本实用新型专利技术公开了一种晶圆的输送装置,包括:滑轨,所述滑轨内限定出沿其长度方向延伸的滑槽;滑块,所述滑块可移动地设在所述滑槽内,所述晶圆与所述滑块相连;防护罩,所述防护罩设在所述滑轨上且覆盖所述滑槽,所述防护罩位于所述滑块上方;支撑件,所述支撑件设在所述滑块上且与所述滑块在所述滑槽内共同移动,所述支撑件支撑在所述防护罩下方以避免所述防护罩与所述滑块接触。根据本实用新型专利技术实施例的晶圆的输送装置具有干净整洁、使用寿命长、精度高等优点。
【技术实现步骤摘要】
晶圆的输送装置
本技术涉及传动
,具体地,涉及一种晶圆的输送装置。
技术介绍
相关技术中的直线模组晶圆的输送装置,通常设置有防护罩,以防止杂物进入模组内对模组传动造成影响,同时可以防止模组内的油污等溢出影响外部环境。当直线模组过长时,防护罩刚度不够产生弯曲,和滑块产生摩擦磨损,产生的磨屑污染环境,并且磨屑掉落到模组内会降低模组寿命和精度。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本技术提出一种晶圆的输送装置,所述晶圆的输送装置可以避免污染外部环境,并且使用使用寿命长、精度高。根据本技术实施例的晶圆的输送装置包括:滑轨,所述滑轨内限定出沿其长度方向延伸的滑槽;滑块,所述滑块可移动地设在所述滑槽内,所述晶圆与所述滑块相连;防护罩,所述防护罩设在所述滑轨上且覆盖所述滑槽,所述防护罩位于所述滑块上方;支撑件,所述支撑件设在所述滑块上且与所述滑块在所述滑槽内共同移动,所述支撑件支撑在所述防护罩下方以避免所述防护罩与所述滑块接触。根据本技术实施例的晶圆的输送装置具有干净整洁、使用寿命长、精度高等优点。另外,根据本技术上述实施例的晶圆的输送装置还可以具有如下附加的技术特征:根据本技术的一个实施例,所述支撑件包括滚轮,所述滚轮可滚动地设在所述滑块上。可选地,所述支撑件还包括支座,所述支座与所述滑块相连,所述滚轮在所述滑槽内可滚动。根据本技术的一个实施例,所述支座包括多个,多个所述支座相对于所述滑块的滑动方向对称设在所述滑块的两侧。根据本技术的另一个实施例,所述支座包括多个,多个所述支座沿所述滑块的滑动方向设在所述滑块的两端。根据本技术的一个可选的示例,所述滑块为矩形,所述支座包括四个,四个所述支座分别设在所述滑块的四个顶角处且沿所述滑块的滑动方向延伸。可选地,所述支座上设有连接轴,所述滚轮可转动地设在所述连接轴上。进一步地,所述连接轴邻近所述支座的自由端设置。根据本技术的一个实施例,所述滑轨包括:底板;两个长侧板,所述长侧板沿所述底板的长度方向延伸,两个所述长侧板分别与所述底板的两个相对的长边相连后向上延伸;两个宽侧板,所述宽侧板沿所述底板的宽度方向延伸,两个所述宽侧板分别与所述底板的两个相对的宽边相连后向上延伸,所述底板、两个所述长侧板和两个所述宽侧板共同限定出所述滑槽。根据本技术的一个实施例,所述滑块的宽度尺寸大于所述防护罩的宽度尺寸,所述滑块的宽度方向上超过所述防护罩的部分向上延伸有连接部,所述晶圆的输送装置还包括托板,所述托板与所述连接部相连,所述晶圆与所述托板相连。本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本技术的实践了解到。附图说明本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:图1是根据本技术实施例的晶圆的输送装置的立体图;图2是根据本技术实施例的晶圆的输送装置的正视图;图3是根据本技术实施例的晶圆的输送装置的支撑件的结构示意图。附图标记:晶圆的输送装置100;滑轨10;滑槽11;长侧板12;宽侧板13;限位板14;滑块20;连接部21;托板22;防护罩30;支撑件40;滚轮41;支座42;连接轴421。具体实施方式下面详细描述本技术的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本技术,而不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。在本技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。下面参考图1-图3描述根据本技术实施例的晶圆的输送装置100。晶圆的输送装置100可以用来输送晶圆。如图1-图2所示,根据本技术实施例的晶圆的输送装置100包括:滑轨10、滑块20、防护罩30和支撑件40。