一种递进式增效的多晶炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种递进式增效的多晶炉，包括：安装平台、多晶炉本体和顶盖，所述多晶炉本体设置在安装平台上，所述顶盖密封设置在多晶炉本体顶部，所述多晶炉本体顶部设置有竖直向上且沿多顶炉本体围绕一周的闭合筐体，所述闭合筐体顶平面内凹设置有围绕筐体一周的闭合凹槽，所述闭合筐体顶部设置有沿闭合凹槽上下抽动的活动框架，所述活动框架顶部外侧设置有下法兰盘，所述下法兰盘外侧同心设置有外连接法兰座，所述外连接法兰座底部矩形阵列有4个位于安装平台上的升降驱动装置。本实用新型专利技术通过安装在多晶炉体和顶盖之间的活动框架，调节多晶炉体和顶盖的间距，从而改变多晶炉内部高度，进而满足内部坩埚的不同高度，形成递进式产量的增加。

【技术实现步骤摘要】
一种递进式增效的多晶炉
本技术涉及多晶硅锭生产
，尤其涉及一种递进式增效的多晶炉。
技术介绍
多晶炉是生产多晶硅锭主要的设备，将硅材料及其它配合材料装在坩埚内，然后将坩埚吊装在多晶炉内进行融化和长晶，从而形成多晶硅锭。现有技术中生产的多晶硅锭时，主要根据多晶炉内的体积进行吨位的生产，如果想提高硅锭单独的吨位(即生产效率)，必须要增加多晶炉内的体积才能完成。但是，国内对于大体积多晶炉的制造也是少之又少，大多数只能生产G2、G4的硅锭，即便到达G6的也比较少。因此，如果增加多晶硅锭的体积，提高生产效率，减少多晶硅锭的浪费，是各生产企业的重中之重。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种递进式增效的多晶炉，能够增加多晶硅锭的单个吨位，降低硅锭切割造成的浪费，提高多晶硅锭的利用率。为达此目的，本技术采用以下技术方案：一种递进式增效的多晶炉，包括：安装平台、多晶炉本体和顶盖，所述多晶炉本体设置在安装平台上，所述顶盖密封设置在多晶炉本体顶部，所述多晶炉本体顶部设置有竖直向上且沿多顶炉本体围绕一周的闭合筐体，所述闭合筐体顶平面内凹设置有围绕筐体一周的闭合凹槽，所述闭合筐体顶部设置有沿闭合凹槽上下抽动的活动框架，所述活动框架顶部外侧设置有下法兰盘，所述下法兰盘外侧同心设置有外连接法兰座，所述外连接法兰座底部矩形阵列有4个位于安装平台上的升降驱动装置。其中，所述顶盖底部设置有与下法兰盘对应上法兰盘。其中，所述下法兰盘上平面内凹设置有嵌入上法兰盘的凹槽。其中，所述上法兰盘设置有嵌入凹槽的凸台。其中，所述凹槽内壁填充有弹性密封圈。其中，所述闭合筐体外侧设置有定位活动框架的调节螺栓。其中，所述4个升降驱动装置中相邻升降驱动装置之间设置有底部位于安装平台上的套筒，所述套筒内同心设置有顶部与上法兰盘连接的伸缩轴。其中，所述套筒外侧设置有锁紧伸缩轴的定位销。本技术的有益效果：一种递进式增效的多晶炉，通过安装在多晶炉体和顶盖之间的活动框架，调节多晶炉体和顶盖的间距，从而改变多晶炉内部高度，进而满足内部坩埚的不同高度，形成递进式产量的增加。附图说明图1是本技术的结构示意图。具体实施方式下面结合图1并通过具体实施例来进一步说明本技术的技术方案。一种递进式增效的多晶炉，包括：安装平台1、多晶炉本体2和顶盖3，所述多晶炉本体2设置在安装平台1上，所述顶盖3密封设置在多晶炉本体2顶部，提高多晶硅锭融化和长晶时内部真空度，提高生产质量。所述多晶炉本体2顶部设置有竖直向上且沿多顶炉本体2围绕一周的闭合筐体4，所述闭合筐体4顶平面内凹设置有围绕闭合筐体4一周的闭合凹槽41，所述闭合筐体4顶部设置有沿闭合凹槽41上下抽动的活动框架5，所述活动框架5顶部外侧设置有下法兰盘6，所述下法兰盘6外侧同心设置有外连接法兰座7，所述外连接法兰座7底部矩形阵列有4个位于安装平台1上的升降驱动装置8。上述中，所述活动框架5和下法兰盘6为一体加工成型，强度高，密封性好。升降驱动装置8带动活动框架5沿闭合凹槽41上下移动，调节顶盖3和多晶炉体2之间的间距，从而增加多晶炉体内部整体高度，满足较高尺寸的坩埚使用，从而增加多晶硅锭的吨位生产；通过调节活动框架5的伸缩高度，行程递进增效的功能。本实施例中，所述顶盖3底部设置有与下法兰盘6对应上法兰盘9，配套安装，完成顶盖3与多晶炉体2的连接。本实施例中，所述下法兰盘6上平面内凹设置有嵌入上法兰盘9的凹槽61，上法兰盘9设置有嵌入凹槽61的凸台91，凹槽61内壁填充有弹性密封圈10，提高连接密封性。本实施例中，所述闭合筐体4外侧设置有定位活动框架5的调节螺栓11，当活动框架5升高的位置到达设定位置时，通过相应的调节螺栓11固定。本实施例中，所述4个升降驱动装置8中相邻升降驱动装置8之间设置有底部位于安装平台1上的套筒12，所述套筒12内同心设置有顶部与上法兰盘连接的伸缩轴（图中未示出），所述套筒12外侧设置有锁紧伸缩轴的定位销，对升高的活动框架5进行底部支撑，提高支撑强度。以上内容仅为本技术的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本技术的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本技术的限制。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种递进式增效的多晶炉，包括：安装平台、多晶炉本体和顶盖，所述多晶炉本体设置在安装平台上，所述顶盖密封设置在多晶炉本体顶部，其特征在于，所述多晶炉本体顶部设置有竖直向上且沿多顶炉本体围绕一周的闭合筐体，所述闭合筐体顶平面内凹设置有围绕筐体一周的闭合凹槽，所述闭合筐体顶部设置有沿闭合凹槽上下抽动的活动框架，所述活动框架顶部外侧设置有下法兰盘，所述下法兰盘外侧同心设置有外连接法兰座，所述外连接法兰座底部矩形阵列有4个位于安装平台上的升降驱动装置。

【技术特征摘要】
1.一种递进式增效的多晶炉，包括：安装平台、多晶炉本体和顶盖，所述多晶炉本体设置在安装平台上，所述顶盖密封设置在多晶炉本体顶部，其特征在于，所述多晶炉本体顶部设置有竖直向上且沿多顶炉本体围绕一周的闭合筐体，所述闭合筐体顶平面内凹设置有围绕筐体一周的闭合凹槽，所述闭合筐体顶部设置有沿闭合凹槽上下抽动的活动框架，所述活动框架顶部外侧设置有下法兰盘，所述下法兰盘外侧同心设置有外连接法兰座，所述外连接法兰座底部矩形阵列有4个位于安装平台上的升降驱动装置。2.根据权利要求1所述的递进式增效的多晶炉，其特征在于，所述顶盖底部设置有与下法兰盘对应上法兰盘。3.根据权利要求2所述的递进式增效的多晶炉，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：王海，
申请(专利权)人：福能科技江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32