一种真空镀膜生产线制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜生产线，所述生产线包括依次连接的入片室、镀膜室、出片室；入片室、镀膜室、出片室分别连接有入片室抽气机组、镀膜室抽气机组、出片室抽气机组；入片室的一端设置有第一真空锁，入片室和镀膜室之间设置有第二真空锁，镀膜室和出片室之间设置有第三真空锁，出片室的一端设置有第四真空锁；镀膜室内设置有靶组件和可作往复运动的镀膜室工件输送组件。本实用新型专利技术真空镀膜生产线减少了大量的真空室、抽气机组和真空锁，并设置可作往复运动的镀膜室工件输送组件，不仅提高了生产效率，而且大大节省了厂房、节约了投资，同时具有显著的节能效果。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜生产线
本技术涉及真空镀膜
，尤其涉及一种真空镀膜生产线。
技术介绍
真空镀膜技术发展很快，从蒸发镀膜到磁控溅射镀膜、多弧离子镀膜等；应用范围也越来越广泛如：建筑玻璃领域，太阳能领域，电了产品领域、刀具生产领域等都应用到真空镀膜技术；真空镀膜设备也从单室间歇式真空镀膜机发展到多室连续式真空镀膜生产线。现有技术比较典型的卧式连续磁控溅射真空镀膜生产线包括：依次连接的入片架、入片室、前过渡室、前精抽室、前缓冲室、镀膜室、后缓冲室、后精抽室、后过渡室、出片室、出片架，上述的各个室统称为“真空室”；除前缓冲室、镀膜室、后缓冲室共用一套镀膜室抽气机组外其它各真空室都相应的有一套抽气机组分别为：入片室抽气机组、前过渡室抽气机组、前精抽室抽气机组、后精抽室抽气机组、后过渡室抽气机组和出片室抽气机组；除前缓冲室、镀膜室、后缓冲室为依次连通无阻隔外其它真空室之间均设有真空锁(一种真空阀门，当其关闭时相邻两真空室隔断，当其开启时相邻两真空室连通)，入片室和出片室的最外侧也分别设有真空锁，从前向后有真空锁1至真空锁8共8套真空锁；每个真空室分别设有工件输送组件，其中镀膜室还设有靶组件(用于镀膜的组件：将镀层材料溅射出来使之沉积于工件上表面成为镀层)。真空镀膜过程：工件经清洗等镀膜前处理后进入入片架(如同时镀多片的还要在入片架将其排列好)，当入片室真空锁(真空锁1)开启时工件进入入片室，当工件完全进入入片室后关闭入片室真空锁，入片室抽气机组对入片室抽气，当入片室气压达到一定数值时开启前过渡室真空锁(真空锁2)，工件进入前过渡室；就这样工件依次进入各个真空室，各个真空室对应的抽气机组按一定的程序抽气；当工件走过镀膜室后就镀上了一层或多层薄膜再经一定的程序走出其它真空室来到出片架，这时可将工件从出片架上取下或通过其它机构将工件移动到下一工序；卧式连续磁控溅射真空镀膜生产线运行过程中当某一真空室的工件走到后一个真空室后，前一个真空室的工件又会自动走入该真空室从而达到连续生产的目的。现有技术卧式连续磁控溅射真空镀膜生产线真空室比较多，所用的抽气机组也比较多(一般有9个真空室和7套抽气机组)，所以有占地面积大、投资成本高、故障率高、能耗大、控制复杂、工件破损几率高等不足之处。因此，现有技术还有待于改进和发展。
技术实现思路
鉴于上述现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种真空镀膜生产线，从而克服现有技术中的真空镀膜生产线占地面积大、投资成本高、能耗大等问题。本技术的技术方案如下：本技术提供了一种真空镀膜生产线，包括依次连接的入片室、镀膜室、出片室；所述入片室、所述镀膜室、所述出片室分别连接有入片室抽气机组、镀膜室抽气机组、出片室抽气机组；所述入片室的一端设置有第一真空锁，所述入片室和所述镀膜室之间设置有第二真空锁，所述镀膜室和所述出片室之间设置有第三真空锁，所述出片室的一端设置有第四真空锁；所述镀膜室内设置有靶组件和可作往复运动的镀膜室工件输送组件。所述的真空镀膜生产线，其中，所述真空镀膜生产线还包括：与所述入片室连接的入片架，和/或与所述出片室连接的出片架。所述的真空镀膜生产线，其中，所述入片室抽气机组包括：与所述入片室连接的入片室罗茨泵，以及与所述入片室罗茨泵连接的入片室粗抽泵；和/或，所述出片室抽气机组包括：与所述出片室连接的出片室罗茨泵，以及与所述出片室罗茨泵连接的出片室粗抽泵。所述的真空镀膜生产线，其中，所述入片室抽气机组还包括入片室负压罐，所述入片室负压罐的一端连接所述入片室罗茨泵，另一端连接所述入片室；和/或，所述出片室抽气机组还包括出片室负压罐，所述出片室负压罐的一端连接所述出片室罗茨泵，另一端连接所述出片室。所述的真空镀膜生产线，其中，所述入片室负压罐与所述入片室之间设置有入片室分流阀，所述入片室罗茨泵与所述入片室负压罐之间设置有入片室负压罐抽气阀，所述入片室罗茨泵上设置有入片室旁通阀，所述入片室罗茨泵与所述入片室之间设置有入片室粗抽阀；和/或，所述出片室负压罐与所述出片室之间设置有出片室分流阀，所述出片室罗茨泵与所述出片室负压罐之间设置有出片室负压罐抽气阀，所述出片室罗茨泵上设置有出片室旁通阀，所述出片室罗茨泵与所述出片室之间设置有出片室粗抽阀。所述的真空镀膜生产线，其中，所述入片室罗茨泵和/或所述出片室罗茨泵具有调速装置。所述的真空镀膜生产线，其中，所述入片室粗抽泵和/或所述出片室粗抽泵为滑阀泵。所述的真空镀膜生产线，其中，所述镀膜室抽气机组包括：与所述镀膜室连接的精抽泵，与所述精抽泵连接的镀膜室罗茨泵，以及与所述镀膜室罗茨泵连接的维持泵。所述的真空镀膜生产线，其中，所述镀膜室罗茨泵与所述精抽泵之间设置有前置阀，所述精抽泵与所述镀膜室之间设置有精抽阀。所述的真空镀膜生产线，其中，所述入片室、所述出片室分别设置有入片室盖板、出片室盖板，所述入片室盖板和/或所述出片室盖板为下凹形。本技术的有益效果是：本技术提供了一种真空镀膜生产线，本技术真空镀膜生产线，减少了大量的真空室、抽气机组和真空锁，只剩下入片室抽气机组、镀膜室抽气机组、出片室抽气机组以及4套真空锁，并在镀膜室内设置可作往复运动的镀膜室工件输送组件，不仅提高了生产效率，而且大大节省了厂房、节约了投资，同时具有显著的节能效果。附图说明图1是本技术真空镀膜生产线的结构示意图。图2是本技术真空镀膜生产线另一角度的结构示意图。图3是沿图2中A-A方向的剖视结构示意图。图4是沿图2中B-B方向的剖视结构示意图。图5是沿图2中D-D方向的剖视结构示意图。图6是沿图2中E-E方向的剖视结构示意图。图7是沿图2中C-C方向的剖视结构示意图。图8是本技术镀膜室抽气机组的局部结构示意图。图9是本技术入片室的局部结构示意图。图10是本技术入片室盖板的一种结构示意图。图11是本技术入片室盖板的另一种结构示意图。具体实施方式本技术提供一种真空镀膜生产线，为使本技术的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本技术进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。本技术真空镀膜生产线也即是一种节能的卧式连续磁控溅射真空镀膜设备。本技术较佳实施例的真空镀膜生产线，如图1、图2所示，包括依次连接的入片室1、镀膜室3、出片室5；所述入片室1、所述镀膜室3、所述出片室5分别连接有入片室抽气机组2、镀膜室抽气机组4、出片室抽气机组6；所述入片室1的一端设置有第一真空锁91，所述入片室1和所述镀膜室3之间设置有第二真空锁92，所述镀膜室3和所述出片室5之间设置有第三真空锁93，所述出片室5的一端设置有第四真空锁94；所述镀膜室3内设置有靶组件39和可作往复运动的镀膜室工件输送组件31，镀膜室工件输送组件31可以带动放置在其上的工件99在镀膜室3内做往复运动完成镀膜。本实施例中，镀膜室工件输送组件31可作往复运动，因此镀膜时镀膜室工件输送组件可以做往复运动，使膜层均匀性更好。当然也可不开启镀膜室工件输送组件使工件停留在镀膜室内，这样工件膜层的均匀性就差些。本技术真空镀膜生产线可以只有入片室、镀膜室、出片室，只有4套真空锁和入片室抽气本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜生产线，其特征在于，包括依次连接的入片室、镀膜室、出片室；所述入片室、所述镀膜室、所述出片室分别连接有入片室抽气机组、镀膜室抽气机组、出片室抽气机组；所述入片室的一端设置有第一真空锁，所述入片室和所述镀膜室之间设置有第二真空锁，所述镀膜室和所述出片室之间设置有第三真空锁，所述出片室的一端设置有第四真空锁；所述镀膜室内设置有靶组件和可作往复运动的镀膜室工件输送组件；所述镀膜室抽气机组包括：与所述镀膜室连接的精抽泵，与所述精抽泵连接的镀膜室罗茨泵，以及与所述镀膜室罗茨泵连接的维持泵；所述镀膜室罗茨泵与所述精抽泵之间设置有前置阀，所述精抽泵与所述镀膜室之间设置有精抽阀。

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜生产线，其特征在于，包括依次连接的入片室、镀膜室、出片室；所述入片室、所述镀膜室、所述出片室分别连接有入片室抽气机组、镀膜室抽气机组、出片室抽气机组；所述入片室的一端设置有第一真空锁，所述入片室和所述镀膜室之间设置有第二真空锁，所述镀膜室和所述出片室之间设置有第三真空锁，所述出片室的一端设置有第四真空锁；所述镀膜室内设置有靶组件和可作往复运动的镀膜室工件输送组件；所述镀膜室抽气机组包括：与所述镀膜室连接的精抽泵，与所述精抽泵连接的镀膜室罗茨泵，以及与所述镀膜室罗茨泵连接的维持泵；所述镀膜室罗茨泵与所述精抽泵之间设置有前置阀，所述精抽泵与所述镀膜室之间设置有精抽阀。2.根据权利要求1所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述真空镀膜生产线还包括：与所述入片室连接的入片架，和/或与所述出片室连接的出片架。3.根据权利要求1所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述入片室抽气机组包括：与所述入片室连接的入片室罗茨泵，以及与所述入片室罗茨泵连接的入片室粗抽泵；和/或，所述出片室抽气机组包括：与所述出片室连接的出片室罗茨泵，以及与所述出片室罗茨泵连接的出片室粗抽泵。4.根据权利要求3所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述入...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖荣新，禤瑞彬，黄进高，
申请(专利权)人：肇庆市前沿真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44