一种用于空心叶片气膜孔激光加工的穿透监测系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种用于空心叶片气膜孔激光加工的穿透监测系统，其包括分光件和穿透监测机构，穿透监测机构包括中继组件、成像器件和调焦组件；分光件位于激光的加工光路中，用于透射加工激光以及反射加工激光的反射光形成监测光路，加工光路垂直于监测光路；中继组件位于监测光路中，用于调制监测光路的监测光，得到需要的放大率和线视场；成像器件接收经中继组件调制的监测光；调焦组件用于根据不同加工距离调节成像器件与中继组件之间的相对间距，以使成像器件在最佳像面位置获取监测光图像。

【技术实现步骤摘要】
一种用于空心叶片气膜孔激光加工的穿透监测系统
本技术涉及激光加工
，特别涉及一种用于空心叶片气膜孔激光加工的穿透监测系统。
技术介绍
随着燃气轮机性能的改善，涡轮入口温度不断提高，必须采用有效的冷却方式才能保证涡轮叶片的正常工作。气膜冷却是一种行之有效的方法，具体为在高温部位开槽缝或微孔，将冷却介质射入高温燃气。由于激光具有方向性好、亮度高、单色性好以及高能量密度等特点，激光加工技术已在空心叶片气膜孔加工领域得到广泛应用。激光加工是激光束经光学系统聚焦于工件，基于其较高的能量密度实现工件加工。在空心叶片气膜孔激光加工的过程中，总是出现气膜孔未穿或对壁损伤等加工问题。由于激光加工是光与物质的复杂作用，穿透信号很容易淹没在噪声中，故现有激光加工技术中尚未提供一种能够对穿透状态判读的监测装置。有鉴于此，确有必要提供一种能够解决上述技术问题的，用于对穿透状态判读的监测系统。
技术实现思路
本技术主要解决的技术问题是提供一种用于空心叶片气膜孔激光加工的穿透监测系统，以通过获取监测光图像判断气膜孔的监测状态。为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：提供一种用于空心叶片气膜孔激光加工的穿透监测系统，其包括分光件和穿透监测机构，穿透监测机构包括中继组件、成像器件和调焦组件；分光件位于激光的加工光路中，用于透射加工激光以及反射加工激光的反射光形成监测光路，加工光路垂直于监测光路；中继组件位于监测光路中，用于调制监测光路的监测光，得到需要的放大率和线视场；成像器件接收经中继组件调制的监测光；调焦组件用于根据不同加工距离调节成像器件与中继组件之间的相对间距，以使成像器件在最佳像面位置获取监测光图像。其中，穿透监测系统进一步包括控制单元，控制单元与激光器、成像器件、调焦组件电连接，用于控制调焦组件驱动成像器件沿监测光路的方向移动、实时计算成像器件在每一移动位置的图像清晰度值，以及将各个移动位置的图像清晰度值进行比较找出最大值，图像清晰度的最大值所在的移动位置即成像器件的最佳像面位置；控制单元还配置成在成像器件处于最佳像面位置时对获取的监测光图像进行穿透判断，智能判断气膜孔的穿透状态。其中，控制单元还用于对气膜孔的孔型和孔径进行在线测量，当测量值超出设定阈值时，实时结束加工过程。其中，中继组件包括镜筒和设置于镜筒中的透镜组件；调焦组件包括电机、丝杠螺母机构和转接座，电机的输出端连接丝杠螺母机构的滚珠丝杠，转接座连接丝杠螺母机构的丝杠螺母和成像器件，电机带动丝杠螺母机构的滚珠丝杠转动，滚珠丝杠的旋转运动通过丝杠螺母和转接座转换为成像器件的直线运动。其中，穿透监测机构进一步包括滤光片，滤光片固定安装在成像器件接收监测光路的前端。其中，穿透监测机构进一步包括遮光筒，遮光筒的一端与转接座连接，另一端滑动接合于镜筒的外部。其中，调焦组件还包括直线导轨，成像器件滑动设置于直线导轨上。其中，穿透监测机构进一步包括第一光电开关和第二光电开关，第一光电开关和第二光电开关分别设置于成像器件的运动行程两端。其中，穿透监测机构进一步包括限位块，限位块用于限制成像器件的运动行程。其中，电机为步进电机。本技术的有益效果是：与现有技术相比，本技术用于空心叶片气膜孔激光加工的穿透监测系统利用分光件形成监测光路，通过中继组件对监测光进行调制，得到需要的放大率和线视场，调焦组件调节成像器件与中继组件之间的相对间距，以使成像器件在最佳像面位置获取监测光图像；本技术穿透监测系统用于对空心叶片气膜孔激光加工进行实时监测，用于防止气膜孔未穿、孔质量差和对壁损伤等加工问题，进一步地，具有调焦功能能够满足不同加工面的穿透监测。附图说明图1是本技术用于空心叶片气膜孔激光加工的穿透监测系统光学系统结构示意图；图2是图1所示穿透监测系统的穿透监测机构的立体图；图3是图2所示穿透监测机构的剖视图；图4是在激光加工过程中应用图1所示穿透监测系统的流程图；图5是应用图1所示穿透监测系统加工气膜孔时穿透前制孔状态图；图6是应用图1所示穿透监测系统加工气膜孔时穿透后制孔状态图。具体实施方式本技术提供一种用于空心叶片气膜孔激光加工的穿透监测系统。穿透监测系统包括分光件和穿透监测机构。穿透监测机构包括中继组件、成像器件和调焦组件。分光件位于激光的加工光路中，用于透射加工激光以及反射加工激光的反射光形成监测光路，加工光路垂直于监测光路；中继组件位于监测光路中，用于调制监测光路的监测光，得到需要的放大率和线视场；成像器件接收经中继组件调制的监测光；调焦组件用于根据不同加工距离调节成像器件与中继组件之间的相对间距，以使成像器件在最佳像面位置获取监测光图像。具体地，图1至图3所示为本技术用于空心叶片气膜孔激光加工的穿透监测系统优选实施例，将对上述技术方案做进一步地详细说明。为了防止出现气膜孔未穿或对壁损伤等加工问题，本技术在激光加工系统中设置了同轴监测光路。如图1所示，分光件2和聚焦镜组1位于激光的加工光路中，分光件2相对加工光路呈45°角倾斜设置。在激光对加工件进行制孔加工的过程中，加工激光经过分光件2透射后，聚焦镜组1对加工激光进行汇聚调制形成加工光束。在激光加工的过程中，少量激光经原路径反射，反射激光经聚焦镜组1对其进行准直后达到分光件2，经由分光件2形成垂直于加工光路的监测光路。监测光路经中继组件3、滤光片4后进入成像器件5。换句话说，中继组件3、滤光片4和成像器件5依次设置于监测光路上。由于诸如气膜孔的微孔的直径很小，通常只有0.05-2.0mm，若光学系统放大率和分辨率较低，会导致像素较低和灰度判别的区域选取误差大，最终导致穿透信息量不足。通过设计相应的中继组件，可以提高放大率和线视场以得到足够的信息量，因此，反射光束通过中继组件3使微孔表面被放大，在成像器件5上形成清晰放大的像。滤光片4用于过滤加工过程的强光。成像器件5用于对穿过中继组件3的监测光进行成像，在本实施方式中采用CCD，但在其他实施方式中，可采用能够进行光学成像的其他成像元件如CMOS等。该监测系统的实现方式为：制孔过程中的变化情况经聚焦镜组1传递并通过分光件折转90°形成的监测光路通过中继组件3聚焦成像在成像器件5上，基于图像清晰度进行对焦，通过自动调节调焦组件6使其移动至最佳像面位置完成实时对焦，基于成像器件5上的图像的灰度变化来判断穿透信号的出现，实现对打孔过程的实时监测。该光学结构紧凑和可靠性高，分光件2的置入，避免了穿透监测系统对加工光路的影响。在一个实施方式中，分光件2的两面设计有不同的膜系以消除两面反射产生的鬼像，进而提高对目标信号的感知能力。为了实现调焦组件6的自动对焦功能，穿透监测系统进一步包括控制单元(未图示)。在一个实施方式中，控制单元为装有控制卡的计算机，该计算机电连接至CCD、电机、以及加工光路中的激光器。控制单元用于控制调焦组件6驱动成像器件5沿监测光路的方向移动、实时计算成像器件5在每一移动位置的图像清晰度值，以及将各个移动位置的图像清晰度进行比较找出最大值，图像清晰度的最大值所在的移动位置即成像器件的最佳像面位置。控制单元还配置成在成像器件5处于最佳像面位置时对获取的监测光图像进行穿透判断，智能判断气膜孔的穿透状态。进一步地，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于空心叶片气膜孔激光加工的穿透监测系统，其特征在于，所述穿透监测系统包括分光件和穿透监测机构，所述穿透监测机构包括中继组件、成像器件和调焦组件；所述分光件位于激光的加工光路中，用于透射加工激光以及反射加工激光的反射光形成监测光路，所述加工光路垂直于所述监测光路；所述中继组件位于所述监测光路中，用于调制所述监测光路的监测光，得到需要的放大率和线视场；所述成像器件接收经所述中继组件调制的监测光；所述调焦组件用于根据不同加工距离调节所述成像器件与所述中继组件之间的相对间距，以使所述成像器件在最佳像面位置获取监测光图像。

【技术特征摘要】
1.一种用于空心叶片气膜孔激光加工的穿透监测系统，其特征在于，所述穿透监测系统包括分光件和穿透监测机构，所述穿透监测机构包括中继组件、成像器件和调焦组件；所述分光件位于激光的加工光路中，用于透射加工激光以及反射加工激光的反射光形成监测光路，所述加工光路垂直于所述监测光路；所述中继组件位于所述监测光路中，用于调制所述监测光路的监测光，得到需要的放大率和线视场；所述成像器件接收经所述中继组件调制的监测光；所述调焦组件用于根据不同加工距离调节所述成像器件与所述中继组件之间的相对间距，以使所述成像器件在最佳像面位置获取监测光图像。2.根据权利要求1所述的穿透监测系统，其特征在于，所述穿透监测系统进一步包括控制单元，所述控制单元与激光器、成像器件、调焦组件电连接，用于控制所述调焦组件驱动所述成像器件沿监测光路的方向移动、实时计算所述成像器件在每一移动位置的图像清晰度值，以及将各个移动位置的图像清晰度值进行比较找出最大值，图像清晰度的最大值所在的移动位置即成像器件的最佳像面位置；所述控制单元还配置成在所述成像器件处于最佳像面位置时对获取的监测光图像进行穿透判断，智能判断气膜孔的穿透状态。3.根据权利要求2所述的穿透监测系统，其特征在于，所述控制单元还用于对气膜孔的孔型和孔径进行在线测量，当测量值超出设定阈值时，实时结束加工过...

【专利技术属性】
技术研发人员：王宁，王海波，陈国强，张凯胜，杨小君，陈俊威，武杰杰，
申请(专利权)人：西安中科微精光子制造科技有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西,61