一种柔性衬底及其制备方法技术

本发明专利技术提供一种柔性衬底，包括依次层叠的第一膜层、第二膜层和第三膜层，其中，所述第一膜层和第三膜层为有机聚合物薄膜，所述有机聚合物薄膜中掺杂有纳米粒子，所述纳米粒子选自氧化钛、氧化锌或氧化硅中的至少一种物质；所述第二膜层为无机薄膜。本发明专利技术还提供一种上述柔性衬底的制备方法及包括上述柔性衬底的柔性显示装置。通过在柔性衬底的第一膜层和第三膜层中掺杂纳米粒子，能够有效吸收或反射激光剥离时的紫外线，从而防止激光对柔性衬底另外一侧的薄膜晶体管和OLED模块造成损伤。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性衬底及其制备方法
本专利技术涉及显示
，具体地说，涉及一种柔性衬底及该柔性衬底的制备方法。
技术介绍
有机电致发光器件(OLED)具有功耗低、轻便、亮度高、视野宽和反应快等特点，并且能够实现柔性显示，已应用于智能手机、平板电脑等智能终端中，逐渐成为新一代显示产品。由于柔性显示装置具有可卷曲、耐冲击、抗震能力强、重量轻、体积小、携带更方便等优点，随着技术的发展，得到了越来越广泛的应用，应用前景十分可观。显然，柔性显示装置所采用的衬底必须是柔性衬底，如聚酰亚胺(PI)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)等。由于柔性衬底容易发生变形，因此在制备过程中，柔性衬底的搬送、定位等都有一定的困难。因此，通常的柔性显示装置制备方法包括以下步骤，首先把柔性衬底贴合在玻璃衬底上进行后续薄膜晶体管和OLED模块的制备，制备完成之后，通过一定的方式将柔性显示装置从玻璃基板上剥离下来。激光离型剥离是常见的一种剥离方式，采用激光照射柔性衬底和玻璃的界面处，从而可以打断直接的连接，实现玻璃基板和柔性衬底的分离。由于所选用的激光波长一般在308-360nm，这样的激光会穿过柔性衬底照射到柔性衬底另一侧的薄膜晶体管和OLED模块，不仅会造成晶体管的阈值电压的漂移甚至晶体管器件特性失效，而且也会对OLED模块中的有机材料造成一定的损害，降低OLED器件的发光效率和寿命，从而导致柔性显示装置的显示品质的下降。
技术实现思路
针对现有技术中存在的缺陷，本专利技术的目的在于提供一种新的柔性衬底，其能够防止激光剥离时激光对柔性衬底另一侧的薄膜晶体管和OLED模块造成损伤。为达到上述目的，本专利技术提供一种柔性衬底，包括依次层叠的第一膜层、第二膜层和第三膜层，其中，所述第一膜层和第三膜层为有机聚合物薄膜，所述有机聚合物薄膜中掺杂有纳米粒子，所述纳米粒子选自氧化钛、氧化锌或氧化硅中的至少一种物质；所述第二膜层为无机薄膜。优选地，所述有机聚合物薄膜的主体材料选自聚酰亚胺、聚酰胺、聚碳酸酯、聚丙烯、聚丙烯酸、聚丙烯酸酯、聚氨酯丙烯酸酯、聚酯、聚乙烯、聚苯乙烯、聚硅氧烷、聚硅氮烷或环氧类树脂。优选地，所述有机聚合物薄膜的材料为聚酰亚胺。优选地，所述第一膜层和第三膜层中，所述纳米粒子的质量百分数为0.3wt％-2wt％。优选地，所述无机薄膜的材料选自氧化物、氮化物、氮氧化物或氟化物中至少一种物质。优选地，所述无机薄膜的材料选自氧化硅和/或氮化硅。优选地，所述第一膜层和第三膜层的厚度为10-100μm，所述第二膜层的厚度为0.03-5μm。本专利技术还提供一种柔性衬底的制备方法，包括以下步骤：(1)制备有机聚合物前驱体，向所述有机聚合物前驱体中加入纳米粒子，所述纳米粒子选自氧化钛、氧化锌或氧化硅中的至少一种物质，在一硬质衬底上涂布掺杂有纳米粒子的有机聚合物前驱体，加热固化该有机聚合物前驱体，得到第一膜层；(2)在所述第一膜层上制备第二膜层，所述第二膜层为无机薄膜；(3)制备有机聚合物前驱体，向所述有机聚合物前驱体中加入纳米粒子，所述纳米粒子选自氧化钛、氧化锌或氧化硅中的至少一种物质，在所述第二膜层上涂布掺杂有纳米粒子的有机聚合物前驱体，加热固化该有机聚合物前驱体，得到第三膜层。本专利技术还提供一种柔性显示装置，其特征在于，包括OLED器件和上述的柔性衬底，其中，所述OLED器件包括薄膜晶体管和OLED模块，所述薄膜晶体管设置于所述柔性衬底的第一膜层或第三膜层上，所述OLED模块设置于所述薄膜晶体管上。与现有技术相比，本专利技术提供的柔性衬底及其制备方法至少具有以下有益效果：1、通过在柔性衬底的第一膜层和第三膜层中掺杂纳米粒子，能够有效吸收或反射激光剥离时的紫外线，从而防止激光对柔性衬底另外一侧的薄膜晶体管和OLED模块造成损伤。2、柔性衬底中第二膜层能够进一步阻挡激光对薄膜晶体管和OLED模块造成损伤，并有效防止第一膜层和第三膜层可能产生的裂纹贯穿整个柔性衬底，阻隔周围环境中的水氧对OLED器件进行侵蚀，从而延长柔性显示装置的使用寿命。附图说明图1为本专利技术实施例的柔性衬底的结构示意图。其中，附图标记说明如下：10：第一膜层20：第二膜层30：第三膜层具体实施方式现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本专利技术更全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。在图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略对它们的重复描述。术语第一、第二、第三仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。请参照图1，本专利技术的柔性衬底，包括依次层叠的第一膜层10、第二膜层20和第三膜层30。其中，第一膜层10和第三膜层30为有机聚合物薄膜，该有机聚合物薄膜中掺杂有纳米粒子，该纳米粒子选自氧化钛、氧化锌或氧化硅中的至少一种物质；第二膜层20为无机薄膜。第一膜层10和第三膜层30中，有机聚合物薄膜的主体材料通常选择玻璃化转变温度(Tg)较高的材料，如Tg高于350℃的材料。作为示例，该主体材料选自聚酰亚胺、聚酰胺、聚碳酸酯、聚丙烯、聚丙烯酸、聚丙烯酸酯、聚氨酯丙烯酸酯、聚酯、聚乙烯、聚苯乙烯、聚硅氧烷、聚硅氮烷或环氧类树脂，优选聚酰亚胺。为达到柔性显示装置的衬底使用要求，第一膜层10和第三膜层30的厚度优选为10-100μm。柔性显示装置制备完成后，采用激光照射柔性衬底和硬质衬底(如玻璃基板)的界面处进行剥离时，激光位于硬质衬底一侧，通常选用波长在308-360nm范围内的紫外线激光(准分子激光)。本专利技术第一膜层10和第三膜层30的有机聚合物薄膜中除上述主体材料外，还掺杂有纳米粒子，该纳米粒子选自氧化钛、氧化锌或氧化硅。其中，第一膜层优选反射型，第三膜层优选吸收型，纳米氧化钛和纳米氧化锌对波长为400nm以下的紫外线有极强的吸收能力，掺杂于有机聚合物薄膜中可有效降低紫外线的透过率；纳米氧化硅对波长为400nm以下的紫外线反射率高达95％，掺杂于有机聚合物薄膜中可将紫外线反射回去，避免紫外线照射至柔性衬底另外一侧的薄膜晶体管和OLED模块。本专利技术利用掺杂上述纳米粒子的方法，有效地改善激光剥离时有机聚合物薄膜对紫外线的阻抗特性，在完成器件制作后进行激光剥离过程中，可以很好地防止激光对薄膜晶体管和OLED模块造成损伤。需要说明的是，可选择氧化钛、氧化锌、氧化硅其中之一作为掺杂纳米粒子，也可以任选其中两种或三种物质作为掺杂纳米粒子。此外，专利技术人意外发现，第一膜层10和第三膜层30中纳米粒子掺杂的质量百分数在0.3wt％-2wt％范围内时，具有较好的防护效果，因此，本专利技术优选掺杂纳米粒子的质量百分数为0.3wt％-2wt％。需要说明的是，第一膜层10和第三膜层30的主体材料、厚度、纳米粒子的种类和掺杂质量百分数可以相同或不同。第二膜层20为无机薄膜，该无机薄膜可以作为阻光层，在激光剥离时阻挡激光对柔性衬底另外一侧的薄膜晶体管和OLED模块造成损伤。此外，器件制备完毕后，该无机薄膜还可作为阻挡层，防止第一膜层10和第三膜层30可能产生的裂纹贯穿整个柔性衬底，阻挡周围环境中水氧对OLED器件进行侵蚀，有效改善柔性衬底的水氧阻隔特性，进而延长柔性本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性衬底，其特征在于，包括依次层叠的第一膜层、第二膜层和第三膜层，其中，所述第一膜层和第三膜层为有机聚合物薄膜，所述有机聚合物薄膜中掺杂有纳米粒子，所述纳米粒子选自氧化钛、氧化锌或氧化硅中的至少一种物质；所述第二膜层为无机薄膜。

【技术特征摘要】
1.一种柔性衬底，其特征在于，包括依次层叠的第一膜层、第二膜层和第三膜层，其中，所述第一膜层和第三膜层为有机聚合物薄膜，所述有机聚合物薄膜中掺杂有纳米粒子，所述纳米粒子选自氧化钛、氧化锌或氧化硅中的至少一种物质；所述第二膜层为无机薄膜。2.根据权利要求1所述的柔性衬底，其特征在于，所述有机聚合物薄膜的主体材料选自聚酰亚胺、聚酰胺、聚碳酸酯、聚丙烯、聚丙烯酸、聚丙烯酸酯、聚氨酯丙烯酸酯、聚酯、聚乙烯、聚苯乙烯、聚硅氧烷、聚硅氮烷或环氧类树脂。3.根据权利要求2所述的柔性衬底，其特征在于，所述有机聚合物薄膜的材料为聚酰亚胺。4.根据权利要求1所述的柔性衬底，其特征在于，所述第一膜层和第三膜层中，所述纳米粒子的质量百分数为0.3wt％-2wt％。5.根据权利要求1所述的柔性衬底，其特征在于，所述无机薄膜的材料选自氧化物、氮化物、氮氧化物或氟化物中至少一种物质。6.根据权利要求5所述的柔性衬底，其特征在于，所述无机薄膜的材料选自氧化硅和/或氮化硅。7.根据权利要求1所述的柔性衬底...

【专利技术属性】
技术研发人员：张其国，
申请(专利权)人：上海和辉光电有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31