一种多晶硅铸锭炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多晶硅铸锭炉，包括炉体，所述炉体内壁的顶部固定镶嵌有连接管，所述炉体内壁底部开设圆孔，圆孔内转动连接转轴，所述转轴的上端固定连接有导热块，所述导热块的上表面固定连接有坩埚护板，所述坩埚护板的内壁与坩埚的表面固定连接，所述坩埚护板的表面与大轴承的内壁固定连接，所述大轴承的外部固定套接有圆筒，所述圆筒的内壁转动连接扇叶，所述圆筒的表面开设有齿槽，所述齿槽啮合有齿轮，所述炉体内壁的一侧面固定连接有连接块。本实用新型专利技术通过设置圆筒、三相异步电机、通孔、活塞、进气管、弹簧和滚轮，解决了目前多晶硅铸锭炉大都采用氩气环流保护硅锭，氩气用量较大，造成资源浪费的问题。

A Polycrystalline Silicon Ingot Furnace

The utility model discloses a polycrystalline silicon ingot furnace, which comprises a furnace body. The top of the inner wall of the furnace body is fixed with a connecting tube. The bottom of the inner wall of the furnace body is provided with a circular hole, and the rotary shaft is rotated in the circular hole. The upper end of the rotary shaft is fixed with a heat conducting block, and the upper surface of the heat conducting block is fixed with a crucible guard plate. The inner wall of the crucible guard plate is fixedly connected with the surface of the crucible. The surface of the crucible guard plate is fixedly connected with the inner wall of the large bearing. The outer fixed sleeve of the large bearing is connected with a cylinder. The inner wall of the cylinder rotates to connect the fan blades. The surface of the cylinder is provided with a slot, the slot is meshed with gears, and the inner wall of the furnace is fixed with a cylinder. A connecting block is fixed on one side. By setting cylinders, three-phase asynchronous motors, through holes, pistons, intake pipes, springs and rollers, the utility model solves the problem that the polycrystalline silicon ingot furnace mostly adopts argon circulating current to protect the silicon ingot, and the amount of argon is large, resulting in waste of resources.

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅铸锭炉
本技术涉及多晶硅生产设备
，具体为一种多晶硅铸锭炉。
技术介绍
多晶硅，是单质硅的一种形态，多晶硅是生产单晶硅的直接原料，是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料，被称为“微电子大厦的基石”，铸锭炉是专为太阳能工业设计的专用设备，是多晶硅铸锭的必需设备。目前多晶硅铸锭炉大都采用氩气环流保护硅锭，氩气用量较大，造成资源浪费。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了一种多晶硅铸锭炉，解决了目前多晶硅铸锭炉大都采用氩气环流保护硅锭，氩气用量较大，造成资源浪费的问题。(二)技术方案为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种多晶硅铸锭炉，包括炉体，所述炉体内壁的顶部固定镶嵌有连接管，所述炉体内壁底部开设圆孔，圆孔内转动连接转轴，所述转轴的上端固定连接有导热块，所述导热块的上表面固定连接有坩埚护板，所述坩埚护板的内壁与坩埚的表面固定连接，所述坩埚护板的表面与大轴承的内壁固定连接，所述大轴承的外部固定套接有圆筒，所述圆筒的内壁转动连接扇叶，所述圆筒的表面开设有齿槽，所述齿槽啮合有齿轮，所述炉体内壁的一侧面固定连接有连接块，所述连接块的另一侧固定连接有三相异步电机，所述齿轮固定套接在三相异步电机输出轴的表面，所述圆筒的内壁开设有通孔，所述圆筒的内壁活动连接有活塞，所述活塞顶部开设穿孔的内壁与防水轴承的外壁固定连接，所述防水轴承的内壁与进气管的表面固定连接，所述进气管的表面与连接管的内壁活动连接。所述炉体顶部开设小孔的内壁与圆杆的表面活动连接，所述圆杆的下端固定连接有支撑座，所述圆杆的表面活动套接有弹簧，所述弹簧的两端分别与炉体内壁的顶部和支撑座的上表面搭接，所述支撑座的内壁通过销轴活动连接有滚轮，所述滚轮与活塞的顶部搭接。优选的，所述活塞的侧面固定连接有滑块，所述炉体内壁对应滑块位置处开设有滑槽，且滑块的表面与滑槽的内壁滑动连接。优选的，所述通孔与滑槽相连通，所述滑块位于滑槽内壁的底部。优选的，所述进气管的表面活动套接有橡胶垫，且橡胶垫位于进气管凸起部位的下方。优选的，所述齿轮位于齿槽的中部，且齿槽的宽度等于坩埚在竖直方向运动的距离。优选的，所述扇叶呈等腰梯形，且上底的长度为下底长度的五倍。(三)有益效果本技术提供了一种多晶硅铸锭炉，具备以下有益效果：(1)、本技术通过设置圆筒、三相异步电机、通孔、活塞、进气管、弹簧和滚轮，进气管通入氩气，圆筒和活塞把坩埚与炉体隔开，减小有用空间，三相异步电机通过齿轮和齿槽带动圆筒转动，扇叶带动氩气环流，圆筒内气压增加到一定值后推动活塞向上运动，弹簧收缩，通孔与活塞下方的空腔相连通，圆筒内后通入的氩气纯度高且温度较低，位于圆筒内腔的底部，先通入的氩气在圆筒内存留时间长，纯度低且温度较高，位于圆筒内腔的上方，所以先通入的氩气更容易从通孔排出，然后圆筒内气压下降，弹簧推动活塞向下运动堵住通孔，达到防止氩气没有充分利用被排出的效果，降低了氩气用量，解决了目前多晶硅铸锭炉大都采用氩气环流保护硅锭，氩气用量较大，造成资源浪费的问题。(2)、本技术通过设置连接管、大轴承、齿槽、三相异步电机、进气管和弹簧，多晶硅铸锭过程中为了受热均匀，会使坩埚转动和竖直运动，进气管的表面与连接管的内壁活动连接，坩埚在转动过程中大轴承使得圆筒与坩埚单独运动，齿槽具有一定宽度，不会与齿轮脱离，弹簧始终向下支撑活塞，使得坩埚带动圆筒竖直运动过程中不会影响充入氩气的充入与排除，达到硅锭的生产流程有条不紊的效果。附图说明图1为本技术正剖图；图2为本技术图1中A处结构放大图；图3为本技术图1中B处结构放大图；图4为本技术扇叶左视图。图中：1炉体、2连接管、3转轴、4导热块、5坩埚护板、6坩埚、7大轴承、8圆筒、9扇叶、10齿槽、11齿轮、12连接块、13三相异步电机、14通孔、15活塞、16防水轴承、17进气管、18圆杆、19支撑座、20弹簧、21滚轮、22滑块、23滑槽、24橡胶垫。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1-4所示，本技术提供一种技术方案：一种多晶硅铸锭炉，包括炉体1，炉体1内壁的顶部固定镶嵌有连接管2，炉体1内壁底部开设圆孔，圆孔内转动连接转轴3，转轴3用于带动坩埚6运动，转轴3的上端固定连接有导热块4，导热块4的上表面固定连接有坩埚护板5，坩埚护板5用于保护坩埚6，坩埚护板5的内壁与坩埚6的表面固定连接，坩埚护板5的表面与大轴承7的内壁固定连接，大轴承7使得坩埚护板5与圆筒8能够独立转动，大轴承7的外部固定套接有圆筒8，圆筒8用于把坩埚6与炉体1分隔开，圆筒8的内壁转动连接扇叶9，扇叶9呈等腰梯形，且上底的长度为下底长度的五倍，不论圆筒8正转还是翻转，带动扇叶9转动都会使得圆筒8内的气体向下运动，使其被充分利用，圆筒8的表面开设有齿槽10，齿槽10啮合有齿轮11，齿轮11通过齿槽10带动圆筒8转动，齿轮11位于齿槽10的中部，且齿槽10的宽度等于坩埚6在竖直方向运动的距离，铸锭炉生产硅锭的过程中，为了使硅锭受热均匀，会使坩埚6转动和竖直运动，齿槽10的形状保证了圆筒8始终不会与齿轮11脱离，炉体1内壁的一侧面固定连接有连接块12，连接块12用于固定三相异步电机13，连接块12的另一侧固定连接有三相异步电机13，三相异步电机13的供电方式为外部电源，可以根