一种工业硅片材料生产的抛光装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种工业硅片材料生产的抛光装置，包括立柱、U形支架、柜体、电机安装室、干燥室和工作台，所述柜体内设置有干燥室和电机安装室，所述电机安装室内通过安装座安装有二号电动机，所述二号电动机的输出轴连接二号转动轴，且二号转动轴上设置有下抛光轮，所述下抛光轮位于工作台顶部的预留孔内，且工作台位于柜体的顶部，所述下抛光轮上设置有圆形凹槽，所述工作台的一侧设置有立柱，所述立柱上设置有滑轨，且滑轨内设置有滑块，所述滑块上固定连接有U形支架，所述U形支架的一侧通过安装架固定安装有一号电动机。本发明专利技术结构简单，便于操作，既提高了生产的效率，又提高了抛光片的成品率。

【技术实现步骤摘要】
一种工业硅片材料生产的抛光装置
本专利技术涉及机械产品加工
，特别涉及一种工业硅片材料生产的抛光装置。
技术介绍
工业半导体硅片是现代超大规模集成电路的主要衬底材料，一般通过拉晶、切片、倒角、磨片、腐蚀、抛光和清洗等工艺过程制造而成的集成电路级半导体硅片，但现有的抛光装置，很容易造成硅片变形，并且工作效率低。为此，我们提出一种工业硅片材料生产的抛光装置。
技术实现思路
（一）要解决的技术问题为了克服现有技术不足，现提出一种工业硅片材料生产的抛光装置，可以有效解决现有的抛光装置，很容易造成硅片变形，并且工作效率低的问题。（二）技术方案本专利技术通过如下技术方案实现：本专利技术提出了一种工业硅片材料生产的抛光装置，包括立柱、U形支架、柜体、电机安装室、干燥室和工作台，所述柜体内设置有干燥室和电机安装室，所述电机安装室内通过安装座安装有二号电动机，所述二号电动机的输出轴连接二号转动轴，且二号转动轴上设置有下抛光轮，所述下抛光轮位于工作台顶部的预留孔内，且工作台位于柜体的顶部，所述下抛光轮上设置有圆形凹槽，所述工作台的一侧设置有立柱，所述立柱上设置有滑轨，且滑轨内设置有滑块，所述滑块上固定连接有U形支架，所述U形支架的一侧通过安装架固定安装有一号电动机。进一步地，所述干燥室内壁上设置有电加热陶瓷。进一步地，所述柜体的底部设置有可制动万向轮。进一步地，所述上抛光轮位于下抛光轮的正上方。进一步地，所述滑块上设置有制动螺栓。进一步地，所述一号电动机的输出轴连接一号转动轴，且一号转动轴上设置有上抛光轮。（三）有益效果本专利技术相对于现有技术，具有以下有益效果：1）、为了解决以往硅片抛光装置不便于固定硅片的问题，将硅片放置在下抛光轮上的圆形凹槽内，有效的起到限位的作用。2）、为了解决以往的抛光多采用人工的方法，造成打磨效率低的问题，通过滑轨和滑块使U形支架带动一号电动机向下滑动，使上抛光轮压在圆形凹槽内的硅片上，通过制动螺栓便于制动滑块，通过一号电动机和二号电动机分别带动一号转动轴和二号转动轴快速转动，使上抛光轮和下抛光轮快速转动，对硅片的正反面进行快速抛光，提高抛光效率。3）、为了解决硅片被夹持变形的问题，通过放置在圆形凹槽内，进行水平打磨，避免了硅片在垂直打磨的情况下造成变形。4）、为了解决以往无法干燥的问题，通过柜体上的干燥室可以对抛光清洗后的硅片，进行快速干燥，便于存放。附图说明图1为本专利技术一种工业硅片材料生产的抛光装置的整体结构示意图。图2为本专利技术一种工业硅片材料生产的抛光装置的二号转动轴结构示意图。图3为本专利技术一种工业硅片材料生产的抛光装置的电加热陶瓷结构示意图。图中：1-立柱；2-滑轨；3-制动螺栓；4-滑块；5-U形支架；6-圆形凹槽；7-下抛光轮；8-二号转动轴；9-二号电动机；10-柜体；11-电机安装室；12-可制动万向轮；13-干燥室；14-电加热陶瓷；15-工作台；16-上抛光轮；17-一号转动轴；18-一号电动机；19-预留孔。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。如图1-3所示，一种工业硅片材料生产的抛光装置，包括立柱1、U形支架5、柜体10、电机安装室11、干燥室13和工作台15，所述柜体10内设置有干燥室13和电机安装室11，所述电机安装室11内通过安装座安装有二号电动机9，所述二号电动机9的输出轴连接二号转动轴8，且二号转动轴8上设置有下抛光轮7，所述下抛光轮7位于工作台15顶部的预留孔19内，且工作台15位于柜体10的顶部，所述下抛光轮7上设置有圆形凹槽6，所述工作台15的一侧设置有立柱1，所述立柱1上设置有滑轨2，且滑轨2内设置有滑块4，所述滑块4上固定连接有U形支架5，所述U形支架5的一侧通过安装架固定安装有一号电动机18。其中，所述干燥室13内壁上设置有电加热陶瓷14，通过电加热陶瓷14对干燥室13内进行加热，可以对抛光清洗后的硅片，进行快速干燥。其中，所述柜体10的底部设置有可制动万向轮12，通过可制动万向轮12使整体装置便于移动。其中，所述上抛光轮16位于下抛光轮7的正上方。其中，所述滑块4上设置有制动螺栓3，通过制动螺栓3便于固定滑块4。其中，所述一号电动机18的输出轴连接一号转动轴17，且一号转动轴17上设置有上抛光轮16，通过一号电动机18带动抛光轮16转动。需要说明的是，本专利技术为一种工业硅片材料生产的抛光装置，工作时，将硅片放置在下抛光轮7上的圆形凹槽6内，通过滑轨2和滑块4使U形支架5带动一号电动机18向下滑动，使上抛光轮16压在圆形凹槽6内的硅片上，通过制动螺栓3便于制动滑块4，通过一号电动机18和二号电动机9分别带动一号转动轴17和二号转动轴8快速转动，使上抛光轮16和下抛光轮7快速转动，对硅片的正反面进行快速抛光，提高抛光效率，并且避免了硅片在垂直打磨的情况下造成变形，通过柜体10上的干燥室13可以对抛光清洗后的硅片，进行快速干燥，便于存放。上面所述的实施例仅仅是对本专利技术的优选实施方式进行描述，并非对本专利技术的构思和范围进行限定。在不脱离本专利技术设计构思的前提下，本领域普通人员对本专利技术的技术方案做出的各种变型和改进，均应落入到本专利技术的保护范围，本专利技术请求保护的
技术实现思路
，已经全部记载在权利要求书中。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种工业硅片材料生产的抛光装置，包括立柱（1）、U形支架（5）、柜体（10）、电机安装室（11）、干燥室（13）和工作台（15），其特征在于：所述柜体（10）内设置有干燥室（13）和电机安装室（11），所述电机安装室（11）内通过安装座安装有二号电动机（9），所述二号电动机（9）的输出轴连接二号转动轴（8），且二号转动轴（8）上设置有下抛光轮（7），所述下抛光轮（7）位于工作台（15）顶部的预留孔（19）内，且工作台（15）位于柜体（10）的顶部，所述下抛光轮（7）上设置有圆形凹槽（6），所述工作台（15）的一侧设置有立柱（1），所述立柱（1）上设置有滑轨（2），且滑轨（2）内设置有滑块（4），所述滑块（4）上固定连接有U形支架（5），所述U形支架（5）的一侧通过安装架固定安装有一号电动机（18）。

【技术特征摘要】
1.一种工业硅片材料生产的抛光装置，包括立柱（1）、U形支架（5）、柜体（10）、电机安装室（11）、干燥室（13）和工作台（15），其特征在于：所述柜体（10）内设置有干燥室（13）和电机安装室（11），所述电机安装室（11）内通过安装座安装有二号电动机（9），所述二号电动机（9）的输出轴连接二号转动轴（8），且二号转动轴（8）上设置有下抛光轮（7），所述下抛光轮（7）位于工作台（15）顶部的预留孔（19）内，且工作台（15）位于柜体（10）的顶部，所述下抛光轮（7）上设置有圆形凹槽（6），所述工作台（15）的一侧设置有立柱（1），所述立柱（1）上设置有滑轨（2），且滑轨（2）内设置有滑块（4），所述滑块（4）上固定连接有U形支架（5），所述U形支架（5）的...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁茂明，
申请(专利权)人：丁茂明，
类型：发明
国别省市：江苏,32