薄片产品键合后解键合用的工作台及装夹方法技术

本发明专利技术公开了一种薄片产品键合后解键合用的工作台，它包括载台，其特征在于：所述载台上设有基准面和至少一个吸盘组，当产品置于载台上时所述吸盘组先于基准面碰触产品且与产品的背面吸合，所述吸盘组带动吸合于吸盘组上的产品朝向基准面所在位置移动至所述产品的背面与基准面抵靠。通过吸盘可以很好的贴合产品的表面，即使产品的表面存在翘曲或者表面精度差也可以很好的完成吸合，而通过基准面可以使得产品很好的固定及定位于载台上。本发明专利技术提供一种薄片产品键合后解键合用的工作台，其可以对平面度差的产品进行装夹，因此在解键合过程中通用性强。

【技术实现步骤摘要】
薄片产品键合后解键合用的工作台及装夹方法
本专利技术涉及集成电路用相关配件制备的
，具体地是一种薄片产品键合后解键合用的工作台及装夹方法。
技术介绍
薄片状的产品在进行表面加工之前往往需要先将产品键合于一载片上，例如减薄、蚀刻等，由此增强产品的强度，减少或者避免产品碎裂等缺陷，提高产品的合格率。上述的这一过程在半导体加工行业内运用较多，故此沿用其行业内的定义称之为产品的键合过程。当然，在键合后的产品完成表面加工处理后则需要使得产品与载片脱离，此过程称之为解键合过程。而这一解键合的过程简单来说是通过载台和机械手分别固定产品和载片，再通过机械手与载台的相对远离带动产品和载片解键合。并且由于产品的厚度往往较小，因此其载片也较多为片状结构，故其载台与设于载台上的产品或者载片之间的固定方式无法采用传统的夹持设备，行业内较多的是采用带孔的工作平台，即通过工作平台上吸气孔的吸力使得放置于工作平台上的片状产品吸合于工作平台上。但是上述现有技术中的载台由于其自身的结构特点，因此存在一定的局限性。换句话说，当上述的产品或者载片的平面度较差时，例如塑封后的产品，则会导致这一平面度较差的产品或者载片与载台的工作台面之间无法完全贴合，由此会存在漏气现象，这就会使得吸气孔作用于产品上的吸力减小，将会导致产品无法正常的吸合于载台上，或者由于吸合力较小使得产品与载片之间无法正常的解键合。另外，值得一提的是当载片与现有技术的这一载台贴合吸附时还可以通过改进载片的表面精度来提高吸附效果或者选用较厚的载块通过传统的夹头来完成装夹，虽然上述的过程均会额外的增加加工成本以及降低生产效率，但是在不考虑生产成本的小批量加工的情况下仍然可以达到产品与载片之间解键合的目的。但是当需要使得产品与载台进行贴合吸附时现有技术中尚未有更好的解决方案。因此，现有技术的这一载台在实际生产过程中只能针对特定的产品和载片，其通用性较差。
技术实现思路
本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的其中一个技术问题：提供一种薄片产品键合后解键合用的工作台，其可以对平面度差的产品进行装夹，因此在解键合过程中通用性强。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种薄片产品键合后解键合用的工作台，它包括载台，其特征在于：所述载台上设有基准面和至少一个吸盘组，当产品置于载台上时所述吸盘组先于基准面碰触产品且与产品的背面吸合，所述吸盘组带动吸合于吸盘组上的产品朝向基准面所在位置移动至所述产品的背面与基准面抵靠。通过吸盘可以很好的贴合产品的表面，即使产品的表面存在翘曲或者表面精度差也可以很好的完成吸合，而通过基准面可以使得产品很好的固定及定位于载台上。因此可以完成多种产品的解键合加工，减少或避免了产品表面尺寸和精度对于解键合过程中装夹强度的影响，从而使得上述的工作台的通用性好。根据本专利技术的一个示例，所述吸盘组包括由弹性材质制成的若干真空吸嘴，所述真空吸嘴沿自身长度方向的一端安装于载台上，所述真空吸嘴的另一端设有开口，用于与产品的背面贴合。通过真空吸嘴不仅可以很好的吸附产品，而且真空吸嘴在吸附的过程中会沿自身长度方向收缩，因此可以带动产品很好的贴合于基准面上，即同步完成了产品的吸合以及定位过程。根据本专利技术的一个示例，所述载台上设有一工作台面，所述吸盘组和基准面均位于载台的工作台面上。载台上设有独立的工作台面以便于设置吸盘组和基准面。根据本专利技术的一个示例，所述载台的工作台面上位于各真空吸嘴所对应的位置均设有容置槽，各真空吸嘴分别安装于各自对应的容置槽内，且各真空吸嘴的开口均露置于容置槽外。根据本专利技术的一个示例，所述载台内设有升降机构，各真空吸嘴远离开口的端部安装于升降机构的活动端上，所述升降机构的活动端带动全部的真空吸嘴沿容置槽的槽深方向移动，以使得所述真空吸嘴的开口露置于容置槽外或收纳至容置槽内。通过额外设置的升降机构可以实现真空吸嘴的移动，因此可以带动产品很好的贴合在基准面上，在此过程中不仅可以实现贴合力度和移动距离的调节，从而避免了与基准面冲击力过大而导致产品破损的情况，也避免了移动距离不足而导致产品定位不牢固的问题。另外，在载台停机闲置的过程中，通过升降机构可以使得全部的真空吸嘴收纳于容置槽内，起到防尘的效果，避免了人工去拆卸真空吸嘴带来的不便。根据本专利技术的一个示例，所述吸盘组为多个，全部的吸盘沿基准面的周向间隔设置，所述基准面上设有若干间隔设置的小孔，所述载台内设有与各小孔连通的吸气管，所述小孔内的空气经吸气管抽离，以使得靠近基准面或贴合于基准面上的产品与基准面之间形成相互吸合的作用力。当产品背面的平面度较差时可以采用吸盘组吸合配合载台上小孔的吸合达到产品定位的效果，而当产品背面的平面度较好时可以不采用吸盘组，直接通过载台上的小孔进行吸合，操作简单方便，因此上述的结构使得载台可以完成对于多种产品多样的定位方式选择，其通用性较强。根据本专利技术的一个示例，全部的真空吸嘴均匀分布于载台上，且所述基准面延伸至任意相邻的两个真空吸嘴之间。本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的另一技术问题：提供一种片状产品的装夹方法，其基于上述的工作台的结构可以对不同表面尺寸和精度的片状产品进行装夹定位，因此装夹过程简单效率高，而且通用性强。为此，本专利技术的另一个目的在于提出一种薄片产品的装夹方法，它包括上述的工作台，其特征在于：包括以下步骤：S1、将待解键合的产品置于载台上，且位于载台上的吸盘组托举产品，以使得所述产品悬置于载台上方；S2、吸盘组与产品的背面吸合；S3、与步骤S2同步或在步骤S2之后所述吸盘组驱使吸合于吸盘组上的产品朝载台所在位置移动，以使得所述产品的背面与载台上的基准面相抵靠。作为优选，所述的步骤S3是指在完成步骤S2之后所述载台内的升降机构驱使吸盘组带动连接于吸盘组上的产品朝载台所在位置移动，以使得所述产品的背面与载台上的基准面相抵靠。进一步地作为优选，所述步骤S3包括以下步骤：S31、所述载台内的升降机构驱使吸盘组带动连接于吸盘组上的产品朝载台所在位置移动；S32、所述载台上的小孔朝产品的背面吹气，以使得接近基准面的产品背面与载台之间形成缓冲层，所述小孔内的气压值大于外部大气压，且所述缓冲层施加于产品上的作用力小于吸盘组对产品的拉力；S33、所述升降机构通过吸盘组拉动产品直至所述产品的背面与基准面贴合；S34、抽离小孔内的空气，以使得所述小孔与产品的背面之间形成相互吸合的吸力，所述小孔内的气压值小于外部大气压。本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。上述技术方案具有如下优点或有益效果：首先，通过全部或者部分外露于基准面上的吸盘组可以很好的吸合产品，且可以带动产品压紧于基准面上，因此通用性强，其次，通过升降机构可以实现吸盘组的轴向移动，不仅可以调节产品压紧于基准面这一过程中的间距和压紧力，而且可以在工作台闲置时使得隐藏吸盘组，达到防尘的效果，最后，通过四个边角设置吸盘组配合中间位置设置的若干小孔，使得产品依据自身表面尺寸和精度的不同选择仅通过小孔吸合还是配合吸盘组进行吸合，因此可以针对不同的产品提供最优的装夹方式，其通用性强。附图说明图1是本专利技术的薄片产品键合后解键合用的工作台的结构示意图。图2是本专利技术的另一结构的示意图本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种薄片产品键合后解键合用的工作台，它包括载台(1)，其特征在于：所述载台(1)上设有基准面(2)和至少一个吸盘组(3)，当产品(4)置于载台(1)上时所述吸盘组(3)先于基准面(2)碰触产品(4)且与产品(4)的背面(4.1)吸合，所述吸盘组(3)带动吸合于吸盘组(3)上的产品(4)朝向基准面(2)所在位置移动至所述产品(4)的背面(4.1)与基准面(2)抵靠。

【技术特征摘要】
1.一种薄片产品键合后解键合用的工作台，它包括载台(1)，其特征在于：所述载台(1)上设有基准面(2)和至少一个吸盘组(3)，当产品(4)置于载台(1)上时所述吸盘组(3)先于基准面(2)碰触产品(4)且与产品(4)的背面(4.1)吸合，所述吸盘组(3)带动吸合于吸盘组(3)上的产品(4)朝向基准面(2)所在位置移动至所述产品(4)的背面(4.1)与基准面(2)抵靠。2.根据权利要求1所述的薄片产品键合后解键合用的工作台，其特征在于：所述吸盘组(3)包括由弹性材质制成的若干真空吸嘴(3.1)，所述真空吸嘴(3.1)沿自身长度方向的一端安装于载台(1)上，所述真空吸嘴(3.1)的另一端设有开口(3.2)，用于与产品(4)的背面(4.1)贴合。3.根据权利要求2所述的薄片产品键合后解键合用的工作台，其特征在于：所述载台(1)上设有一工作台面，所述吸盘组(3)和基准面(2)均位于载台(1)的工作台面上。4.根据权利要求3所述的薄片产品键合后解键合用的工作台，其特征在于：所述载台(1)的工作台面上位于各真空吸嘴(3.1)所对应的位置均设有容置槽(5)，各真空吸嘴(3.1)分别安装于各自对应的容置槽(5)内，且各真空吸嘴(3.1)的开口(3.2)均露置于容置槽(5)外。5.根据权利要求4所述的薄片产品键合后解键合用的工作台，其特征在于：所述载台(1)内设有升降机构，各真空吸嘴(3.1)远离开口(3.2)的端部安装于升降机构的活动端上，所述升降机构的活动端带动全部的真空吸嘴(3.1)沿容置槽(5)的槽深方向移动，以使得所述真空吸嘴(3.1)的开口(3.2)露置于容置槽(5)外或收纳至容置槽(5)内。6.根据权利要求1至5中任意一项所述的薄片产品键合...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐昊，尹明，黄超云，
申请(专利权)人：浙江中纳晶微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33