过/不通过限制。本专利技术的一些实施例提供对涉及每个半导体产品的所有产品数据的自动化追踪的方法和系统，自动化纪录测试数据参数的统计数据，并调整测试程序以排除统计与常态分布不同的设备。本专利技术的优点包含追踪所有生产测试和统计数据，并通过减少产品缺陷提升了终端客户的产品，其可表示为DPM(每百万个缺陷)率。根据本专利技术一些实施例，半导体产品测试系统包含测试设备，例如：自动测试器。此系统具有耦接到自动测试器的处理器和耦接到处理器的储存装置。此系统配置以一次执行m个装置，在配置以一次测试高达m个装置的装置测试器上以测量装置参数，其中m为整数。在实施例中，m等于4，其意味着此测试可一次测试四个装置。在每个测试之后，系统执行测量装置参数的统计分析，以决定对所有测试的装置包含对每个参数更新的平均值和标准差的更新的统计数据。此系统仅储存统计数据，并非测试的装置参数。对前N个装置(N是整数)，每个测试进一步包含决定每个装置基于对装置参数预先设置的通过/不通过限制的通过或不通过。前N个装置之后，每个后续的测试进一步包含对每个基于更新的平均值和标准差的装置参数决定新的通过/不合个的限制。然后系统根据每个装置参数新的通过/不通过限制来决定每个装置的通过或不通过在上述系统一些实施例中，对每个装置参数新的通过/不通过是基于每个参数的更新的平均正负6个标准差。在一些实施例中，对每个装置参数新的通过/不通过是基于每个参数的更新的平均正负3个标准差。在一些实施例中，选择前N个装置的整数N以提供足够大数量的测试装置以确定装置参数的新的统计数据。例如：N可为50到500之间。或者，N可为500到3000个装置之间。在其它的实施例中，N可大于3000。在一些实施例中，统计数据可包含装置测试的总数、不通过装置的数量，与不通过装置的百分比。在一些实施例中，统计数据可包含装置参数分布的灰阶分布图。在一些实施例中，统计数据包含每个参数的更新的平均正负6个标准差。统计数据包含每个参数的更新的平均正负6个标准差。根据本专利技术的一些实施例，半导体产品测试方法包含一次执行测试高达m个装置以在配置以一次测试高达m个装置的装置测试器上测量装置参数，其中m为整数。每个测试之后，此方法包含执行对所有测试装置的测量的装置参数包含对每个参数的更新的平均值和标准差的统计分析，并仅储存统计数据，并非测量的装置参数。此方法进一步包含对每个装置参数基于更新的平均值和标准差决定新的通过/不通过限制，并基于对每个装置参数新的通过/不通过限制上决定每个装置的通过或不通过。在上述方法的一些实施例中，对每个装置新的通过或不通过限制是基于每个参数的更新的平均正负6个标准差。在一些实施例中，对每个装置新的通过或不通过限制是基于每个参数的更新的平均正负3个标准差。在一些实施例中，对前N个装置，其N为整数，此方法包含基于对每个装置参数预先设置的通过/不通过限制决定每个装置的通过或不通过。在前N个装置之后，对每个后续的测试，此方法进一步包含基于更新的平均值和标准差对每个装置参数决定新的通过/不通过限制，并基于对每个装置参数的新的通过/不通过限制决定每个装置的通过或不通过。在一些实施例中，选择前N个装置的整数N以提供对决定装置参数的新的统计数据足够大的测试装置的数量。例如：N可为50到500之间。或者，N可为500个到3000个装置之间。在其它的实施例中，N可大于3000。对本专利技术的性质和优点的进一步理解，可通过参考说明书和附图的其余部分来实现。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是绘示传统集成电路生产测试系统的简易方块图；图2是传统集成电路生产测试系统的最后测试阶段的简易方块图；图3是绘示对传统集成电路生产测试的最后测试阶段的常见的系统的简易方块图；图4是绘示根据本专利技术的一些实施例对集成电路产品测试的半导体最后产品测试的系统的简易方块图；图5是绘示根据本专利技术的一些实施例对集成电路产品测试的半导体最后产品测试的方法的简易流程图；图6是绘示装置参数的平均值的分布的长条图。在具体的范例中，头戴式电话数字模拟转换器信噪比(SNR)，沿着代表SNR值从90到115的水平轴绘制；以及图7是绘示装置参数的平均值的分布的长条图，类似图6中，并也绘示根据本专利技术的实施例的静态和动态通过/不通过限制。附图标号：100、200、300、400：系统110、120、130、140、150、160、170、210、220、230、232、234、240、242、244、312、314、316、322、501、510、520、530、540、550、560、570、580、582、590、592：步骤310：本地测试系统320：服务器324：统计数据410：测试器420：处理器43本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体产品测试系统，其特征在于，包含：一测试设备；一处理器，耦接至该测试设备；以及一储存装置，耦接至该处理器；其中该系统被配置为：一次执行m个装置的测试，用以测量一装置测试器的一装置参数，其中m为整数，该装置测试器用以一次测试m个装置；每次测试之后，用于所有测试装置的已测量的该装置参数进行一统计分析，以决定一更新统计数据，该更新统计数据包括对每一该装置参数的一更新平均值和一标准差；以及仅储存该更新统计数据，而不储存已测量的该装置参数；对前N个装置，每个测试进一步包含基于预先设置的装置参数的通过/不通过的限制决定每个该装置是否通过，其中N为整数；前该N个装置之后，每个后续测试进一步包含：基于该更新平均值和该标准差对每个该装置参数决定新的通过/不通过的限制；以及基于对每个该装置参数的新的通过/不通过的限制决定每个装置是否通过。

【技术特征摘要】
2017.06.14 US 15/623,3661.一种半导体产品测试系统，其特征在于，包含：一测试设备；一处理器，耦接至该测试设备；以及一储存装置，耦接至该处理器；其中该系统被配置为：一次执行m个装置的测试，用以测量一装置测试器的一装置参数，其中m为整数，该装置测试器用以一次测试m个装置；每次测试之后，用于所有测试装置的已测量的该装置参数进行一统计分析，以决定一更新统计数据，该更新统计数据包括对每一该装置参数的一更新平均值和一标准差；以及仅储存该更新统计数据，而不储存已测量的该装置参数；对前N个装置，每个测试进一步包含基于预先设置的装置参数的通过/不通过的限制决定每个该装置是否通过，其中N为整数；前该N个装置之后，每个后续测试进一步包含：基于该更新平均值和该标准差对每个该装置参数决定新的通过/不通过的限制；以及基于对每个该装置参数的新的通过/不通过的限制决定每个装置是否通过。2.如权利要求1所述的半导体产品测试系统，其特征在于，对每个该装置参数的该新的通过/不通过的限制是基于对每个参数的更新平均正负6个该标准差所决定。3.如权利要求1所述的半导体产品测试系统，其特征在于，对每个该装置参数的该新的通过/不通过的限制是基于对每个参数的更新平均正负3个该标准差所决定。4.如权利要求1所述的半导体产品测试系统，其特征在于，一整数N被选择以提供一多个的测试装置以确定该装置参数的该新的统计数据。5.如权利要求1所述的半导体产品测试系统，其特征在于，该前N个装置包含50个到500个装置。6.如权利要求1所述的半导体产品测试系统，其特征在于，该前N个装置包含500个到3000个装置。7.如权利要求1所述的半导体产品测试系统，其特征在于，该统计数据包含测试装置的总数、不通过装置的总数，与不通过装置的百分比。8.如权利要求1所述的半导体产品测试系统，其特征在于，该统计数据包含该装置参数分布的直方图。9.如权利要求1所述的半导体产品测试系统，其特征在于，该统计数据包含每个参数的更新平均正负6个该标准差。10.如权利要求1所述的半导体产品测试系统，其特征在于，该...

【专利技术属性】
技术研发人员：龙超，
申请(专利权)人：新唐科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71