据氩气的流速确定三相异步电机13的转速，齿轮11固定套接在三相异步电机13输出轴的表面，圆筒8的内壁开设有通孔14，通孔14用于排出圆筒8内的气体，圆筒8的内壁活动连接有活塞15，活塞15向上移动，弹簧20收缩，通孔14与活塞15下方的空腔相连通，排出气体，弹簧20伸长，活塞15恢复原位，堵住通孔14，停止气体交换，活塞15的侧面固定连接有滑块22，炉体1内壁对应滑块22位置处开设有滑槽23，且滑块22的表面与滑槽23的内壁滑动连接，滑块22和滑槽23对活塞15的运动具有导向作用，通孔14与滑槽23相连通，滑块22位于滑槽23内壁的底部，活塞15顶部开设穿孔的内壁与防水轴承16的外壁固定连接，防水轴承16可以使进气管17不会跟随活塞15和圆筒8转动，防水轴承16的内壁与进气管17的表面固定连接，进气管17的表面与连接管2的内壁活动连接，进气管17的表面活动套接有橡胶垫24，且橡胶垫24位于进气管17凸起部位的下方，充气时，气压向下推动进气管17，进气管17挤压橡胶垫24，增强进气管17与连接管2之间的密封性。炉体1顶部开设小孔的内壁与圆杆18的表面活动连接，圆杆18用于限制弹簧20的位置，圆杆18的下端固定连接有支撑座19，支撑座19给弹簧20提供受力点，圆杆18的表面活动套接有弹簧20，弹簧20用于支撑活塞15，弹簧20的两端分别与炉体1内壁的顶部和支撑座19的上表面搭接，支撑座19的内壁通过销轴活动连接有滚轮21，滚轮21用于消除活塞15与支撑座19之间本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多晶硅铸锭炉，包括炉体(1)，所述炉体(1)内壁的顶部固定镶嵌有连接管(2)，所述炉体(1)内壁底部开设圆孔，圆孔内转动连接转轴(3)，所述转轴(3)的上端固定连接有导热块(4)，所述导热块(4)的上表面固定连接有坩埚护板(5)，所述坩埚护板(5)的内壁与坩埚(6)的表面固定连接，其特征在于：所述坩埚护板(5)的表面与大轴承(7)的内壁固定连接，所述大轴承(7)的外部固定套接有圆筒(8)，所述圆筒(8)的内壁转动连接扇叶(9)，所述圆筒(8)的表面开设有齿槽(10)，所述齿槽(10)啮合有齿轮(11)，所述炉体(1)内壁的一侧面固定连接有连接块(12)，所述连接块(12)的另一侧固定连接有三相异步电机(13)，所述齿轮(11)固定套接在三相异步电机(13)输出轴的表面，所述圆筒(8)的内壁开设有通孔(14)，所述圆筒(8)的内壁活动连接有活塞(15)，所述活塞(15)顶部开设穿孔的内壁与防水轴承(16)的外壁固定连接，所述防水轴承(16)的内壁与进气管(17)的表面固定连接，所述进气管(17)的表面与连接管(2)的内壁活动连接；所述炉体(1)顶部开设小孔的内壁与圆杆(18)的表面活动连接，所述圆杆(18)的下端固定连接有支撑座(19)，所述圆杆(18)的表面活动套接有弹簧(20)，所述弹簧(20)的两端分别与炉体(1)内壁的顶部和支撑座(19)的上表面搭接，所述支撑座(19)的内壁通过销轴活动连接有滚轮(21)，所述滚轮(21)与活塞(15)的顶部搭接。...

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅铸锭炉，包括炉体(1)，所述炉体(1)内壁的顶部固定镶嵌有连接管(2)，所述炉体(1)内壁底部开设圆孔，圆孔内转动连接转轴(3)，所述转轴(3)的上端固定连接有导热块(4)，所述导热块(4)的上表面固定连接有坩埚护板(5)，所述坩埚护板(5)的内壁与坩埚(6)的表面固定连接，其特征在于：所述坩埚护板(5)的表面与大轴承(7)的内壁固定连接，所述大轴承(7)的外部固定套接有圆筒(8)，所述圆筒(8)的内壁转动连接扇叶(9)，所述圆筒(8)的表面开设有齿槽(10)，所述齿槽(10)啮合有齿轮(11)，所述炉体(1)内壁的一侧面固定连接有连接块(12)，所述连接块(12)的另一侧固定连接有三相异步电机(13)，所述齿轮(11)固定套接在三相异步电机(13)输出轴的表面，所述圆筒(8)的内壁开设有通孔(14)，所述圆筒(8)的内壁活动连接有活塞(15)，所述活塞(15)顶部开设穿孔的内壁与防水轴承(16)的外壁固定连接，所述防水轴承(16)的内壁与进气管(17)的表面固定连接，所述进气管(17)的表面与连接管(2)的内壁活动连接；所述炉体(1)顶部开设小孔的内壁与圆杆(18)的表面活动连接，所述圆杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：张靖，田晓军，姚兴平，李素琴，张何，严磊，
申请(专利权)人：江苏新潮光伏能源发展有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32