压电驱动装置、电子部件输送装置、机器人、投影仪制造方法及图纸

本发明专利技术提供能使两构件以稳定的姿态相对移动的压电驱动装置、电子部件输送装置、机器人、投影仪。压电驱动装置其特征在于，具备第一构件、第二构件、相对于上述第一构件在第一方向上引导上述第二构件的引导机构、以及使上述第二构件相对于上述第一构件在上述第一方向上移动的压电致动器，上述引导机构具有第一轨道和相对于上述第一轨道在与上述第一方向正交的第二方向上分开配置的第二轨道，当从与上述第一方向和上述第二方向双方正交的第三方向观察时，上述压电致动器配置在上述第一轨道或其沿着上述第一方向的延长线与上述第二轨道或其沿着上述第一方向的延长线之间。

【技术实现步骤摘要】
压电驱动装置、电子部件输送装置、机器人、投影仪
本专利技术涉及压电驱动装置、电子部件输送装置、机器人、投影仪以及打印机。
技术介绍
以往，作为使用了通过压电元件使振动体振动来驱动被驱动构件的压电致动器的压电驱动装置，例如已知专利文献1中记载的台架那样的装置。专利文献1中记载的台架具备：支承台；第一移动体，其载置于支承台上；第二移动体，其载置于第一移动体上；第一压电致动器，其与第一移动体的侧面抵接；以及第二压电致动器，其与第二移动体的侧面抵接。在此，支承台和第一移动体通过设于支承台的两个导轨和与支承台的两个导轨对应地设于第一移动体的两个导槽而能沿规定方向被引导，从而相对移动，第一压电致动器在支承台的两个导轨间的区域的外侧以被压向第一移动体的状态设置在支承台上。同样地，第一移动体和第二移动体通过设于第一移动体的两个导轨和与第一移动体的两个导轨对应地设于第二移动体的两个导槽而能沿规定方向被引导，从而相对移动，第二压电致动器在第一移动体的两个导轨间的区域的外侧以被压向第二移动体的状态设置在第一移动体上。专利文献1：特开平11-271480号公报但是，专利文献1中记载的台架在两个导轨间的区域的外侧配置有压电致动器，因此，随着从压电致动器向移动体的按压而对移动体施加以该导轨为中心的力矩，存在移动体倾斜的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供能使两构件以稳定的姿态相对移动的压电驱动装置，并且提供具备该压电驱动装置的电子部件输送装置、机器人、投影仪以及打印机。上述目的能通过下面的本专利技术来达到。本专利技术的压电驱动装置的特征在于，具备：第一构件；第二构件；引导机构，相对于所述第一构件在第一方向上引导所述第二构件；以及压电致动器，使所述第二构件相对于所述第一构件在所述第一方向上移动，所述引导机构具有：第一轨道，沿着所述第一方向设于所述第一构件和所述第二构件中任一方构件上；以及第二轨道，在正交于所述第一方向的第二方向上与所述第一轨道分开地沿着所述第一方向设置于所述第一构件和所述第二构件中任一方构件上，当从与所述第一方向和所述第二方向双方正交的第三方向观察时，所述压电致动器配置在所述第一轨道或将所述第一轨道沿所述第一方向延长而得的延长线与所述第二轨道或将所述第二轨道沿所述第一方向延长而得的延长线之间。根据这样的压电驱动装置，当从第三方向观察时，压电致动器配置在第一轨道(或其延长线)与第二轨道(或其延长线)之间，因此即使压电致动器在第一构件和第二构件之间被按压，也能够减少第二构件由于该按压力而相对于第一构件倾斜。优选地，在本专利技术的压电驱动装置中，所述压电致动器在沿所述第三方向被压向所述第一构件或固定于所述第一构件的构件的状态下支承于所述第二构件。由此，能将压电致动器的驱动力高效地传递到第一构件或固定于其的构件。优选地，在本专利技术的压电驱动装置中，所述压电致动器设有多个，所述引导机构具有：第一滑块，设于所述第一构件和所述第二构件中与设有所述第一轨道的构件不同的构件，并能沿着所述第一轨道移动；以及第二滑块，设于所述第一构件和所述第二构件中与设有所述第二轨道的构件不同的构件，并能沿着所述第二轨道移动，当从所述第三方向观察时，从多个所述压电致动器对所述第一构件的按压力的中心位于所述第一滑块与所述第二滑块之间的区域内。由此，即使压电致动器在第一构件和第二构件之间被按压，也能更可靠地减少第二构件由于该按压力而相对于第一构件倾斜。优选地，在本专利技术的压电驱动装置中，所述第一轨道和所述第二轨道均设于所述第一构件或者均设于所述第二构件。由此，能减少第一滑块与第二滑块之间的区域的形状和大小随着第一滑块和第二滑块相对于第一轨道和第二轨道的移动而变化。因此，能提高压电致动器的设置自由度。优选地，在本专利技术的压电驱动装置中，所述第一滑块和所述第二滑块在所述第一方向上相互错开地配置。由此，能减少第一构件与第二构件的位置关系的变动。另外，能抑制第一滑块和第二滑块在第一方向上的长度，并能在第一方向上延长第一滑块与第二滑块之间的区域，其结果，能提高压电致动器的设置自由度。本专利技术的电子部件输送装置其特征在于，具备本专利技术的压电驱动装置。根据这样的电子部件输送装置，能利用压电驱动装置可使两构件以稳定的姿态相对移动的作用、效果来进行电子部件输送装置的高精度的动作。本专利技术的机器人其特征在于，具备本专利技术的压电驱动装置。根据这样的机器人，能利用压电驱动装置可使两构件以稳定的姿态相对移动的作用、效果来进行机器人的高精度的动作。本专利技术的投影仪其特征在于，具备本专利技术的压电驱动装置。根据这样的投影仪，能利用压电驱动装置可使两构件以稳定的姿态相对移动的作用、效果来进行投影仪的高精度的动作。本专利技术的打印机其特征在于，具备本专利技术的压电驱动装置。根据这样的打印机，能利用压电驱动装置可使两构件以稳定的姿态相对移动的作用、效果来进行打印机的高精度的动作。附图说明图1是表示本专利技术的实施方式涉及的压电驱动装置的截面图。图2是图1所示的压电驱动装置的平面图(从Z轴方向观察时的图)。图3是图1所示的压电驱动装置所具备的压电致动器的平面图。图4是用于说明图3所示的压电致动器的动作的图。图5是表示本专利技术的电子部件输送装置的实施方式的立体图。图6是表示图5所示的电子部件输送装置所具备的压电驱动装置的概略构成的立体图。图7是表示本专利技术的机器人的实施方式的立体图。图8是表示本专利技术的投影仪的实施方式的概略图。图9是表示本专利技术的打印机的实施方式的立体图。附图标记说明1：压电驱动装置、1X：压电驱动装置、1Y：压电驱动装置、1θ：压电驱动装置、2：第一构件、3：第二构件、4：引导机构、4θ：轴承、5：驱动部、5θ：驱动部、6：检测部、6θ：检测部、7：电路部、7θ：电路部、8：第一构件、9：第二构件、10：压电驱动装置、11：按压机构部、21：设置面、22：设置面、23：凹部、31：凹部、32：孔、41a：第一滑块、41b：第二滑块、42a：第一轨道、42b：第二轨道、43a：滚珠、43b：滚珠、51：被驱动构件、52：压电致动器、53：支承构件、61：光学尺、62：传感器、63：基板、521：振动部、522：支承部、523：连接部、524：突出部、1000：机器人、1010：基座、1020：臂、1030：臂、1040：臂、1050：臂、1060：臂、1070：臂、1080：控制部、1090：末端致动器、2000：电子部件输送装置、2100：基台、2110：上游侧台架、2120：下游侧台架、2130：检查台、2200：支承台、2210：Y台架、2220：X台架、2230：电子部件保持部、2233：保持部、3000：打印机、3010：装置主体、3011：托盘、3012：排纸口、3013：操作面板、3020：印刷机构、3021：头单元、3021a：头、3021b：墨盒、3021c：滑架、3022：滑架电机、3023：往复移动机构、3023a：滑架引导轴、3023b：正时带、3030：供纸机构、3031：从动辊、3032：驱动辊、3033：供纸电机、3040：控制部、4000：投影仪、4100B：蓝色光源、4100G：绿色光源、4100R：红色光源、4200B：透镜阵列、4200G：透镜阵列、4200R：透镜阵列、4300本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压电驱动装置，其特征在于，具备：第一构件；第二构件；引导机构，相对于所述第一构件在第一方向上引导所述第二构件；以及压电致动器，使所述第二构件相对于所述第一构件在所述第一方向上移动，所述引导机构具有：第一轨道，沿着所述第一方向设于所述第一构件和所述第二构件中任一方构件上；以及第二轨道，在正交于所述第一方向的第二方向上与所述第一轨道分开地沿着所述第一方向设置于所述第一构件和所述第二构件中任一方构件上，当从与所述第一方向和所述第二方向双方正交的第三方向观察时，所述压电致动器配置在所述第一轨道或将所述第一轨道沿所述第一方向延长而得的延长线与所述第二轨道或将所述第二轨道沿所述第一方向延长而得的延长线之间。

【技术特征摘要】
2017.04.11 JP 2017-0780051.一种压电驱动装置，其特征在于，具备：第一构件；第二构件；引导机构，相对于所述第一构件在第一方向上引导所述第二构件；以及压电致动器，使所述第二构件相对于所述第一构件在所述第一方向上移动，所述引导机构具有：第一轨道，沿着所述第一方向设于所述第一构件和所述第二构件中任一方构件上；以及第二轨道，在正交于所述第一方向的第二方向上与所述第一轨道分开地沿着所述第一方向设置于所述第一构件和所述第二构件中任一方构件上，当从与所述第一方向和所述第二方向双方正交的第三方向观察时，所述压电致动器配置在所述第一轨道或将所述第一轨道沿所述第一方向延长而得的延长线与所述第二轨道或将所述第二轨道沿所述第一方向延长而得的延长线之间。2.根据权利要求1所述的压电驱动装置，其特征在于，所述压电致动器在沿所述第三方向被压向所述第一构件或固定于所述第一构件的构件的状态下支承于所述第二构件。3.根据权利要求2所述的压电驱动装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：荒川豊，岩崎友寿，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP