真空密封装置及包含其的真空操纵系统制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种真空密封装置及包含其的真空操纵系统，所述真空密封装置包括：箱体，箱体设有真空腔和若干驱动孔，驱动孔与真空腔连通；驱动部件，驱动部件穿设于驱动孔，且驱动部件的两端分别位于真空腔内和箱体外；波纹管，波纹管用于密封驱动部件和驱动孔之间的间隙。所述真空操纵系统包括如上所述的真空密封装置。本发明专利技术的真空密封装置通过将驱动部件、波纹管和箱体结合，简化了真空密封装置的整体结构；同时，本发明专利技术的真空密封装置即实现了真空腔的真空密封，又实现了驱动部件与真空腔结合的结构，优化了真空密封装置的整体功能。

Vacuum sealing device and its vacuum control system

The invention discloses a vacuum sealing device and a vacuum control system including the vacuum sealing device. The vacuum sealing device comprises a box body, which is provided with a vacuum chamber and several driving holes, and the driving holes are connected with the vacuum chamber; the driving parts are arranged through the driving holes, and the two ends of the driving parts are respectively located in the vacuum chamber and the box body. Outside; bellows, bellows are used to seal the gap between driving parts and driving holes. The vacuum control system includes the vacuum sealing device as described above. The vacuum sealing device of the invention simplifies the overall structure of the vacuum sealing device by combining the driving component, bellows and the box body. At the same time, the vacuum sealing device of the invention realizes the vacuum sealing of the vacuum cavity, realizes the structure of combining the driving component with the vacuum cavity, and optimizes the overall work of the vacuum sealing device. Yes.

【技术实现步骤摘要】
真空密封装置及包含其的真空操纵系统
本专利技术涉及一种真空密封装置及包含其的真空操纵系统。
技术介绍
在大气环境中，如果需要同时使得物体在两个方向上线性移动具有多种实现方式。但是当被移动的物体位于真空腔中时，这种线性移动就遇到了困难。一般来说，出于设备的精简和布线的便利性考虑，驱动器(例如电机)都是位于设有真空腔的真空密封装置外的大气环境中的，而被驱动物(例如离子注入机的引出电极)则是被置于真空密封装置的真空腔中的。但是，现有技术中的真空密封装置存在体积过大、结构复杂的问题。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是为了克服现有技术中真空密封装置存在体积过大、结构复杂的缺陷，提供一种真空密封装置及包含其的真空操纵系统。本专利技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：一种真空密封装置，其特点在于，所述真空密封装置包括：箱体，所述箱体设有真空腔和若干驱动孔，所述驱动孔与所述真空腔连通；驱动部件，所述驱动部件穿设于所述驱动孔，且所述驱动部件的两端分别位于所述真空腔内和所述箱体外；波纹管，所述波纹管用于密封所述驱动部件和所述驱动孔之间的间隙。在本技术方案中，通过将驱动部件、波纹管和箱体结合，简化了真空密封装置的整体结构；同时，本专利技术的真空密封装置即实现了真空腔的真空密封，又实现了驱动部件与真空腔结合的结构，优化了真空密封装置的整体功能。较佳地，所述箱体包括：主体框架，所述主体框架设有第一真空腔和开口，所述开口与所述第一真空腔连通；操纵器躯干，所述操纵器躯干对应于所述开口设置，且所述操纵器躯干密封连接于所述主体框架，所述操纵器躯干设有第二真空腔；其中，所述第二真空腔与所述第一真空腔连通并形成所述真空腔，所述驱动孔设于所述操纵器躯干。在本技术方案中，通过设置操纵器躯干，缩小了真空密封装置的整体体积，并简化了真空密封装置的结构。较佳地，所述操纵器躯干可拆卸地连接于所述主体框架。较佳地，所述波纹管对应于所述驱动部件设置，且所述波纹管的一端密封连接于所述箱体的外壁，所述波纹管的另一端与所述驱动部件连接，所述驱动部件穿设于所述波纹管。较佳地，所述驱动部件包括第一驱动部件和第二驱动部件，所述第一驱动部件的移动方向和第二驱动部件的移动方向设有夹角。在本技术方案中，通过设置不同移动方向的第一驱动部件和第二驱动部件，实现了被驱动物在真空腔中不同方向的移动。较佳地，所述夹角为90度。较佳地，所述第一驱动部件包括一驱动臂，所述驱动臂为L形。较佳地，所述驱动臂包括驱动杆和驱动连接杆，所述驱动杆的一端与所述波纹管连接，所述驱动杆的中心轴线与所述第一驱动部件的移动方向平行，所述驱动连接杆的中心轴线垂直于所述驱动杆的中心轴线，且所述驱动连接杆的一端套设于所述驱动杆的另一端。在本技术方案中，通过设置驱动臂的结构，缩小了第一驱动部件的整体占用空间，同时简化了真空密封装置的整体结构。较佳地，所述驱动杆套设有万向节，所述万向节用于保持所述驱动杆的移动方向。在本技术方案中，通过在驱动杆套设万向节，保证了驱动杆沿移动方向移动的稳定性及移动方向的精确度。一种真空操纵系统，其特点在于，所述真空操纵系统包括如上所述的真空密封装置。本专利技术的积极进步效果在于：本专利技术的真空密封装置通过将驱动部件、波纹管和箱体结合，简化了真空密封装置的整体结构；同时，本专利技术的真空密封装置即实现了真空腔的真空密封，又实现了驱动部件与真空腔结合的结构，优化了真空密封装置的整体功能。附图说明图1为本专利技术较佳实施例的真空密封装置的结构示意图。图2为本专利技术较佳实施例的真空密封装置的部分结构装配图。附图标记说明箱体10驱动孔11主体框架12操纵器躯干13第一真空腔14第二真空腔15开口16波纹管20第一驱动部件30驱动臂31驱动杆32驱动连接杆33万向节34第二驱动部件40具体实施方式下面通过实施例的方式进一步说明本专利技术，但并不因此将本专利技术限制在所述的实施例范围之中。请结合图1和图2予以理解，本实施案例提供一种真空密封装置。所述真空密封装置包括：箱体10、波纹管20和驱动部件。箱体10设有真空腔和若干驱动孔11，驱动孔11与所述真空腔连通。箱体10包括：主体框架12和操纵器躯干13，主体框架12设有第一真空腔14和开口16，开口16与第一真空腔14连通。操纵器躯干13对应于开口16设置，且操纵器躯干13密封连接于主体框架12，操纵器躯干13设有第二真空腔15。其中，第二真空腔15与第一真空腔14连通并形成所述真空腔，驱动孔11设于操纵器躯干13。在其他实施例中，操纵器躯干13也可以是可拆卸地连接于主体框架12。这样，通过设置操纵器躯干13，缩小了真空密封装置的整体体积，并简化了真空密封装置的结构。波纹管20用于密封所述驱动部件和驱动孔11之间的间隙。波纹管20对应于所述驱动部件设置，且波纹管20的一端密封连接于箱体10的外壁，波纹管20的另一端与所述驱动部件连接，所述驱动部件穿设于波纹管20。所述驱动部件穿设于驱动孔11，且所述驱动部件的两端分别位于所述真空腔内和箱体10外。所述驱动部件包括第一驱动部件30和第二驱动部件40，第一驱动部件30的移动方向和第二驱动部件40的移动方向设有夹角。较佳地，所述夹角为90度。这样，通过设置不同移动方向的第一驱动部件30和第二驱动部件40，实现了被驱动物在真空腔中不同方向的移动。第一驱动部件30包括一驱动臂31，驱动臂31为L形。在本实施例中，驱动臂31包括驱动杆32和驱动连接杆33，驱动杆32的一端与波纹管20连接，驱动杆32的中心轴线与第一驱动部件30的移动方向平行，驱动连接杆33的中心轴线垂直于驱动杆32的中心轴线，且驱动连接杆33的一端套设于驱动杆32的另一端。通过设置驱动臂31的结构，缩小了第一驱动部件30的整体占用空间，同时简化了真空密封装置的整体结构。在本实施例中，驱动杆32套设有万向节34，万向节34用于保持驱动杆32的移动方向。这样，通过在驱动杆32套设万向节34，保证了驱动杆32沿移动方向移动的稳定性及移动方向的精确度。本专利技术的真空密封装置通过将驱动部件、波纹管和箱体结合，简化了真空密封装置的整体结构；同时，本专利技术的真空密封装置即实现了真空腔的真空密封，又实现了驱动部件与真空腔结合的结构，优化了真空密封装置的整体功能。本专利技术还提供一种真空操纵系统，所述真空操纵系统包括如上所述的真空密封装置。虽然以上描述了本专利技术的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这些仅是举例说明，本专利技术的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本专利技术的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本专利技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空密封装置，其特征在于，所述真空密封装置包括：箱体，所述箱体设有真空腔和若干驱动孔，所述驱动孔与所述真空腔连通；驱动部件，所述驱动部件穿设于所述驱动孔，且所述驱动部件的两端分别位于所述真空腔内和所述箱体外；波纹管，所述波纹管用于密封所述驱动部件和所述驱动孔之间的间隙。

【技术特征摘要】
1.一种真空密封装置，其特征在于，所述真空密封装置包括：箱体，所述箱体设有真空腔和若干驱动孔，所述驱动孔与所述真空腔连通；驱动部件，所述驱动部件穿设于所述驱动孔，且所述驱动部件的两端分别位于所述真空腔内和所述箱体外；波纹管，所述波纹管用于密封所述驱动部件和所述驱动孔之间的间隙。2.如权利要求1所述的真空密封装置，其特征在于，所述箱体包括：主体框架，所述主体框架设有第一真空腔和开口，所述开口与所述第一真空腔连通；操纵器躯干，所述操纵器躯干对应于所述开口设置，且所述操纵器躯干密封连接于所述主体框架，所述操纵器躯干设有第二真空腔；其中，所述第二真空腔与所述第一真空腔连通并形成所述真空腔，所述驱动孔设于所述操纵器躯干。3.如权利要求2所述的真空密封装置，其特征在于，所述操纵器躯干可拆卸地连接于所述主体框架。4.如权利要求1所述的真空密封装置，其特征在于，所述波纹管对应于所述驱动部件设置，且所述波纹管的一端密封连接于所述箱体的外壁，所述波纹管的另一...

【专利技术属性】
技术研发人员：金浩，刘仁杰，
申请(专利权)人：上海凯世通半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31