其中,滑轨10内限定出沿其长度方向延伸的滑槽11,滑块20可移动地设在滑槽11内,晶圆(图中未示出)与滑块20相连,防护罩30设在滑轨10上且覆盖滑槽11,防护罩30位于滑块20上方,支撑件40设在滑块20上且与滑块20在滑槽11内共同移动,支撑件40支撑在防护罩30下方以避免防护罩30与滑块20接触。如图1和图2所示,滑轨10沿直线方向延伸,滑槽11由滑轨10内部限定出,并且滑槽11沿直线方向延伸,滑块20可以沿着滑槽11滑动,晶圆与滑块20可以是直接相连也可以是间接相连,晶圆可随着滑块20进行移动,从而实现对晶圆的直线输送。防护罩30可以是一块沿滑槽11长度方向延伸的面板,防护罩30盖设在滑槽11的上方,并且防护罩30位于滑块20沿滑槽11滑动部分的上方,防护罩30用于防止杂物进入防护罩30下方的滑槽11内,从而避免杂物对滑块20的滑动造成影响,同时还可以防止滑槽11内的油污等溢出晶圆的输送装置100污染外部环境,支撑件40设在滑块20上并且位于防护罩30和滑槽11之间,并且防护罩30支撑在支撑件40上,支撑件40的高度大于滑块20的高度,从而可以避免防护罩30与滑块20接触,进而降低滑块20滑动的摩擦力。同时,在滑块20沿滑槽11滑动的过程中,支撑件40也随着滑块20的滑动一同运动。由此无论滑块20滑动到何位置时,支撑件40均可以将滑块20附近的防护罩30进行支撑,从而有效防止防护罩30与滑块20接触。根据本技术实施例的晶圆的输送装置100,通过设置防护罩30,可以使运输装置100的使用环境清洁,而且通过在滑块20上设置支撑件40,可以避免防护罩30与滑块20接触,从而减小滑块20的摩擦力,提高了晶圆的输送装置100的使用寿命,降低了因滑块20和防护罩30之间因摩擦造成的磨损,提高了运输速度和运输的稳定性,运输的精度高。因此,根据本技术实施例的晶圆的输送装置100具有干净整洁、使用寿命长、精度高等优点。下面参考图1-图3详细描述根据本技术具体实施例的晶圆的输送装置100。根据本技术的一个实施例,如图2和图3所示,支撑件40包括滚轮41,滚轮41可滚动地设在滑块20上。具体地,滚轮41可以滚动地设在滑槽11上,并且滚轮41的上方与防护罩30的下表面接触,也就是说防护罩30支撑在滚轮41的上方,滚轮41可以相对防护罩30滚动。由此,支撑件40与滑槽11之间的摩擦为滚动摩擦本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种晶圆的输送装置,其特征在于,包括:滑轨,所述滑轨内限定出沿其长度方向延伸的滑槽;滑块,所述滑块可移动地设在所述滑槽内,所述晶圆与所述滑块相连;防护罩,所述防护罩设在所述滑轨上且覆盖所述滑槽,所述防护罩位于所述滑块上方;支撑件,所述支撑件设在所述滑块上且与所述滑块在所述滑槽内共同移动,所述支撑件支撑在所述防护罩下方以避免所述防护罩与所述滑块接触。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆的输送装置,其特征在于,包括:滑轨,所述滑轨内限定出沿其长度方向延伸的滑槽;滑块,所述滑块可移动地设在所述滑槽内,所述晶圆与所述滑块相连;防护罩,所述防护罩设在所述滑轨上且覆盖所述滑槽,所述防护罩位于所述滑块上方;支撑件,所述支撑件设在所述滑块上且与所述滑块在所述滑槽内共同移动,所述支撑件支撑在所述防护罩下方以避免所述防护罩与所述滑块接触。2.根据权利要求1所述的晶圆的输送装置,其特征在于,所述支撑件包括滚轮,所述滚轮在所述滑槽内可滚动。3.根据权利要求2所述的晶圆的输送装置,其特征在于,所述支撑件还包括支座,所述支座与所述滑块相连,所述滚轮设在所述支座上。4.根据权利要求3所述的晶圆的输送装置,其特征在于,所述支座包括多个,多个所述支座相对于所述滑块的滑动方向对称设在所述滑块的两侧。5.根据权利要求3所述的晶圆的输送装置,其特征在于,所述支座包括多个,多个所述支座沿所述滑块的滑动方向设在所述滑块的两端。6.根据权利要求3所述的晶圆的输送装置,其特征在于,所述滑...
【专利技术属性】
技术研发人员:王剑,董兵超,许振杰,姚宇,尹士龙,崔凯,王同庆,路新春,
申请(专利权)人:清华大学,天津华海清科机电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:北京,11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。