压敏传感器制造技术

本发明专利技术提供一种提高按压力的检测精度的压敏传感器。在压敏传感器(3)中，压敏层(17)与第一电极图案(21A)和第二电极图案(21B)隔着空间对向。第一电极图案(21A)具有：多个第一电极(31)；将多个第一电极(31)彼此连结的第一连结部(33)；和从第一连结部(33)的第一端部(37)延伸的第一布线部(35)。第二电极图案(21B)具有：与第一电极(31)交替地配置的第二电极(41)；将多个第二电极(41)彼此连结的第二连结部(43)；和从第二连结部(43)的第二端部(49)延伸的第二布线部(45)。第二布线部(45)以如下方式延伸：在邻接的第一电极(31)以及第二电极(41)经由压敏层(17)导通的情况下，第一布线部(35)的输出端与第二布线部(45)的输出端之间的导通路径的电阻在第一电极(31)和第二电极(41)的任意组合中实质上相等。

Pressure sensitive transducer

The invention provides a pressure sensor for improving the detection accuracy of pressing force. In the pressure sensor (3), the pressure sensitive layer (17) is spatially opposite to the first electrode pattern (21A) and the second electrode pattern (21B). The first electrode pattern (21A) has: a plurality of first electrodes (31); a first connecting portion (33) connecting multiple first electrodes (31) to each other; and a first wiring portion (35) extending from the first end (37) of the first connecting portion (33). The second electrode pattern (21B) has: a second electrode (41) alternately configured with the first electrode (31); a second connecting portion (43) connecting multiple second electrodes (41) to each other; and a second wiring portion (45) extending from the second end (49) of the second connecting portion (43). The second wiring section (45) extends in the following manner: when the adjacent first electrode (31) and the second electrode (41) are connected through a pressure sensitive layer (17), the resistance of the conduction path between the output end of the first wiring section (35) and the output end of the second wiring section (45) is substantially equal in any combination of the first electrode (31) and the second electrode (41). \u3002

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压敏传感器
本专利技术涉及一种压敏传感器，特别是涉及一种压敏层与一对电极图案隔着空间对向配置的压敏传感器。
技术介绍
以往，作为具有检测按压力的按压检测功能的器件，已知有压敏传感器(例如参照专利文献1)。专利文献1所记载的压力传感器1具有压敏用薄膜3和电极41、42，两者隔着空间对向。图11所示的电极41、42呈梳齿形状。当施加按压力时，电极41、42的一对梳齿彼此经由压敏用薄膜3连接。由此，压力检测部基于电极41、42以及接触位置的压敏用薄膜3的电阻值而检测按压力。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2012-247372号公报上述压力传感器1的导通路径(电极的输出端彼此之间)的压敏电阻是第一电极布线的电阻、第一电极与压敏用薄膜的接触电阻、压敏用薄膜的电阻、第二电极与压敏用薄膜的接触电阻以及第二电极布线的电阻之和。上述接触电阻根据按压力的大小而发生变化。由此，测定按压力。另外，在按压位置不同的情况下，存在无论按压力的大小如何，电极布线的导通路径的长度都大不相同的情况。因此，即使是相同的按压力，因按压位置而导致整体的导通路径的电阻不同。但是，在一般的膜片开关替代用的压敏传感器的情况下，由于上述接触电阻与电极布线的导通路径的电阻相比足够大，因此即使忽略电极布线的导通路径的电阻的变动，也问题不大。另一方面，在大型化的压敏传感器中，由于电极布线的导通路径的电阻的比例变大，因此有可能因该不同而使相对于按压力的电阻检测值大不相同。
技术实现思路
本专利技术的课题在于，在压敏传感器中消除按压力的面内的灵敏度偏差。以下，作为解决课题的手段，对多个方式进行说明。这些方式可以根据需要进行任意组合。本专利技术的一观点所涉及的压敏传感器具备第一绝缘基材、第二绝缘基材、压敏导电体、第一电极图案、第二电极图案、第一布线部和第二布线部。第二绝缘基材与第一绝缘基材之间隔着空间配置。压敏导电体形成于第一绝缘基材的第二绝缘基材侧的整面。第一电极图案形成于第二绝缘基材的第一绝缘基材侧的面，并且具有：多个第一电极；以将多个第一电极的一端彼此连结的方式延伸并具有第一端部的第一连结部；和从第一连结部的第一端部延伸的第一布线部。第二电极图案形成于第二绝缘基材的第一绝缘基材侧的面，并且具有：与第一电极交替地配置的多个第二电极；以将多个第二电极的一端彼此连结的方式延伸且具有相对于第一端部位于对角的第二端部的第二连结部；和从第二连结部的第二端部延伸的第二布线部。第二布线部以如下方式延伸：在邻接的第一电极以及第二电极经由压敏导电体导通的情况下，第一布线部的输出端与第二布线部的输出端之间的导通路径的电阻在第一电极和第二电极的任意组合中实质上相等。另外，“从端部延伸”的含义是指从端的规定长度部分的任意部分延伸(以下，相同)。在该传感器中，第一布线部从第一连结部的第一端部延伸，第二布线部从第二连结部的第二端部延伸。因此，在邻接的第一电极以及第二电极经由压敏导电体导通的情况下，将第一电极布线的电阻和第二电极布线的电阻合计的电阻，在第一电极和第二电极的任意组合中实质上相等。若是以往，则由于第二布线部从第二电极图案的第二连结部的第一端部延伸，因此在按压力以第二端部的附近的第一电极与第二电极导通的方式作用的情况下(第一情况)，第一连结部的导通路径和第二连结部的导通路径均较长。与此相对，在按压力以第一端部的附近的第一电极与第二电极导通的方式作用的情况下(第二情况)，第一连结部的导通路径和第二连结部的导通路径均较短。这样，由于连接部的导通路径之和在第一情况和第二情况下不同，因此导通路径整体的电阻根据第一电极和第二电极的组合而大不相同。与此相对，在本专利技术中，在第一情况下，第一连结部的导通路径不变仍是较长，第二连结部的导通路径比第一情况短，但由于在其上施加第二布线部的电阻，因此导通路径整体的电阻与以往相比稍微变高。进而，在第二情况下，第一连结部的导通路径不变仍是较短，但第二连结部的导通路径变长，由于在其上施加第二布线部的电阻，因此，导通路径整体的电阻与以往相比大幅度变高。其结果，导通路径整体的电阻在第一电极和第二电极的任意组合的情况下，实质上相等。第一布线部的输出端与所述第二布线部的输出端之间的导通路径的电阻的偏差，也可以是施加最大负荷的情况下的压敏电阻的10％以下。第二布线部也可以通过第二连结部的附近而延伸。第二布线部也可以通过第一连结部的附近而延伸。本专利技术的其他观点所涉及的压敏传感器具备：第一绝缘基材、第二绝缘基材、压敏导电体、第一电极图案、第二电极图案、第一布线部、第二布线部、第三电极图案、第四电极图案、第三布线部和第四布线部。第二绝缘基材与第一绝缘基材之间隔着空间配置。压敏导电体形成于第一绝缘基材的第二绝缘基材侧的整面。第一电极图案形成于第二绝缘基材的第一绝缘基材侧的面，并且具有：多个第一电极；以将多个第一电极的一端彼此连结的方式延伸并具有第一端部的第一连结部；和从第一连结部的第一端部延伸的第一布线部。第二电极图案形成于第二绝缘基材的第一绝缘基材侧的面，并且具有：与第一电极交替地配置的多个第二电极；以将多个第二电极的一端彼此连结的方式延伸且具有相对于第一端部位于对角的第二端部的第二连结部；和从第二连结部的第二端部延伸的第二布线部。第二布线部以如下方式延伸：在邻接的第一电极以及第二电极经由压敏导电体导通的情况下，第一布线部的输出端与第二布线部的输出端之间的导通路径的电阻在第一电极和第二电极的任意组合中实质上相等。第三电极图案形成于第二绝缘基材的第一绝缘基材侧的面，并且具有：多个第三电极；以将多个第三电极的一端彼此连结的方式延伸的第三连结部；和从第三连结部的第三端部延伸的第三布线部。第四电极图案形成于第二绝缘基材的第一绝缘基材侧的面，并且具有：与第三电极交替地配置的多个第四电极；以将多个第四电极的一端彼此连结的方式延伸且具有相对于第三端部位于对角的第四端部的第四连结部；和从第四连结部的第四端部延伸的第四布线部。