一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器，包括基座、升降仓、夹头、齿轮仓和齿条，所述基座底部的中间位置处安装有第二吸盘，所述基座的上方设置有主支杆，且主支杆的内部安装有齿条，所述主支杆一端的中间位置处设置有齿轮仓，且齿轮仓内部一侧的中间位置处安装有轴承，所述轴承的内侧安装有延伸至齿轮仓外部的转轴。本实用新型专利技术可以通过旋转旋钮帽，带动齿轮旋转，使齿条升高，齿条升高推动连接块沿着滑轨升高，从而使籽晶升高，更好地接触多晶材料，且升高过程中，由滑块辅助升高和限位，不易出现偏差，该籽晶夹持器可以将籽晶放入夹头内侧，然后旋转固定套管固定好。

【技术实现步骤摘要】
一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器
本技术涉及半导体设备
，具体为一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器。
技术介绍
区熔法拉制硅单晶是用高频加热线圈对多晶硅料进行加热，使其熔融后与下方的籽晶接触，按籽晶晶向结构生长成高纯度硅单晶的方法，籽晶是一种具有特定晶向的硅单晶体，在区熔硅单晶生长过程中，籽晶必须很好地固定，且在拉晶开始阶段需对长出的单晶起到支撑作用，因此必须要有一个可靠的籽晶夹持机构，以保证硅单晶生长过程的顺利进行，而在硅单晶生长的过程中，需要提高下方籽晶的高度，从而更好地和上方的多晶硅料接触，而现有的籽晶夹持器需要操作人员手持来提高籽晶高度，其过程中容易出现偏差，造成硅单晶生长扭曲，现有的籽晶夹持器不能有效固定住各个型号大小的籽晶，需要更换不同的籽晶夹头，不够方便，现有的籽晶夹持器的底座不能固定平稳或者没有底座，有时可能出现晃动，造成硅单晶生长失败。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器，包括基座、升降仓、夹头、齿轮仓和齿条，所述基座底部的中间位置处安装有第二吸盘，所述基座的上方设置有主支杆，且主支杆的内部安装有齿条，所述主支杆一端的中间位置处设置有齿轮仓，且齿轮仓内部一侧的中间位置处安装有轴承，所述轴承的内侧安装有延伸至齿轮仓外部的转轴，所述转轴的侧壁上安装有与齿条相配合的齿轮，所述转轴远离轴承的一端安装有旋钮帽，所述主支杆的上方安装有升降仓，且升降仓内部的两端皆安装有滑轨，所述滑轨的内侧通过滑块安装有连接块，且连接块的底部与齿条的顶部连接，所述连接块上方的中间位置处设置有安装管，且安装管的内侧安装有螺纹杆，所述螺纹杆的上方安装有夹头，且夹头侧壁的底部螺纹安装有固定套管。优选的，所述夹头内侧的上方均匀设置有固定突起。优选的，所述基座底部的外侧均匀安装有第一吸盘。优选的，所述齿轮仓远离主支杆的一端设置有修理门。优选的，所述安装管与螺纹杆之间通过螺纹安装。优选的，所述旋钮帽的侧壁上均匀设置有防滑凸起。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器可以通过旋转旋钮帽，带动齿轮旋转，使齿条升高，齿条升高推动连接块沿着滑轨升高，从而使籽晶升高，更好地接触多晶材料，且升高过程中，由滑块辅助升高和限位，不易出现偏差，该籽晶夹持器可以将籽晶放入夹头内侧，然后旋转固定套管固定好，可以通过固定套管向上旋转移动的高度来调节夹头内侧夹孔的大小，适合多种型号大小的籽晶，且夹头内侧的固定凸起可以更好地固定籽晶，该籽晶夹持器地底座可以通过底部一圈地第一吸盘和底部中间地第二吸盘相互配合，使固定更牢固，不易晃动，避免硅单晶生长失败。附图说明图1为本技术的主视图；图2为本技术的剖视图；图3为本技术的齿轮、齿条结构示意图；图4为本技术的夹头结构示意图；图5为本技术的夹头俯视图。图中：1、基座；2、升降仓；3、安装管；4、固定套管；5、夹头；6、连接块；7、齿轮仓；8、主支杆；9、第一吸盘；10、滑块；11、滑轨；12、齿条；13、齿轮；14、第二吸盘；15、轴承；16、旋钮帽；17、转轴；18、螺纹杆；19、固定凸起。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-5，本技术提供的一种实施例：一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器，包括基座1、升降仓2、夹头5、齿轮仓7和齿条12，基座1底部的中间位置处安装有第二吸盘14，基座1的上方设置有主支杆8，且主支杆8的内部安装有齿条12，主支杆8一端的中间位置处设置有齿轮仓7，且齿轮仓7内部一侧的中间位置处安装有轴承15，轴承15的内侧安装有延伸至齿轮仓7外部的转轴17，转轴17的侧壁上安装有与齿条12相配合的齿轮13，转轴17远离轴承15的一端安装有旋钮帽16，主支杆8的上方安装有升降仓2，且升降仓2内部的两端皆安装有滑轨11，滑轨11的内侧通过滑块10安装有连接块6，且连接块6的底部与齿条12的顶部连接，连接块6上方的中间位置处设置有安装管3，且安装管3的内侧安装有螺纹杆18，螺纹杆18的上方安装有夹头5，且夹头5侧壁的底部螺纹安装有固定套管4在本实施中：夹头5内侧的上方均匀设置有固定突起19，籽晶固定更牢固，基座1底部的外侧均匀安装有第一吸盘9，辅助第二吸盘14，使夹持器放置更稳定，齿轮仓7远离主支杆8的一端设置有修理门，便于修理齿轮13，安装管3与螺纹杆18之间通过螺纹安装，可拆卸，旋钮帽16的侧壁上均匀设置有防滑凸起，用手旋转时不会打滑。工作原理：使用时，将籽晶的一端插入夹头5内侧，然后旋转固定套管4使其向上夹紧夹头5上方，固定籽晶，然后将基座1按压在工作台上，使第一吸盘9和第二吸盘14吸附紧工作台，开始进行硅单晶生长操作的时候，旋转旋钮帽16，旋钮帽16带动转轴17旋转，从而使齿轮13旋转，齿轮13旋转推动齿条12向上升，齿条12推动连接块6通过滑块10沿着滑轨11升高，使籽晶升高接触多晶材料，进行硅单晶生长，生长完毕后，旋转固定套管4向下移动，使夹头5上方松开，将硅单晶成品取出，需要更换夹头5的时候，可以将螺纹杆18从安装管3中旋转拆卸出来，从而拆卸下夹头5，进行更换。对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器，包括基座（1）、升降仓（2）、夹头（5）、齿轮仓（7）和齿条（12），其特征在于：所述基座（1）底部的中间位置处安装有第二吸盘（14），所述基座（1）的上方设置有主支杆（8），且主支杆（8）的内部安装有齿条（12），所述主支杆（8）一端的中间位置处设置有齿轮仓（7），且齿轮仓（7）内部一侧的中间位置处安装有轴承（15），所述轴承（15）的内侧安装有延伸至齿轮仓（7）外部的转轴（17），所述转轴（17）的侧壁上安装有与齿条（12）相配合的齿轮（13），所述转轴（17）远离轴承（15）的一端安装有旋钮帽（16），所述主支杆（8）的上方安装有升降仓（2），且升降仓（2）内部的两端皆安装有滑轨（11），所述滑轨（11）的内侧通过滑块（10）安装有连接块（6），且连接块（6）的底部与齿条（12）的顶部连接，所述连接块（6）上方的中间位置处设置有安装管（3），且安装管（3）的内侧安装有螺纹杆（18），所述螺纹杆（18）的上方安装有夹头（5），且夹头（5）侧壁的底部螺纹安装有固定套管（4）。

【技术特征摘要】
1.一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器，包括基座（1）、升降仓（2）、夹头（5）、齿轮仓（7）和齿条（12），其特征在于：所述基座（1）底部的中间位置处安装有第二吸盘（14），所述基座（1）的上方设置有主支杆（8），且主支杆（8）的内部安装有齿条（12），所述主支杆（8）一端的中间位置处设置有齿轮仓（7），且齿轮仓（7）内部一侧的中间位置处安装有轴承（15），所述轴承（15）的内侧安装有延伸至齿轮仓（7）外部的转轴（17），所述转轴（17）的侧壁上安装有与齿条（12）相配合的齿轮（13），所述转轴（17）远离轴承（15）的一端安装有旋钮帽（16），所述主支杆（8）的上方安装有升降仓（2），且升降仓（2）内部的两端皆安装有滑轨（11），所述滑轨（11）的内侧通过滑块（10）安装有连接块（6），且连接块（6）的底部与齿条（12）的顶部连接，所述连接块（6）上方的中间位...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘娟，
申请(专利权)人：林蓉瑶，
类型：新型
国别省市：浙江,33