层叠薄膜制造技术

提供具有优异的透湿性及阻气性、优异的耐化学药品性、透明性及弯曲性，并且具有非常优异的耐热性的层叠薄膜。本发明专利技术的层叠薄膜依次具有：第1硬涂层；基材；第2硬涂层；包含ZnO、Al及SiO2的第1氧化物层；以及由SiO2构成的第2氧化物层。1个实施方式中，层叠薄膜在95℃下加热1000小时后的收缩率为0.5％以下、在95℃下加热1000小时后的透湿度为3.0×10‑2g/m2/24hr以下。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】层叠薄膜
本专利技术涉及层叠薄膜。更详细而言，本专利技术涉及在由硬涂层夹持的基材上具有2个氧化物层的层叠薄膜。
技术介绍
以往，在图像显示装置(例如液晶显示装置、有机电致发光(EL)显示装置)、太阳能电池(例如薄膜型太阳能电池、薄膜太阳能电池)中使用阻隔薄膜。在这种阻隔薄膜的开发中，作为制膜速度快、折射率低、具有良好的阻气性的阻隔薄膜，提出了在Al-Zn-O(添加铝的氧化锌)膜中添加有SiO2的透明氧化物膜(薄膜)(专利文献1)。但是，该透明氧化物膜的耐化学药品性(例如耐酸性、耐碱性)非常不充分，进而，透明性也要求改善。而且，阻隔薄膜通常具有支撑透明氧化物膜的基材，有时在加热环境下因基材的收缩而在透明氧化物膜上产生裂纹，损害阻隔薄膜的阻隔性。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2013-189657号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题本专利技术是为了解决上述现有问题而做出的，其目的在于，提供具有优异的透湿性及阻气性、优异的耐化学药品性、透明性及弯曲性，并且具有非常优异的耐热性的层叠薄膜。用于解决问题的方案本专利技术的层叠薄膜依次具有：第1硬涂层；基材；第2硬涂层；包含ZnO、Al及SiO2的第1氧化物层；以及由SiO2构成的第2氧化物层。1个实施方式中，上述第1硬涂层还具有抗粘连功能。1个实施方式中，上述层叠薄膜在95℃下加热1000小时后的收缩率为0.5％以下。1个实施方式中，上述层叠薄膜在95℃下加热1000小时后的透湿度为3.0×10-2g/m2/24hr以下。专利技术的效果根据本专利技术的实施方式，在具有基材、第1氧化物层和第2氧化物层的层叠薄膜中，通过在基材的两侧设置硬涂层，从而能够维持这种层叠薄膜的优异的特性(透湿性、阻气性、耐化学药品性、透明性及弯曲性)、并且实现非常优异的耐热性。附图说明图1为本专利技术的1个实施方式的层叠薄膜的示意截面图。具体实施方式以下，对本专利技术的代表性的实施方式进行说明，但本专利技术并不限定于这些实施方式。A.层叠薄膜的整体构成图1为本专利技术的1个实施方式的层叠薄膜的示意截面图。本实施方式的层叠薄膜100依次具有第1硬涂层40、基材10、第2硬涂层50、第1氧化物层20、和第2氧化物层30。即，根据本专利技术的实施方式，在具有基材、第1氧化物层和第2氧化物层的层叠薄膜中，基材被第1硬涂层及第2硬涂层夹持。为这样的构成时，能够良好地抑制由热导致的基材的尺寸变化(代表性地为基材的热收缩)。其结果，能够良好地防止加热环境下的基材的收缩导致的第1和/或第2氧化物层的裂纹，结果，即使在加热环境下也能够良好地维持层叠薄膜的阻隔性。因此，能够维持具有基材、第1氧化物层和第2氧化物层的层叠薄膜的优异的特性(透湿性、阻气性、耐化学药品性、透明性及弯曲性)，并且实现非常优异的耐热性。第1硬涂层40的厚度优选为0.3μm～5μm。第2硬涂层50的厚度优选为0.3μm～5μm。代表性地，第1硬涂层40及第2硬涂层50中至少一者还具有抗粘连功能。例如第1硬涂层40为还具有抗粘连功能的硬涂层、第2硬涂层50可以为通常的硬涂层。第1氧化物层20包含ZnO、Al及SiO2。第2氧化物层30由SiO2构成。第1氧化物层20的厚度优选为10nm～100nm。第2氧化物层30的厚度优选为10nm～100nm。层叠薄膜具有对水分及气体(例如氧气)的阻隔性。层叠薄膜在40℃、90％RH条件下的水蒸气透过率(透湿度)优选为不足1.0×10-1g/m2/24hr。从阻隔性的观点出发，透湿度的下限越低越优选。透湿度的测定极限例如为0.1×10-6g/m2/24hr左右。1个实施方式中，从放出由装置构成物经时产生的逸气(outgas)(例如通过太阳能电池密封树脂(EVA)的水解产生的乙酸)的观点出发，透湿度的下限例如为0.1×10-4g/m2/24hr。透湿度的优选的上限可以根据用途而变动。对于透湿度的上限，例如在室内的图像显示装置(例如PC显示器)用途中为5.0×10-2g/m2/24hr，在室外的图像显示装置(数位看板)用途中为3.0×10-2g/m2/24hr，在车载显示器等室内严酷环境用途中为1.0×10-2g/m2/24hr。层叠薄膜在60℃、90％RH条件下的阻气性优选为1.0×10-7g/m2/24hr～0.5g/m2/24hr、更优选为1.0×10-7g/m2/24hr～0.1g/m2/24hr。透湿度及阻气性为这样的范围时，将层叠薄膜贴合于对象物(例如图像显示装置、太阳能电池)的情况下，可良好地保护该对象物免受空气中的水分及氧气的影响。需要说明的是，透湿度及阻气性均可依据JISK7126-1进行测定。层叠薄膜在95℃下加热1000小时后的收缩率优选为0.5％以下、更优选为0.2％以下、进一步优选为0.1％以下。通过采用由2个硬涂层夹持基材的构成，从而能够实现非常优异的加热时的热收缩率。需要说明的是，热收缩率可以依据JISK7133进行测定。层叠薄膜在95℃下加热1000小时后的透湿度优选为3.0×10-2g/m2/24hr以下、更优选为2.0×10-2g/m2/24hr以下、进一步优选为1.0×10-2g/m2/24hr以下。通过采用由2个硬涂层夹持基材的构成，从而基材的热收缩得以抑制，因此，如上所述那样，层叠薄膜整体的加热时的热收缩非常优异(非常小)。其结果，能够良好地防止加热环境下的基材的收缩导致的第1和/或第2氧化物层的裂纹，能够实现这样的加热后的透湿度。需要说明的是，层叠薄膜具有即使在95℃下加热优选500小时、更优选600小时、进一步优选700小时，透湿度也不足1.0×10-1g/m2/24hr这样的耐热性。层叠薄膜的可见光(例如波长550nm的光)的总透光率优选为84％以上、更优选为87％以上、进一步优选为90％以上。根据本专利技术，通过采用包含ZnO、Al及SiO2的第1氧化物层(以下有时称为AZO膜)与由SiO2构成的第2氧化物层的层叠结构，从而即使厚度比单独的AZO膜厚，与AZO膜单独的构成相比也能够增大透明性。其结果，层叠薄膜不损害可视性，因此可以非常适合地作为图像显示装置的阻隔薄膜使用。层叠薄膜优选具有耐化学药品性。更详细而言，层叠薄膜优选具有耐酸性及耐碱性。本说明书中，“耐酸性”是指，将2％的盐酸溶液(pH0.3)滴加至层叠薄膜，在10分钟后擦去盐酸溶液后的透湿度为不足1.0×10-1g/m2/24hr。另外，“耐碱性”是指，将2％的氢氧化钠溶液(pH13.7)滴加至层叠薄膜，在10分钟后擦去氢氧化钠溶液后的透湿度为不足1.0×10-1g/m2/24hr。本专利技术的成果之一在于，维持如上所述那样的期望的阻隔性及透明性，并且实现这样的优异的耐化学药品性。层叠薄膜具有即使以优选曲率半径7mm、更优选曲率半径5mm弯曲也不产生破裂及裂纹这样的弯曲性。通过采用上述规定的第1氧化物层与第2氧化物层的层叠结构，从而能够兼顾优异的耐化学药品性和优异的弯曲性及耐热性(后述)。1个实施方式中，本专利技术的层叠薄膜为长条状。长条状的层叠薄膜例如可以卷绕成卷状而进行保管和/或运输。层叠薄膜的弯曲性优异，因此即使卷绕成卷状也不会产生不良情况。以下，对层叠薄膜的构成要素进行说明。B.基材基材10优选为透明的。基材的可见光(例如波本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种层叠薄膜，其依次具有：第1硬涂层；基材；第2硬涂层；包含ZnO、Al及SiO2的第1氧化物层；以及由SiO2构成的第2氧化物层。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.01.29 JP 2016-0165261.一种层叠薄膜，其依次具有：第1硬涂层；基材；第2硬涂层；包含ZnO、Al及SiO2的第1氧化物层；以及由SiO2构成的第2氧化物层。2.根据权利要求1所述的层...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫本幸大，梨木智刚，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP