载置台及载置方法技术

提供一种能够将工件高精度地载置于所希望的位置的载置台及载置方法。所述载置台为载置矩形形状的工件的载置台(2)，具备对载置所述工件的所述载置台的表面(10a)的平面度进行调整的平面度调整部(4a～4x)，所述平面度调整部具备：螺栓(16)，配置于贯通所述载置台的贯通孔(28)；第一球面垫片(18)，被所述螺栓插通，在所述载置台的表面侧且在所述贯通孔的入口配置；第二球面垫片(20)，被所述螺栓插通，在所述载置台的背面侧且在所述贯通孔的出口配置；调整螺钉(22)，配置在所述载置台的背面侧，容纳所述螺栓的螺纹部；及固定螺母(24)，将所述调整螺钉固定。

Loading station and loading method

The invention provides a loading station and a loading method capable of precisely placing the workpiece in a desired position. The loading platform is a loading platform (2) for a workpiece with a rectangular shape, and has a flatness adjusting section (4a-4x) for adjusting the flatness of the surface (10a) of the loading platform for the workpiece. The flatness adjusting section has bolts (16), a through hole (28) through the loading platform, and a first spherical gasket (18). A second spherical gasket (20) is inserted by the bolt and disposed at the surface side of the platform and at the entrance of the through hole; a second spherical gasket (20) is inserted at the back side of the platform and disposed at the exit of the through hole; an adjustment screw (22) is disposed at the back side of the platform to accommodate the thread part of the bolt. And fix nut (24) to fix the adjusting screw.

【技术实现步骤摘要】
载置台及载置方法
本专利技术涉及用于载置金属掩模等工件的载置台及向该载置台载置工件的载置方法。
技术介绍
以往，已知有具备对载置金属掩模等工件的玻璃板的平面度进行调整的平面度调整机构的玻璃制测定台(例如，参照专利文献1)。根据该玻璃制测定台，能够在玻璃板没有挠曲的状态下将工件载置于玻璃板上来进行检查。【在先技术文献】【专利文献】【专利文献1】日本特开平9-033207号公报【专利技术要解决的课题】然而，在专利文献1等记载的玻璃制测定台(载置台)中，由于在检查时将工件直接载置于玻璃板，因此存在玻璃板容易损伤的问题。因此，在玻璃板的周围具备由陶瓷等构成的框状的载置台，在该载置台上载置矩形形状的工件并进行检查的检查装置被使用。然而，为了使用上述的检查装置高精度地检查金属掩模等矩形形状的工件，需要使工件不变形地载置于载置台。而且，需要以避免产生工件相对于载置台的位置偏离及姿势偏离的方式将工件载置于载置台。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能够将工件高精度地载置于所希望的位置的载置台及向该载置台载置工件的载置方法。【用于解决课题的方案】本专利技术的载置台是载置矩形形状的工件的载置台，具备对载置所述工件的所述载置台的表面的平面度进行调整的平面度调整部，所述平面度调整部具备：螺栓，配置于贯通所述载置台的贯通孔；第一球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的表面侧且在所述贯通孔的入口配置；第二球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的背面侧且在所述贯通孔的出口配置；调整螺钉，配置在所述载置台的背面侧，容纳所述螺栓的螺纹部；及固定螺母，将所述调整螺钉固定。另外，本专利技术的载置台是载置矩形形状的工件的载置台，其特征在于，所述载置台具备对载置所述工件的所述载置台的表面内的所述工件的位置及姿势进行调整的位置姿势调整部，所述位置姿势调整部具备：升降销，具有对于从外部搬运的所述工件进行接收载置的载置面，使所述载置面沿着与所述载置台的表面交叉的方向升降；控制部，对载置于所述载置面的所述工件的在所述载置面内的移动进行控制；及夹紧部，使所述工件在所述载置面内移动，在调整了所述工件的位置及姿势的状态下支承所述工件的角部，所述控制部在所述升降销升降期间，禁止所述工件的移动，在所述夹紧部支承所述工件期间，允许所述工件的移动。另外，本专利技术的载置台是载置矩形形状的工件的载置台，其特征在于，具备：平面度调整部，对载置所述工件的所述载置台的表面的平面度进行调整；及位置姿势调整部，对载置所述工件的所述载置台的表面内的所述工件的位置及姿势进行调整，所述平面度调整部具备：螺栓，配置于贯通所述载置台的贯通孔；第一球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的表面侧且在所述贯通孔的入口配置；第二球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的背面侧且在所述贯通孔的出口配置；调整螺钉，配置在所述载置台的背面侧，容纳所述螺栓的螺纹部；及固定螺母，将所述调整螺钉固定，所述位置姿势调整部具备：升降销，具有对于从外部搬运的所述工件进行接收载置的载置面，使所述载置面沿着与所述载置台的表面交叉的方向升降；控制部，对载置于所述载置面的所述工件的在所述载置面内的移动进行控制；及夹紧部，使所述工件在所述载置面内移动，在调整了所述工件的位置及姿势的状态下支承所述工件的角部，所述控制部至少在所述升降销升降期间，禁止所述工件的移动，在所述位置姿势调整部调整所述工件的位置及姿势期间，允许所述工件的移动。另外，本专利技术的载置台的特征在于，所述载置台具备对所述载置台进行支承的多个腿部，所述平面度调整部配置在所述腿部的附近。另外，本专利技术的载置台的特征在于，所述夹紧部支承所述工件的四个角部。另外，本专利技术的载置台的特征在于，所述工件是在金属掩模框架安装有金属掩模片的金属掩模或所述金属掩模框架。另外，本专利技术的载置方法是将矩形形状的工件向载置台载置的载置方法，其特征在于，包括如下工序：第一载置工序，向配置于上升至比所述载置台的表面靠上方处的升降销上部的载置面载置所述工件；第一禁止工序，在所述第一载置工序中禁止载置于所述载置面的所述工件的在所述载置面内的移动；允许工序，使所述升降销下降至所述载置台的表面附近且比所述载置台的表面靠上方处，允许所述工件的在所述载置面内的移动；位置姿势调整工序，调整所述载置台的表面内的所述工件的位置及姿势；第二禁止工序，在所述位置姿势调整工序之后，禁止所述工件的在所述载置面内的移动；及第二载置工序，使所述升降销下降到比所述载置台的表面靠下方处，向所述载置台的表面载置所述工件，所述位置姿势调整工序在配置于所述工件的角部的夹紧部，使所述工件在所述载置面内移动，在调整了所述工件的位置及姿势的状态下支承所述工件的角部。另外，本专利技术的载置方法的特征在于，还包括平面度调整工序，所述平面度调整工序在所述第一载置工序之前调整所述载置台的表面的平面度，所述平面度调整工序利用平面度调整部来调整所述平面度，所述平面度调整部由如下构件构成：螺栓，配置于贯通所述载置台的贯通孔；第一球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的表面侧且在所述贯通孔的入口配置；第二球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的表面侧且在所述贯通孔的出口配置；调整螺钉，配置在所述载置台的背面侧，容纳所述螺栓的螺纹部；及固定螺母，将所述调整螺钉固定。另外，本专利技术的载置方法的特征在于，所述工件是在金属掩模框架安装有金属掩模片的金属掩模或所述金属掩模框架。【专利技术效果】根据本专利技术，能够提供一种可将工件高精度地载置于所希望的位置的载置台及向该载置台载置工件的载置方法。附图说明图1是表示实施方式的检查台的概略结构的立体图。图2是表示实施方式的检查台的概略结构的俯视图。图3是表示实施方式的检查台的概略结构的主视图。图4是表示实施方式的检查台的概略结构的右侧视图。图5是表示实施方式的平面度调整机构的结构的中央纵剖视图。图6是表示实施方式的升降销上升的状态的图。图7是用于说明实施方式的夹紧件的结构的放大图。图8是表示实施方式的检查台的系统结构的框图。图9是用于说明使用了实施方式的检查台的金属掩模载置方法的流程图。【标号说明】2…检查台，4a～4x…平面度调整机构，6a～6d…夹紧件，8…玻璃板，10…台部，12a～12w…腿部，14…基台，16…螺栓，18…第一球面垫片，20…第二球面垫片，22…调整螺钉，24…固定螺母，26…凹部，28…贯通孔，30…固定构件，32…X方向可动构件，34…Y方向可动构件，36…控制部，38…升降销驱动部，40…锁定部，42…X侧夹紧件驱动部，44…Y侧夹紧件驱动部，46…存储部，48…输入部。具体实施方式以下，参照附图，说明本专利技术的实施方式的载置台。载置台是载置矩形形状的工件的结构，在该实施方式中，列举金属掩模作为矩形形状的工件，并列举载置该金属掩模而进行检查的检查台作为载置台的例子进行说明。金属掩模通过利用金属掩模制造装置向构成框状的金属掩模框架的相对的两边依次粘贴多个带状的金属掩模片的两端部来制造，在有机EL元件的制造工序中对有机发光层进行真空蒸镀时使用。图1是表示实施方式的检查台的概略结构的立体图，图2是表示实施方式的检查台的概略结构的俯视图，图3是表示实施方式的检查台的概略结构的主视图，图4是表示实施方式的检查台的概略结构的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种载置台，载置矩形形状的工件，所述载置台的特征在于，所述载置台具备对载置所述工件的所述载置台的表面的平面度进行调整的平面度调整部，所述平面度调整部具备：螺栓，配置于贯通所述载置台的贯通孔；第一球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的表面侧且在所述贯通孔的入口配置；第二球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的背面侧且在所述贯通孔的出口配置；调整螺钉，配置在所述载置台的背面侧，容纳所述螺栓的螺纹部；及固定螺母，将所述调整螺钉固定。

【技术特征摘要】
2017.04.07 JP 2017-0764511.一种载置台，载置矩形形状的工件，所述载置台的特征在于，所述载置台具备对载置所述工件的所述载置台的表面的平面度进行调整的平面度调整部，所述平面度调整部具备：螺栓，配置于贯通所述载置台的贯通孔；第一球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的表面侧且在所述贯通孔的入口配置；第二球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的背面侧且在所述贯通孔的出口配置；调整螺钉，配置在所述载置台的背面侧，容纳所述螺栓的螺纹部；及固定螺母，将所述调整螺钉固定。2.一种载置台，载置矩形形状的工件，所述载置台的特征在于，所述载置台具备对载置所述工件的所述载置台的表面内的所述工件的位置及姿势进行调整的位置姿势调整部，所述位置姿势调整部具备：升降销，具有对于从外部搬运的所述工件进行接收载置的载置面，使所述载置面沿着与所述载置台的表面交叉的方向升降；控制部，对载置于所述载置面的所述工件的在所述载置面内的移动进行控制；及夹紧部，使所述工件在所述载置面内移动，在调整了所述工件的位置及姿势的状态下支承所述工件的角部，所述控制部至少在所述升降销升降期间，禁止所述工件的移动，在所述位置姿势调整部调整所述工件的位置及姿势期间，允许所述工件的移动。3.一种载置台，载置矩形形状的工件，所述载置台的特征在于，具备：平面度调整部，对载置所述工件的所述载置台的表面的平面度进行调整；及位置姿势调整部，对载置所述工件的所述载置台的表面内的所述工件的位置及姿势进行调整，所述平面度调整部具备：螺栓，配置于贯通所述载置台的贯通孔；第一球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的表面侧且在所述贯通孔的入口配置；第二球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的背面侧且在所述贯通孔的出口配置；调整螺钉，配置在所述载置台的背面侧，容纳所述螺栓的螺纹部；及固定螺母，将所述调整螺钉固定，所述位置姿势调整部具备：升降销，具有对于从外部搬运的所述工件进行接收载置的载置面，使所述载置面沿着与所述载置台的表面交叉的方向升降；控制部，对载置于所述载置面的所述工件的在所述载置面内的移动进行控制；及夹紧部，使所述工件在所述载置面内移动，在调整了...

【专利技术属性】
技术研发人员：井出伸树，
申请(专利权)人：新东超精密有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP