标记位置校正装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术揭露一种标记位置校正装置及方法，在对晶片上所具备的半导体芯片执行标记作业前，利用形成于透明基板的一面上的屏幕测定及校正标记的位置，由此可在标记期间标记至每个半导体芯片上的准确的位置。并且，检测到激光束的位置与由激光束而形成于屏幕上的标记地点的位置会因透明基板的折射率而彼此不同，但根据本发明专利技术概念，通过补偿透明基板的折射率来运算标记地点的位置，可准确地校正标记位置。根据实施例的校正晶片的标记位置的装置包含：位置校正用构件，其包含透明基板及设置于透明基板上的屏幕；激光头，其对屏幕照射激光束而形成标记地点；视觉照相机，其获得激光束透过屏幕及透明基板而形成的检测地点的位置信息；运算部，其利用通过视觉照相机而获得的检测地点的位置信息计算标记地点的位置信息；及控制部，其对标记地点的位置信息与设定于激光头上的标记位置信息进行比较而使标记地点与标记位置一致。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】标记位置校正装置及方法
本专利技术揭露一种对晶片的标记(marking)位置进行校正的标记位置校正装置及方法，且揭露一种在对晶片进行加工前，对形成于透明基板的一面的屏幕照射激光束而校正标记位置的装置及方法。
技术介绍
在半导体装置的工艺中，在晶片上形成较多的芯片。为了按照生产批次(lot)区分所述等芯片，在各芯片的表面标注文字和/或数字。使用激光束的激光标记装置用于此种用途。之前，在进行切晶(dicing)后，对各芯片标记批次编号，但随着尖端技术的发展，可实现集成电路(integratedcircuit，IC)的超小型化及轻量化，因此为了提高作业效率而实现量产，需要在晶片上对个别芯片进行标记后进行切晶。为了准确地对晶片上的芯片进行标记，重要的是对准晶片。晶片的对准是以晶片的几何特性或标签为基准而将晶片定位至标记位置。标记工艺通过如下方式实现：在利用光学方法识别晶片的识别特征(球阵列(ballarray)，识别标记等)后，以与标记位置对应的方式转换标记数据而利用适当的光学计对标记位置照射激光束。此处，为了对1mm2以下的芯片进行标记，需准确地识别芯片的位置且准确地照射激光束。然而，即便在最初进行标记作业时准确地识别到晶片的位置且准确地照射激光束，随着时间的经过，激光束的照射位置也会因干扰(振动、热)而发生变化。因此，校正激光标记装置的标记位置的作业是在对晶片进行标记作业前必须执行的作业。
技术实现思路
专利技术目的根据本专利技术的一实施例，提供一种对形成于透明基板上的屏幕照射激光束，根据激光束透过透明基板而检测到的位置运算形成于屏幕上的标记地点的位置信息，之后对运算出的标记地点的位置信息与设定于激光头的标记位置信息进行比较而校正标记位置的装置及方法。技术方案本专利技术的一实施例的标记位置校正装置，用于对晶片的标记(marking)位置进行校正，其包含：位置校正用构件，其包含透明基板及设置于上述透明基板上的屏幕；激光头，其对上述屏幕照射激光束而形成标记地点；视觉照相机，其获得上述激光束透过上述屏幕及上述透明基板而形成的检测地点的位置信息；运算部，其利用通过上述视觉照相机获得的上述检测地点的位置信息而计算上述标记地点的位置信息；及控制部，其对上述标记地点的位置信息与设定于上述激光头的标记位置信息进行比较而使上述标记地点与上述标记位置一致。有益效果根据本专利技术的上述解决课题的手段，可在对晶片上所具备的半导体芯片执行标记作业前，利用形成于透明基板的一面的屏幕测定及校正标记的位置，由此可标记至半导体芯片上的准确的位置。并且，检测到激光束的位置与由激光束形成于屏幕上的标记地点的位置会因透明基板的折射率而不同，但本专利技术通过补偿透明基板的折射率而运算标记地点的位置，因此可准确地校正标记位置。附图说明图1是概略性地表示本专利技术的一实施例的标记位置校正装置的剖面图。图2是表示在校正标记位置时使用的支持台的图，且是图1所示的支持台的俯视图。图3是在对晶片执行标记作业时使用的支持台的俯视图。图4是在对晶片执行标记作业时及校正标记位置时均可使用的支持台的俯视图。图5是用以说明根据激光束的检测地点运算激光束形成至屏幕上的标记地点的过程的图。图6是表示形成于位置校正用构件的屏幕上的标记地点的俯视图。本专利技术最佳实施方式本专利技术的一实施例的标记位置校正装置，用于对晶片的标记(marking)位置进行校正，其包含：位置校正用构件，其包含透明基板及设置于上述透明基板上的屏幕；激光头，其对上述屏幕照射激光束而形成标记地点；视觉照相机，其获得上述激光束透过上述屏幕及上述透明基板而形成的检测地点的位置信息；运算部，其利用通过上述视觉照相机获得的上述检测地点的位置信息而计算上述标记地点的位置信息；及控制部，其对上述标记地点的位置信息与设定于上述激光头的标记位置信息进行比较而使上述标记地点与上述标记位置一致。上述视觉照相机与上述激光头能够以上述位置校正用构件为基准而彼此设置于相反侧。可通过照射上述激光束而在上述屏幕形成与上述标记地点对应的图像。可通过在上述标记地点利用上述透明基板折射而形成上述检测地点。上述运算部可利用上述检测地点的位置信息及上述透明基板的折射率计算上述标记地点的位置信息。上述透明基板可包含玻璃基板或压克力基板。上述激光束可具有可见光区域的波长。可还包含支持上述位置校正用构件的支持台。上述支持台可包含开口部(opening)，以供上述激光束透过而照射至上述屏幕。上述位置校正用构件可呈四边形，上述开口部呈与上述位置校正用构件对应的四边形。上述开口部可具有大于上述晶片的尺寸。可还包含使上述视觉照相机向上述检测地点移动的移动平台。本专利技术的一实施例的标记位置校正方法，用于对晶片的标记位置进行校正，其包含如下步骤：准备包含透明基板及设置于上述透明基板上的屏幕的位置校正用构件的步骤；自激光头向上述屏幕照射激光束而形成标记地点的步骤；获得上述激光束透过上述屏幕及上述透明基板而形成的检测地点的位置信息的步骤；利用所获得的上述检测地点的位置信息计算上述标记地点的位置信息的步骤；及对上述标记地点的位置信息与设定于上述激光头的标记位置信息进行比较而使上述标记地点与上述标记位置一致的步骤。可通过照射上述激光束而在上述屏幕形成与上述标记地点对应的图像。可通过在上述标记地点利用上述透明基板折射而形成上述检测地点。上述计算步骤可利用上述检测地点的位置信息及上述透明基板的折射率计算上述标记地点的位置信息。准备上述位置校正用构件的步骤可包含将上述位置校正用构件安装至支持台上的步骤。上述激光束可透过形成于上述支持台的开口部而照射至上述屏幕。上述开口部可具有大于上述晶片的尺寸。可通过移动平台使视觉照相机向上述检测地点移动而执行获得上述检测地点的位置信息的步骤。具体实施方式以下参照附图详细地对本专利技术的实施例进行说明，以便在本专利技术所属的
内具有常识者可容易地实施。然而，本专利技术能够以各种不同的形态实现，并不限定于此处所说明的实施例。而且，为了明确地说明本专利技术，在图中省略与说明无关的部分，在整篇说明书中对相似的部分标注相似的符号。在整篇说明书中，在记载为某个部分与其他部分“连接”时，不仅包含“直接连接”的情形，而且也包含某个部分与其他部分中间通过其他元件而“电性连接”的情形。并且，在记载为某个部分“包含”某个构成要素时，只要无特别相反的记载，则指可更包含其他构成要素，而并非是指排除其他构成要素。图1是概略性地表示本专利技术的一实施例的标记位置校正装置(100)的剖面图。参照图1，标记位置校正装置(100)包含激光头(10)、视觉照相机(20)、支持位置校正用构件(40)的支持台(30)、移动平台(50)、作业台(60)、运算部(70)及控制部(80)。用以确认自激光头(10)出射的激光束的标记位置的位置校正用构件(40)包含透明基板(42)及设置于透明基板(42)的一面的屏幕(41)。透明基板(42)可具有一定水平的硬度，以便安装至支持台(30)的开口部而不会变形，透明基板(42)可包含玻璃基板或压克力基板。屏幕(41)是通过照射激光束而形成与标记地点对应的图像之处，可包含白色屏幕。屏幕(41)可设置于透明基板(42)的入射激光束一侧。并且，位置校正用构件(40)可呈四边形。激光头(10)本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种标记位置校正装置，用于对晶片的标记位置进行校正，包含：位置校正用构件，其包含透明基板及设置于所述透明基板上的屏幕；激光头，其对所述屏幕照射激光束而形成标记地点；视觉照相机，其获得所述激光束透过所述屏幕及所述透明基板而形成的检测地点的位置信息；运算部，其利用通过所述视觉照相机而获得的所述检测地点的所述位置信息计算所述标记地点的位置信息；及控制部，其对所述标记地点的所述位置信息与设定于所述激光头的标记位置信息进行比较而使所述标记地点与所述标记位置一致。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.02.25 KR 10-2016-00228331.一种标记位置校正装置，用于对晶片的标记位置进行校正，包含：位置校正用构件，其包含透明基板及设置于所述透明基板上的屏幕；激光头，其对所述屏幕照射激光束而形成标记地点；视觉照相机，其获得所述激光束透过所述屏幕及所述透明基板而形成的检测地点的位置信息；运算部，其利用通过所述视觉照相机而获得的所述检测地点的所述位置信息计算所述标记地点的位置信息；及控制部，其对所述标记地点的所述位置信息与设定于所述激光头的标记位置信息进行比较而使所述标记地点与所述标记位置一致。2.根据权利要求1所述的标记位置校正装置，其中所述视觉照相机与所述激光头以所述位置校正用构件为基准而彼此设置于相反侧。3.根据权利要求1所述的标记位置校正装置，其中通过照射所述激光束而在所述屏幕形成与所述标记地点对应的图像。4.根据权利要求1所述的标记位置校正装置，其中所述检测地点通过在所述标记地点利用所述透明基板折射而形成。5.根据权利要求4所述的标记位置校正装置，其中所述运算部利用所述检测地点的所述位置信息及所述透明基板的折射率计算所述标记地点的所述位置信息。6.根据权利要求1所述的标记位置校正装置，其中所述透明基板包含玻璃基板或压克力基板。7.根据权利要求1所述的标记位置校正装置，其中所述激光束具有可见光区域的波长。8.根据权利要求1所述的标记位置校正装置，还包含支持所述位置校正用构件的支持台。9.根据权利要求8所述的标记位置校正装置，其中所述支持台包含开口部，以供所述激光束透过而照射至所述屏幕。10.根据权利要求9所述的标记位置校正装置，其中所述位置校正用构件呈四边形...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔相喆，崔榮埈，金秀永，
申请(专利权)人：EO科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR