柔性太阳能电池背电极生产设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种柔性太阳能电池背电极生产设备。该柔性太阳能电池背电极生产设备使用铜罩进行隔离，将各个材料溅射室独立设置到铜罩内，这样可以让其使用不同材料溅射镀膜时，不会造成材料间相互的交叉污染，实现同时一次性使用多种不同材料溅射镀膜。

Flexible Solar Cell Back Electrode Production Equipment

The utility model discloses a flexible solar cell back electrode production equipment. The flexible solar cell back electrode production equipment uses copper cover for isolation, and the sputtering chamber of each material is set independently in the copper cover, so that when it sputters with different materials, it will not cause cross-contamination between materials, and realize the simultaneous use of a variety of different materials for sputtering coating at one time.

【技术实现步骤摘要】
柔性太阳能电池背电极生产设备
本技术涉及太阳能电池
，尤其涉及一种柔性太阳能电池背电极生产设备。
技术介绍
随着全球气候变暖、生态环境恶化和常规能源的短缺，太阳能已成为各国可持续发展的重要战略决策。太阳能电池就是一种将太阳能转化成电能的装置，具备超过电能、风能等资源的能源，而有希望成为未来电力行业的重要支柱。其中，柔性太阳能电池更是具有广阔的市场前景。柔性太阳能电池主要有窗口层、缓冲层、吸收层、背电极和衬底组成。柔性太阳能电池背电极生产时需要在柔性太阳能电池卷上进行材料溅射镀膜，现有柔性太阳能电池背电极生产采用一体溅射，一体溅射的使用材料相同，选择性少，无法同时实现不同材料溅射镀膜。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术设计了一种柔性太阳能电池背电极生产设备。本技术采用如下技术方案：一种柔性太阳能电池背电极生产设备，包括腔体，腔体内依次设置有放卷辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊，放卷辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊间连接有传动辊，放卷辊、传动辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊组成输送通道，输送通道上分布有铜罩A和多个铜罩B，铜罩A和多个铜罩B内分别设置有材料溅射室，多个铜罩B围绕油温鼓分布，腔体上设置有真空系统。作为优选，所述真空系统包括粗抽泵组、分子泵、前级泵和冷泵。作为优选，所述冷却轴内连通循环冷却水管道，油温鼓内连通循环热油管道。作为优选，所述腔体内设置有红外加热灯。作为优选，所述输送通道上设置有张力辊和纠偏系统。作为优选，所述腔体内安装设置有摄像头。作为优选，所述输送通道上设置有转向轴。作为优选，所述放卷辊和收卷辊固定连接有同步电机。与现有技术相比，该柔性太阳能电池背电极生产设备的有益效果是：1、使用铜罩进行隔离，将各个材料溅射室独立设置到铜罩内，这样可以让其使用不同材料溅射镀膜时，不会造成材料间相互的交叉污染，实现同时一次性使用多种不同材料溅射镀膜；2、采用多级抽真空，抽真空时将水蒸气吸附的颗粒进行抽出，保证腔体的洁净；3、生产过程中对油温鼓加热，保证腔体内的生产温度，生产溅射完成后通过接触冷却轴表面进行快速的降温；4、通过对红外加热灯上的热电偶的温度反馈，控制加热灯的输出功率，处理生产前的基地上吸附的水汽；5、将张力和纠偏系统组合一起，保证卷面左右的平整，防止因卷的弯曲制造成卷膜层的损伤；6、通过摄像头的安装，实时的反馈腔体内的生产情况，收放卷的位置和卷表面状况；7、增加转向轴，薄膜可以进行正反面的镀膜，释放应力，提高生产效率，优化生产。附图说明图1是本技术的一种结构示意图；图中：1、腔体，2、放卷辊，3、收卷辊，4、传动辊，5、张力辊，6、纠偏系统，7、红外加热灯，8、油温鼓，9、冷却轴，10、铜罩A，11、铜罩B，12、分子泵，13、冷泵，14、前级泵，15、粗抽泵组。具体实施方式下面通过具体实施例，并结合附图，对本技术的技术方案作进一步的具体描述：实施例：如附图1所示，一种柔性太阳能电池背电极生产设备，包括腔体1，腔体内依次设置有放卷辊2、油温鼓8、冷却轴9和收卷辊3，放卷辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊间连接有传动辊4，放卷辊、传动辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊组成输送通道，输送通道上分布有铜罩A10和四个铜罩B11，铜罩A和四个铜罩B内分别设置有材料溅射室，四个铜罩B围绕油温鼓分布，腔体上设置有真空系统，真空系统包括粗抽泵组15、分子泵12、前级泵14和冷泵13，冷却轴内连通循环冷却水管道，油温鼓内连通循环热油管道，腔体内设置有红外加热灯7，输送通道上设置有张力辊5和纠偏系统6，腔体内安装设置有摄像头，输送通道上设置有转向轴，放卷辊和收卷辊固定连接有同步电机。该柔性太阳能电池背电极生产设备使用时，将腔体分成5个不同的区域，使用铜罩进行隔离，可以让其使用不同材料例如铜、银、钼等原材料溅射时，不会造成材料相互的交叉污染，调整生产时的卷的速度（0-5m/min），提高生产效率；增加转向轴，薄膜可以进行正反面的镀膜，使用柔性材料时释放应力，保证卷的平整，优化生产；将张力和纠偏系统组合一起，保证柔性材料卷面左右的平整，防止因卷的弯曲制造成卷膜层的损伤；通过摄像头的安装，实时的反馈每个区之间的生产情况，收放卷的位置和卷表面状况，通过控制器的控制及时的反馈功率、电流等状况，方便及时了解工艺情况；对红外加热灯加热温度在100-300℃之间，通过热电偶的温度反馈，控制加热灯的输出功率，处理生产前的基地上吸附的水汽，生产过程中对卷同步运行的油温鼓加热50-200℃，保证基地的生产温度，生产溅射完成后通过接触冷却轴（循环冷却水20-25℃）表面进行快速的降温。以上所述的实施例只是本技术的一种较佳的方案，并非对本技术作任何形式上的限制，在不超出权利要求所记载的技术方案的前提下还有其它的变体及改型。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性太阳能电池背电极生产设备，包括腔体，其特征是，所述腔体内一次设置有放卷辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊，放卷辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊间连接有传动辊，放卷辊、传动辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊组成输送通道，输送通道上分布有铜罩A和多个铜罩B，铜罩A和多个铜罩B内分别设置有材料溅射室，多个铜罩B围绕油温鼓分布，腔体上设置有真空系统。

【技术特征摘要】
1.一种柔性太阳能电池背电极生产设备，包括腔体，其特征是，所述腔体内一次设置有放卷辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊，放卷辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊间连接有传动辊，放卷辊、传动辊、油温鼓、冷却轴和收卷辊组成输送通道，输送通道上分布有铜罩A和多个铜罩B，铜罩A和多个铜罩B内分别设置有材料溅射室，多个铜罩B围绕油温鼓分布，腔体上设置有真空系统。2.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池背电极生产设备，其特征是，所述真空系统包括粗抽泵组、分子泵、前级泵和冷泵。3.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池背电极生产设备，其特征是，所述冷却轴内连...

【专利技术属性】
技术研发人员：任宇航，于金杰，罗明新，
申请(专利权)人：浙江尚越新能源开发有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33