一种半导体扩散炉用冷却排液管制造技术

本实用新型专利技术涉及一种半导体扩散炉用冷却排液管，包括有不锈钢外管1、石英内管2、阶梯3、冷却水进水管4、冷却水出水管5、废液出口6、密封圈7、废液入口8；该装置可以在设备主体加装，方便灵活，高度随意调整，价格低廉，加工简单，可以极大的方便从而延长了压力传感器的寿命。

A Cooling Drainage Tube for Semiconductor Diffusion Furnace

The utility model relates to a cooling drain pipe for semiconductor diffusion furnace, which comprises stainless steel outer pipe 1, quartz inner pipe 2, step 3, cooling water inlet pipe 4, cooling water outlet pipe 5, waste liquid outlet 6, sealing ring 7 and waste liquid inlet 8. The device can be installed in the main body of the equipment, which is convenient, flexible, highly arbitrary adjustment, and low price. Simple processing can greatly facilitate the life of the pressure sensor.

【技术实现步骤摘要】
一种半导体扩散炉用冷却排液管
本专利技术属于制造
，适用于一种半导体扩散炉用冷却排液管。
技术介绍
传统方式的排液管主要是高温导致后部排液管变形、堵塞，要定期对排液管进行清理甚至更换，然而这种办法不仅成本较高而且浪费人工，不容易日常管控。本技术专利主要针对该问题，设计更合理的排液方式来冷却废液从而解决该问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术要解决的技术问题是：旨在提供一种结构简单，而且节约成本的冷却排液装置。为了达到此目的，本技术专利采用了以下技术方案：包括有不锈钢外管1、石英内管2、阶梯3、冷却水进水管4、冷却水出水管5、废液出口6、密封圈7、废液入口8，其中不锈钢外管1在石英内管2的外部，包围着石英内管2，并由上下左右四个密封圈7所密封，并且各由一个螺栓所固定；石英内管2里面有阶梯3；冷却水进水管4在不锈钢外管1的右上方；冷却水出水管5在不锈钢外管1的左下方；废液出口6在石英内管2的正下部；废液出口8在石英内管2的正上部；石英内管1的废液入口8与扩散炉管的废液出口连通，废液出口6与工厂废液管道连通，冷却水进水管4与工厂冷却水进水管连通，冷却水出水管5与工厂冷却水出水管连通；高温氧化扩散炉内的高温废液直接从废液入口8流入冷却废液排液管，经过冷却后经废液出口6直接排入工厂废液回收系统；高温氧化是扩散工艺中一项重要的工序，高温氧化扩散炉机台工艺结束后经常会产生废盐酸或者偏磷酸等废液，由于废液排出后处于高温状态且具有腐蚀性，所以时间一长极易造成排液管变形泄露。目前主要的排液方式主要是石英管直排式(无冷却)，极易造成后部排液管高温变形或者损坏。排废管，其主要结构包括外部冷却装置，所述外部冷却装置由不锈钢材料制成，设有冷却水进出水接口，上下各有一个环型端盖并使用胶圈与内部石英管进行密封。内部石英管，内部石英管内部使用阶梯式结构，使废液能够在有限的石英管道内部充分的冷却。本技术主要采用了新的结构方式，使废液能够充分的进行冷却。解决了现有直接排液导致后部排液管高温变形堵塞甚至泄露的问题。加装了不锈钢外管，通入工业冷却水后能够快速的对废液进行冷却。对石英排液管加装了阶梯式结构，使废液排出时充分与外部冷却水进行冷热交换。本技术从结构上改变解决了目前废液管路高温导致变形甚至堵塞泄露的根本问题。很大的节省了公司人工和备件成本。请参考图1，图1是本技术提供的排液管的结构示意图。如图1所示，石英内管1的废液入口8与扩散炉管的废液出口连通，废液出口6与工厂废液管道连通，冷却水进水管4与工厂冷却水进水管连通，冷却水出水管5与工厂冷却水出水管连通。实施过程中高温氧化扩散炉内的高温废液直接从废液入口8流入冷却废液排液管，经过冷却后经废液出口6直接排入工厂废液回收系统；附图说明图1是本技术的结构示意图；图中，1、不锈钢外管；2、石英内管；3、阶梯；4、冷却水进水管5、冷却水出水管6、废液出口7、密封圈8、废液入口。具体实施方式为了使本专利技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行详细的说明。应当说明的是，此处所描述的具体实施例仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术，能实现同样功能的产品属于等同替换和改进，均包含在本专利技术的保护范围之内。具体方法如下：实施例1：下面我们结合具体的实施方式来进一步说明本技术的技术方案。其中包括构造、各部件间的位置和连接关系或条件、工艺过程。高温氧化是扩散工艺中一项重要的工序，高温氧化扩散炉机台工艺结束后经常会产生废盐酸或者偏磷酸等废液，由于废液排出后处于高温状态且具有腐蚀性，所以时间一长极易造成排液管变形泄露。目前主要的排液方式主要是石英管直排式(无冷却)，极易造成后部排液管高温变形或者损坏。排废管，其主要结构包括外部冷却装置，所述外部冷却装置由不锈钢材料制成，设有冷却水进出水接口，上下各有一个环型端盖并使用胶圈与内部石英管进行密封。内部石英管，内部石英管内部使用阶梯式结构，使废液能够在有限的石英管道内部充分的冷却。本技术主要采用了新的结构方式，使废液能够充分的进行冷却。解决了现有直接排液导致后部排液管高温变形堵塞甚至泄露的问题。加装了不锈钢外管，通入工业冷却水后能够快速的对废液进行冷却。对石英排液管加装了阶梯式结构，使废液排出时充分与外部冷却水进行冷热交换。本技术从结构上改变解决了目前废液管路高温导致变形甚至堵塞泄露的根本问题。很大的节省了公司人工和备件成本。请参考图1，图1是本技术提供的排液管的结构示意图。如图1所示，石英内管1的废液入口8与扩散炉管的废液出口连通，废液出口6与工厂废液管道连通，冷却水进水管4与工厂冷却水进水管连通，冷却水出水管5与工厂冷却水出水管连通。实施过程中高温氧化扩散炉内的高温废液直接从废液入口8流入冷却废液排液管，经过冷却后经废液出口6直接排入工厂废液回收系统。本专利技术的有益效果：该装置可以在设备主体下方进行加固，方便灵活，高度随意调整，价格低廉，加工简单，可以极大的方便从而延长了压力传感器的寿命。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体扩散炉用冷却排液管，其特征是：包括有不锈钢外管1、石英内管2、阶梯3、冷却水进水管4、冷却水出水管5、废液出口6、密封圈7、废液入口8，其中所述不锈钢外管1在所述石英内管2的外部，包围着所述石英内管2，并由上下左右四个所述密封圈7所密封，并且各由一个螺栓所固定；所述石英内管2里面有所述阶梯3；所述冷却水进水管4在所述不锈钢外管1的右上方；所述冷却水出水管5在所述不锈钢外管1的左下方；废液出口6在石英内管2的正下部；废液出口8在石英内管2的正上部。

【技术特征摘要】
1.一种半导体扩散炉用冷却排液管，其特征是：包括有不锈钢外管1、石英内管2、阶梯3、冷却水进水管4、冷却水出水管5、废液出口6、密封圈7、废液入口8，其中所述不锈钢外管1在所述石英内管2的外部，包围着所述石英内管2，并由上下左右四个...

【专利技术属性】
技术研发人员：张志强，喻勇全，魏关成，贺志军，姚旭，
申请(专利权)人：上海广奕电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31