第四布线部以如下方式延伸：在邻接的第三电极以及第四电极经由压敏导电体导通的情况下，第三布线部的输出端与第四布线部的输出端之间的导通路径的电阻在第三电极和第四电极的任意组合中实质上相等。在该传感器中，在平面的不同位置配置有多个传感器。因此，能够同时检测不同区域的按压力。第一布线部的输出端与第二布线部的输出端之间的导通路径的电阻的偏差也可以是施加最大负荷的情况下的压敏电阻的10％以下，第三端部的输出端与第四端部的输出端之间的导通路径的电阻的偏差也可以是施加最大负荷的情况下的压敏电阻的10％以下。第一布线部和第三布线部也可以共用，或者第二布线部和第四布线部也可以共用。在这种情况下，减少了布线部的数量以及面积。特别是，能够减少为了控制而需要的IC侧的控制信号个数。专利技术效果。在本专利技术所涉及的压敏传感器中，第一布线部的输出端与第二布线部的输出端之间的导通路径的电阻在第一电极和第二电极的任意组合的情况下，也实质上相等。附图说明图1是表示本专利技术所涉及的压敏传感器的结构的示意图。图2是压敏传感器的侧视图。图3是压敏传感器的俯视图。图4是表示图3的II-II截面图。图5是表示电阻测定的原理的示意图。图6是表示电阻Rtotal相对于负荷的变化的曲线图(压敏特性)。图7是表示第一例本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压敏传感器，其特征在于，具备：第一绝缘基材；第二绝缘基材，所述第二绝缘基材以与所述第一绝缘基材之间隔着空间的方式配置；压敏导电体，所述压敏导电体形成于所述第一绝缘基材的所述第二绝缘基材侧的整面；第一电极图案，所述第一电极图案形成于所述第二绝缘基材的所述第一绝缘基材侧的面，并且具有：多个第一电极；第一连结部，所述第一连结部以将所述多个第一电极的一端彼此连结的方式延伸并具有第一端部；和第一布线部，所述第一布线部从所述第一连结部的所述第一端部延伸；以及第二电极图案，所述第二电极图案形成于所述第二绝缘基材的所述第一绝缘基材侧的面，并且具有：多个第二电极，其与所述第一电极交替配置；第二连结部，所述第二连结部以将所述多个第二电极的一端彼此连结的方式延伸且具有相对于所述第一端部位于对角的第二端部；和第二布线部，所述第二布线部从所述第二连结部的所述第二端部延伸，其中，所述第二布线部以如下方式延伸：在邻接的第一电极以及第二电极经由所述压敏导电体导通的情况下，所述第一布线部的输出端与所述第二布线部的输出端之间的导通路径的电阻在所述第一电极和所述第二电极的任意组合中实质上相等。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.03.22 JP 2016-0568591.一种压敏传感器，其特征在于，具备：第一绝缘基材；第二绝缘基材，所述第二绝缘基材以与所述第一绝缘基材之间隔着空间的方式配置；压敏导电体，所述压敏导电体形成于所述第一绝缘基材的所述第二绝缘基材侧的整面；第一电极图案，所述第一电极图案形成于所述第二绝缘基材的所述第一绝缘基材侧的面，并且具有：多个第一电极；第一连结部，所述第一连结部以将所述多个第一电极的一端彼此连结的方式延伸并具有第一端部；和第一布线部，所述第一布线部从所述第一连结部的所述第一端部延伸；以及第二电极图案，所述第二电极图案形成于所述第二绝缘基材的所述第一绝缘基材侧的面，并且具有：多个第二电极，其与所述第一电极交替配置；第二连结部，所述第二连结部以将所述多个第二电极的一端彼此连结的方式延伸且具有相对于所述第一端部位于对角的第二端部；和第二布线部，所述第二布线部从所述第二连结部的所述第二端部延伸，其中，所述第二布线部以如下方式延伸：在邻接的第一电极以及第二电极经由所述压敏导电体导通的情况下，所述第一布线部的输出端与所述第二布线部的输出端之间的导通路径的电阻在所述第一电极和所述第二电极的任意组合中实质上相等。2.根据权利要求1所述的压敏传感器，其特征在于，所述第一布线部的输出端与所述第二布线部的输出端之间的导通路径的电阻的偏差为施加最大负荷的情况下的压敏电阻的10％以下。3.根据权利要求1或2所述的压敏传感器，其特征在于，所述第二布线部以通过所述第二连结部的附近的方式延伸。4.根据权利要求1或2所述的压敏传感器，其特征在于，所述第二布线部以通过所述第一连结部的附近的方式延伸。5.一种压敏传感器，其特征在于，具备：第一绝缘基材；第二绝缘基材，所述第二绝缘基材以与所述第一绝缘基材之间隔着空间的方式配置；压敏导电体，所述压敏导电体形成于所述第一绝缘基材的所述第二绝缘基材侧的面整体；第一电极图案，所述第一电极图案形成于所述第二绝缘基材的所述第一绝缘基材侧的面，并且具有：多个第一电极；第一连结部，所述第一连结部以将所述多个第一电极的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：森田淳平，井前直人，清水贤一，
申请(专利权)人：日写株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP