【技术实现步骤摘要】
一种降低直拉法生产单晶硅拉晶功率的导气筒
本技术属于直拉法生产单晶硅热场
，具体涉及一种降低直拉法生产单晶硅拉晶功率的导气筒。
技术介绍
在直拉法生产单晶硅过程中，单晶炉炉膛内主要存在可见光，其次为红外光，热辐射是热量在真空中传递的唯一一种方式，因此单晶炉内的热量主要是通过热辐射方式散逸，而排气孔则是直拉法生产单晶硅过程中热量流失较多的一部分。目前直拉法生产单晶硅过程中其有效运行功率为70千瓦，为了节约直拉法生产单晶硅成本，一般采用增加保温性的方法降低直拉法生产单晶硅过程中的有效运行功率，但是实际使用效果并不明显。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种降低直拉法生产单晶硅拉晶功率的导气筒，其利用钼片将热量反射回单晶炉炉膛内，从而降低了直拉法生产单晶硅的有效运行功率。本技术所采用的技术方案是：一种降低直拉法生产单晶硅拉晶功率的导气筒，包括设置于单晶炉内排气孔位置的导气筒体，所述导气筒体上设置有用于向单晶炉内反射热量的反射片。本技术的特点还在于，所述导气筒体为等静压石墨材质制成。所述反射片为金属片。所述反射片为钼片。所述导气筒体上设有凹槽，所述反射片卡设于所述凹槽内。本技术的有益效果是：本技术一种降低直拉法生产单晶硅拉晶功率的导气筒安装于单晶炉的排气孔处，利用导气筒体上的钼片将热量反射回单晶炉炉膛内再次利用，有效避免了热量散失，从而降低了直拉法生产单晶硅的有效运行功率。附图说明图1是本技术一种降低直拉法生产单晶硅拉晶功率的导气筒的结构示意图；图2是本技术一种降低直拉法生产单晶硅拉晶功率的导气筒的使用状态图。图中，1.导气筒体，2.反射片，3.加热器，4.单晶炉...
【技术保护点】
1.一种降低直拉法生产单晶硅拉晶功率的导气筒，其特征在于，包括设置于单晶炉(4)内排气孔位置的导气筒体(1)，所述导气筒体(1)上设置有用于向单晶炉(4)内反射热量的反射片(2)。
【技术特征摘要】
1.一种降低直拉法生产单晶硅拉晶功率的导气筒，其特征在于，包括设置于单晶炉(4)内排气孔位置的导气筒体(1)，所述导气筒体(1)上设置有用于向单晶炉(4)内反射热量的反射片(2)。2.如权利要求1所述的一种降低直拉法生产单晶硅拉晶功率的导气筒，其特征在于，所述导气筒体(1)为等静压石墨材质制成。3.如权利要求1所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨东，梁永生，冉瑞应，李博一，金雪，
申请(专利权)人：银川隆基硅材料有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏,64
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