双工器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种双工器。该双工器包括：衬底、第一电极、压电层、第二电极，其中，第一电极，位于衬底上，第一电极的一部分与衬底之间具有声波谐振部；压电层，位于第一电极上；第二电极的一部分位于压电层上，第二电极的再一部分位于第一电极上；声波谐振部、第一电极、压电层、第二电极位于压电层上的一部分构成至少一个薄膜体声波谐振器；第一电极和第二电极位于第一电极上的再一部分构成至少一个声表面波谐振器。通过本实用新型专利技术，解决了相关技术中具有差分输出的体声波双工器的制作工艺复杂的问题。

【技术实现步骤摘要】
双工器
本技术涉及电子通信技术器件领域，具体而言，涉及一种双工器。
技术介绍
压电双工器是手持移动通信产品的重要组成部分之一。目前，手持移动通信产品主要采用基于压电材料制作的双工器，如体声波双工器。在现代收发器设计中，接收端口常采用差分的形式，从而更好的抑制共模噪声，获得更好的接收灵敏度。图1是现有技术中的由两个体声波滤波器组成的双工器的示意图，接收滤波器100采用差分输出的形式。每个滤波器由三个串联谐振器和三个并联谐振器组成。如图1所示，接收滤波器100由串联谐振器111、112、113和并联谐振器121、122、123组成。其中，串联谐振器和并联谐振器可以采用薄膜体声波谐振器(FBAR)、固态装配谐振器(SMR)。此外，滤波器100还包括接地的电感103、104、105，其中，该电感103、104、105分别与并联谐振器121、122、123相连接，这些接地的电感可以与并联谐振器121、122、123形成传输零点，从而提高滤波器100的阻带抑制。其中接收滤波器连接了一个巴伦(Balun)，以实现滤波器单端到差分的转换。巴伦可以采用变压器、L-C/C-L阻抗变换器等多种实现形式。随着移动手持设备不断朝小型化和轻薄化方向发展，对所使用的双工器的尺寸有着越来约小的要求，在体声波滤波器中额外引入巴伦会直接影响到双工器芯片的尺寸，同时巴伦也会增加双工器的插入损耗。体声波双工器实现差分输出的另一种方案是接收滤波器采用耦合谐振滤波器(CRF)，结构如图2所示。图3是现有技术的一种耦合谐振滤波器(CRF)的横截面的示意图，如图3所示，耦合谐振滤波器有两个体声波谐振器上下堆叠而成，两个谐振器之间有耦合层隔离。因为耦合谐振滤波器是由两个体声波滤波器堆叠在一起，同时要保证两个谐振器的一致性，因此耦合谐振滤波器(CRF)的需要的光刻次数很多，制造工艺非常复杂。针对相关技术中具有差分输出的体声波双工器的制作工艺复杂的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种双工器，以解决相关技术中双工器的制作工艺复杂的问题。为了实现上述目的，根据本技术的一个方面，提供了一种双工器，该双工器包括：衬底、第一电极、压电层、第二电极，其中，所述第一电极，位于所述衬底上，所述第一电极的一部分与所述衬底之间具有声波谐振部；所述压电层，位于所述第一电极上；所述第二电极的一部分位于所述压电层上，所述第二电极的再一部分位于所述第一电极上；所述声波谐振部、所述第一电极、所述压电层、所述第二电极位于所述压电层上的一部分构成至少一个薄膜体声波谐振器；所述第一电极和所述第二电极位于所述第一电极上的再一部分构成至少一个声表面波谐振器。进一步地，所述衬底具有凹槽，所述第一电极的一部分覆盖所述凹槽形成空腔，所述空腔作为所述声波谐振部。进一步地，该双工器还包括：位于所述衬底和所述第一电极之间的声学反射镜，其中，所述声学反射镜为所述声波谐振部。进一步地，所述声学反射镜包括至少两层声阻抗材料。进一步地，所述至少两层声阻抗材料为第一声阻抗材料和第二声阻抗材料交替构成，其中，所述第一声阻抗材料的声阻抗小于所述第二声阻抗材料。进一步地，所述第一电极构成所述声表面波谐振器的叉指换能器和反射栅，所述第二电极位于所述第一电极上的再一部分构成所述声表面波谐振器的电学连接层。进一步地，所述第一电极在所述衬底上间隔设置的部分构成所述声表面谐振器的叉指换能器和反射栅。进一步地，所述第一电极和所述第二电极的材料为以下至少之一：钼、钨、铝；和/或，所述压电层的材料为以下至少之一：氮化铝、氧化锌、PZT；和/或，所述衬底的材料包括以下至少之一：LiTaO3、LiNbO3。进一步地，所述至少一个薄膜体声波谐振器组成发送滤波器；所述至少一个声表面波谐振器构成接收滤波器。进一步地，所述接收滤波器包括至少两个极性相反的叉指换能器。本技术通过衬底、第一电极、压电层、第二电极，其中，第一电极，位于衬底上，第一电极的一部分与衬底之间具有声波谐振部；压电层，位于第一电极上；第二电极的一部分位于压电层上，第二电极的再一部分位于第一电极上；声波谐振部、第一电极、压电层、第二电极位于压电层上的一部分构成至少一个薄膜体声波谐振器；第一电极和第二电极位于第一电极上的再一部分构成至少一个声表面波谐振器，解决了具有差分输出的体声波双工器的制作工艺复杂的问题，进而达到了简化双工器的制作工艺的效果。附图说明构成本申请的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1是现有技术中的由两个体声波滤波器组成的双工器的示意图；图2是现有技术中的另一种由两个体声波滤波器组成的双工器的示意图；图3是现有技术的一种耦合谐振滤波器(CRF)的横截面示意图；图4是根据本技术第一实施例的双工器的子器件的横截面的示意图；图5是根据本技术第二实施例的双工器的子器件的横截面的示意图；图6是根据本技术第一实施例的双工器的示意图；图7是根据本技术另一个实施例的双工器的示意图；以及图8是根据本技术又一个实施例的双工器的示意图。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。为了使本
的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。本技术实施例提供了一种双工器，该双工器包括：衬底、第一电极、压电层、第二电极，其中，第一电极，位于衬底上，第一电极的一部分与衬底之间具有声波谐振部；压电层，位于第一电极上；第二电极的一部分位于压电层上，第二电极的再一部分位于第一电极上；声波谐振部、第一电极、压电层、第二电极位于压电层上的一部分构成至少一个薄膜体声波谐振器；第一电极和第二电极位于第一电极上的再一部分构成至少一个声表面波谐振器。图4是根据本技术第一实施例的双工器的子器件的横截面的示意图，双工器可以是压电双工器，例如，差分输出压电双工器，如图4所示，该双工器的衬底可以是压电衬底401，第一电极412与压电衬底401之间有空腔411，空腔可以通过在压电衬底上刻蚀的方式形成的，衬底具有凹槽，第一电极的一部分覆盖凹槽形成空腔，空腔作为声波谐振部。第一电极构成声表面波谐振器的叉指换能器和反射栅，第一电极在衬底上间隔本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双工器，其特征在于，包括：衬底、第一电极、压电层、第二电极，其中，所述第一电极，位于所述衬底上，所述第一电极的一部分与所述衬底之间具有声波谐振部；所述压电层，位于所述第一电极上；所述第二电极的一部分位于所述压电层上，所述第二电极的再一部分位于所述第一电极上；所述声波谐振部、所述第一电极、所述压电层、所述第二电极位于所述压电层上的一部分构成至少一个薄膜体声波谐振器；所述第一电极和所述第二电极位于所述第一电极上的再一部分构成至少一个声表面波谐振器。

【技术特征摘要】
1.一种双工器，其特征在于，包括：衬底、第一电极、压电层、第二电极，其中，所述第一电极，位于所述衬底上，所述第一电极的一部分与所述衬底之间具有声波谐振部；所述压电层，位于所述第一电极上；所述第二电极的一部分位于所述压电层上，所述第二电极的再一部分位于所述第一电极上；所述声波谐振部、所述第一电极、所述压电层、所述第二电极位于所述压电层上的一部分构成至少一个薄膜体声波谐振器；所述第一电极和所述第二电极位于所述第一电极上的再一部分构成至少一个声表面波谐振器。2.根据权利要求1所述的双工器，其特征在于，所述衬底具有凹槽，所述第一电极的一部分覆盖所述凹槽形成空腔，所述空腔作为所述声波谐振部。3.根据权利要求1所述的双工器，其特征在于，还包括：位于所述衬底和所述第一电极之间的声学反射镜，其中，所述声学反射镜为所述声波谐振部。4.根据权利要求3所述的双工...

【专利技术属性】
技术研发人员：周冲，周文喜，
申请(专利权)人：湖北宙讯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北,42