本发明专利技术属于真空溅镀技术领域，具体的说是一种真空溅镀装置，包括反应腔、靶材、一号电机、连接轴、安装板、顶板与一号固定件；靶材左右对称安装在反应腔的内壁上，靶材用于产生镀膜所需的金属粒子；一号电机安装在反应腔底部，一号电机位于反应腔外部；连接轴安装位于反应腔内，连接轴下端与一号电机输出轴相连接，连接轴上端转动安装在反应腔顶部；安装板通过连接轴安装在反应腔内，安装板位于反应腔底部；顶板通过连接轴安装在反应腔内，顶板位于底部上方；一号固定件上端安装在顶板下表面，一号固定件下端安装在安装板上表面，一号固定件数量若干，一号固定件用于固定基材。
【技术实现步骤摘要】
一种真空溅镀装置
本专利技术属于真空溅镀
，具体的说是一种真空溅镀装置。
技术介绍
溅镀，通常指的是磁控溅镀，属于高速低温溅镀法。该工艺要求真空度在1×10-3Torr左右，即1.3×10-3Pa的真空状态充入惰性气体氩气(Ar)，并在塑胶基材(阳极)和金属靶材(阴极)之间加上高压直流电，由于辉光放电产生的电子激发惰性气体，产生等粒子体，等粒子体将金属靶材的原子轰出，沉积在塑胶基材上。溅镀与常用的蒸发镀相比，溅镀具有电镀层与基材的结合力强，附着力比蒸发镀高过10倍以上，电镀层致密等优点。溅镀的成品的表面的镀膜厚度的均匀性直接决定溅镀后成品的质量，但是现有的设备无法是的溅镀后的基材表面的镀膜厚度一致。专利文献一：溅镀装置，申请号：2010106052656上述专利文献1中，通过第一料杆与第二料杆的转动带动基材转动，但是料杆只能绕轴心公转无法自传，从而使得基材外表面与金属粒子接触的机会比基材内表面与金属粒子的接触机会多，从而使得基材外表面的镀膜比基材内表面的基材镀膜厚，该专利技术实用性不高。
技术实现思路
为了弥补现有技术的不足，本专利技术提出的一种真空溅镀装置，通过利用气缸对带动连杆上下运动，利用连杆的内螺纹与一号推杆上的外螺纹相互配合，从而使得连杆在一号推杆上上下运动并转动，进而使得连杆上的安装件与基材随着连杆转动，使得基材的每一处与金属粒子的接触机会相同，使得基材成品的镀膜更加均匀。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本专利技术所述的一种真空溅镀装置，包括反应腔、靶材、一号电机、连接轴、安装板、顶板与一号固定件；所述靶材左右对称安装在反应腔的内壁上，靶材用于产生镀膜所需的金属粒子；所述一号电机安装在反应腔底部，一号电机位于反应腔外部；所述连接轴安装位于反应腔内，连接轴下端与一号电机输出轴相连接，连接轴上端转动安装在反应腔顶部；所述安装板通过连接轴安装在反应腔内，安装板位于反应腔底部；所述顶板通过连接轴安装在反应腔内，顶板位于底部上方；所述一号固定件上端安装在顶板下表面，一号固定件下端安装在安装板上表面，一号固定件数量若干，一号固定件用于固定基材。工作时，将基材安装在一号固定件上，对反应腔抽真空并向反应腔中注入足量的氩气，注完氩气后，开启一号电机，安装板与顶板在一号电机的作用下转动，从而使得一号固定件随着顶板与安装板同步转动，使得一号固定件上的基材与靶材产生的金属粒子充分接触，从而使得基材表面的镀膜更加均匀，加快的溅镀的速度，提高了工作效率，提高了成品的质量。所述一号固定件包括转轴、滑轮、一号推杆、气缸、连杆、浮动接头与安装件；所述顶板的下表面还设有截面为十字形的滑道，滑道轨迹为圆弧形，截面为十字形保证了转轴与滑轮不会从滑道内脱落，滑道数量与一号固定件数量相同；所述转轴安装在滑道内，转轴可以在滑道内滑动；所述滑轮通过转轴安装在滑道内，滑轮可以在滑道内滚动，滑轮用于带动转轴在滑道内滑动；所述一号推杆上端与转轴相铰接；所述气缸安装在安装板上，气缸数量与一号固定件的数量相同；所述连杆底端与气缸的活塞杆相接触，连杆上端设有圆形凹槽，一号推杆的下端通过弹簧安装在连杆上端的圆形凹槽内；所述浮动接头分别位于连杆的底端与气缸活塞杆的顶端，浮动接头用于保证连杆的多角度转动；所述安装件数量若干，安装件对称布置在连杆上，安装件用于安装基材。工作时，气缸的活塞杆伸出对连杆进行挤压，从而使得连杆上端的一号推杆在连杆的作用下受到向上的力，此时一号推杆对转轴提供向上的力，使得转轴带动滑轮在滑道内移动，当气缸的活塞杆缩回时，气缸对连杆提供一个向下的力，使得连杆与一号推杆、滑轮、转轴回到初始的位置，从而使得连杆来回摆动，使得基材随着连杆一起摆动，由于滑道的轨迹为弧形，使得连杆与连杆上固定的基材沿弧形轨迹摆动，使得基材更好的与靶材上产生的金属粒子接触，进而使得基材上的镀膜更加的均匀，同时加块了工作效率，节约了时间；过程中，浮动接头的存在保证了连杆与气缸活塞杆不发生脱离，同时保证了连杆可以多角度运动。所述安装件包括安装块、吸盘与二号推杆，所述安装块安装在连杆上，安装块上设有圆形凹槽；所述二号推杆一端通过弹簧安装在安装块的圆形凹槽内，二号推杆另一端位于安装块外；所述吸盘安装在二号推杆上，吸盘用于固定基材。工作时，将筒状的基材通过安装件上的吸盘安装，将柔性的基材弯曲成筒状安装在安装件上，弹簧推动二号推杆对基材的内壁进行挤压，吸盘对基材的内壁进行吸附，使得基材被牢固的固定，避免了基材在溅镀时发生松动，从而使得成品基材的镀膜均匀，提高了成品基材的品质。所述连杆的圆形凹槽中设有内螺纹；所述一号推杆的下端设有外螺纹，外螺纹与连杆的内螺纹相匹配，外螺纹的存在使得连杆上下运动时绕着一号推杆发生转动。工作时，连杆在气缸活塞杆的作用下上下运动，连杆中的内螺纹与一号推杆下端的外螺纹的存在使得连杆在上下运动时绕着一号推杆转动，从而使得基材随着连杆一起转动，使得基材的各个部位与金属粒子接触机会相同，进而使得基材的镀膜更加均匀，提高了基材溅镀后的品质。所述连接轴上还设有凸轮，凸轮位于反应腔外部；所述反应腔底部还固定有气囊，气囊位于反应腔外部，气囊为弹性气囊；所述反应腔的底板中还设有一号空腔，一号空腔与气囊、连接轴内部通道相连通，一号空腔用于实现气囊与连接轴内部的通道之间的气流流通；所述安装板内部还设有二号空腔，二号空腔与气缸、连接轴内部通道相连通，二号空腔用于实现连接轴内部通道与气缸之间的气流流通。工作时，一号电机带动凸轮转动，从而使得凸轮对气囊进行间歇性的挤压，由于气囊与一号空腔、连接轴内部的通道、二号空腔、气缸之间形成了气流通路，从而使得气囊受挤压后将气体输送至气缸中，气囊为弹性气囊使得气囊受挤压后可以恢复，使得凸轮与气囊脱离接触时，气缸中的气体又从气流通路中返回气囊中，从而使得气缸活塞杆不断的伸缩，使得连杆转动并沿着弧形轨迹摆动，进而使得基材的镀膜更加均匀，提高了成品的质量，提高了工作效率，同时利用气囊实现气缸活塞杆的伸缩，节约了成本。所述反应腔内还设有二号固定件，二号固定件包括螺杆、旋钮、筒夹、顶杆、一号齿轮、二号电机与二号齿轮；所述顶板上还设有若干螺纹孔；所述螺杆通过顶板上的螺纹孔安装在顶板上；所述旋钮安装在螺杆的上端，旋钮用于控制螺杆的上下运动；所述筒夹转动安装在螺杆的下端，筒夹用于夹持基材或其他的夹具；所述顶杆转动安装在安装板上，顶杆上端为圆弧形，顶杆的数量与分布与筒夹相对应，顶杆用于支撑基材并带动基材转动；所述一号齿轮安装在顶杆上，一号齿轮用于带动顶杆转动；所述二号电机安装在安装板上，二号电机为空心轴电机，二号电机轴心与连接轴轴心相同；所述二号齿轮固定在二号电机的输出轴上，二号齿轮与一号齿轮相啮合，二号齿轮用于带动一号齿轮转动。工作时，当基材为实心的柱状基材时，将基材的上端通过筒夹夹紧，通过旋钮调节螺杆的上下，使得筒夹与基材上下运动，使得基材的下端与顶杆顶端相接触并抵死，从而使得基材稳定的安装，顶杆上端为圆弧形，使得基材不会受到损伤，提高了装置的实用性，提高了溅镀后的基材的品质；当基材为其他形状时，将相对应的夹头通过筒夹安装，再调节筒夹的位置，将基材固定好，从而实现了各种实心的基材的固定，提高了装置的实用性，使得装置可以对各种基材进行溅镀；基材安本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种真空溅镀装置，其特征在于：包括反应腔(1)、靶材(2)、一号电机(3)、连接轴(4)、安装板(5)、顶板(6)与一号固定件(7)；所述靶材(2)左右对称安装在反应腔(1)的内壁上，靶材(2)用于产生镀膜所需的金属粒子；所述一号电机(3)安装在反应腔(1)底部，一号电机(3)位于反应腔(1)外部；所述连接轴(4)安装位于反应腔(1)内，连接轴(4)下端与一号电机(3)输出轴相连接，连接轴(4)上端转动安装在反应腔(1)顶部；所述安装板(5)通过连接轴(4)安装在反应腔(1)内，安装板(5)位于反应腔(1)底部；所述顶板(6)通过连接轴(4)安装在反应腔(1)内，顶板(6)位于底部上方；所述一号固定件(7)上端安装在顶板(6)下表面，一号固定件(7)下端安装在安装板(5)上表面，一号固定件(7)数量若干，一号固定件(7)用于固定基材。
【技术特征摘要】
1.一种真空溅镀装置，其特征在于：包括反应腔(1)、靶材(2)、一号电机(3)、连接轴(4)、安装板(5)、顶板(6)与一号固定件(7)；所述靶材(2)左右对称安装在反应腔(1)的内壁上，靶材(2)用于产生镀膜所需的金属粒子；所述一号电机(3)安装在反应腔(1)底部，一号电机(3)位于反应腔(1)外部；所述连接轴(4)安装位于反应腔(1)内，连接轴(4)下端与一号电机(3)输出轴相连接，连接轴(4)上端转动安装在反应腔(1)顶部；所述安装板(5)通过连接轴(4)安装在反应腔(1)内，安装板(5)位于反应腔(1)底部；所述顶板(6)通过连接轴(4)安装在反应腔(1)内，顶板(6)位于底部上方；所述一号固定件(7)上端安装在顶板(6)下表面，一号固定件(7)下端安装在安装板(5)上表面，一号固定件(7)数量若干，一号固定件(7)用于固定基材。2.根据权利要求1所述的一种真空溅镀装置，其特征在于：所述一号固定件(7)包括转轴、滑轮(71)、一号推杆(72)、气缸(73)、连杆(74)、浮动接头(75)与安装件(76)；所述顶板(6)的下表面还设有截面为十字形的滑道(61)，滑道(61)轨迹为圆弧形，滑道(61)数量与一号固定件(7)数量相同；所述转轴安装在滑道(61)内，转轴可以在滑道(61)内滑动；所述滑轮(71)通过转轴安装在滑道(61)内，滑轮(71)可以在滑道(61)内滚动，滑轮(71)用于带动转轴在滑道(61)内滑动；所述一号推杆(72)上端与转轴相铰接；所述气缸(73)安装在安装板(5)上，气缸(73)数量与一号固定件(7)的数量相同；所述连杆(74)底端与气缸(73)的活塞杆相接触，连杆(74)上端设有圆形凹槽，一号推杆(72)的下端通过弹簧安装在连杆(74)上端的圆形凹槽内；所述浮动接头(75)分别位于连杆(74)的底端与气缸(73)活塞杆的顶端，浮动接头(75)用于保证连杆(74)的多角度转动；所述安装件(76)数量若干，安装件(76)对称布置在连杆(74)上，安装件(76)用于安装基材。3.根据权利要求2所述的一种真空溅镀装置，其特征在于：所述安装件(76)包括安装块(761)、吸盘(762)与二号推杆(763)，所述安装块(761)安装在连杆(74)上，安装块(761)上设有圆形凹槽；所述二号推杆(763)一端通过弹簧安装在安装块(761)的圆形凹槽内，二...
【专利技术属性】
技术研发人员：余泽军，
申请(专利权)人：余泽军，
类型：发明
国别省市：广东,44
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