一种基板夹紧定位机构及基板检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基板夹紧定位机构，利用两个固定组前后夹紧单元和两个活动组前后夹紧单元可在面板水平放置后，将面板在前后方向进行夹紧定位，利用两个固定组靠位单元和两个活动组靠位单元，可将面板在左右方向进行夹紧定位，利用升降夹紧单元可将定位好的面板进行夹紧，如此，在翻转面板时，面板不会从水平方向滑出，且翻转后便于相机对面板拍照找原点。

A substrate clamping and positioning mechanism and a substrate detecting device

The invention discloses a clamping and positioning mechanism for a substrate. After the panel is placed horizontally, the panel can be clamped and positioned in the front and back directions by using two front and back clamping units of two fixed groups and two front and back clamping units of two moving groups. The panel can be moved in the left and right directions by using two fixed group clamping units and two moving group clamping units. Line clamping positioning, the use of lifting clamping unit can be positioned to clamp the panel, so that when the panel flips, the panel will not slide out of the horizontal direction, and after flipping, it is easy for the camera to take photos of the face to find the origin.

【技术实现步骤摘要】
一种基板夹紧定位机构及基板检测装置
本专利技术涉及基板的检测
，尤其涉及一种基板夹紧定位机构及基板检测装置。
技术介绍
在光罩等基板的制造过程中，通常需要将其放置于宏观检查设备上进行宏观检测，以检查面板或基板上是否存在缺陷。现有的光罩等基板的宏观检查设备的夹持机构，只能简单的实现垂直方向的夹紧。在检查过程中，需要将基板夹紧后要进行翻转和拍照定位等动作，以检查不同位置及不同角度的基板缺陷。而采用现有的夹持机构在翻转过程中稍有不慎基板就会从水平方向滑出，造成破片。另外拍照定位实现的前提是相机能够找到基板的原点。现有的夹持机构由于基板每次放置时，每片基板的放置位置都会有偏差，且不能对基板的位置进行调整并准确定位，因此拍照定位功能并不能实现。有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种基板夹紧定位机构及基板检测装置，使其更具有产业上的利用价值。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提出一种基板夹紧定位机构及基板检测装置，能够稳定地夹紧面板，避免其在翻转过程中滑出，且在夹紧面板时能够精确的对面板进行定位，以便后续对面板拍照定位。为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：一种基板夹紧定位机构，包括框架、设置在所述框架上的夹紧组件和定位组件，其中，所述框架具有相对的两个侧板；所述夹紧组件包括两组升降夹紧单元，两组所述升降夹紧单元分别设置在两个所述侧板上且相对，两组所述升降夹紧单元能够夹紧所述面板相对的两端；所述定位组件包括：两个固定组前后夹紧单元，两个所述固定组前后夹紧单元分别相对的设置在两个所述侧板上并位于所述夹紧组件一侧；两个活动组前后夹紧单元，两个所述活动组前后夹紧单元分别相对的设置在两个所述侧板上并位于所述夹紧组件另一侧；且两个所述固定组前后夹紧单元与两个所述活动组前后夹紧单元能够分别抵靠所述面板相平行的两个侧边的两个端部上。进一步的，所述基板夹紧定位机构还包括：两个固定组靠位单元，两个所述固定组靠位单元设置在其中一个所述侧板上并分别位于所述固定组前后夹紧单元与所述活动组前后夹紧单元下方；两个活动组靠位单元，两个所述活动组靠位单元设置在另外一个所述侧板上并分别位于所述固定组前后夹紧单元与所述活动组前后夹紧单元下方；且两个所述固定组靠位单元与两个所述活动组靠位单元能够分别抵靠所述面板相平行的另外两个侧边的两个端部上。进一步的，每组所述升降夹紧单元均包括相对设置的下压板和上压板，所述下压板和所述上压板能够做升降运动及沿垂直于所述侧板的方向运动。进一步的，所述下压板和所述上压板均连接有驱动其沿垂直于所述侧板的方向运动的第一气缸，所述第一气缸上安装有第一支撑座，所述第一支撑座上连接有驱动其升降的第二气缸，所述第二气缸安装在所述侧板上。进一步的，所述固定组前后夹紧单元包括第一挡臂、驱动所述第一挡臂沿所述侧板水平移动的第三气缸，所述第三气缸安装在所述侧板上的第二支撑座上，且所述第三气缸上设有限制其相对所述第二支撑座移动的第一紧固装置。进一步的，所述活动组前后夹紧单元包括第二挡臂、驱动所述第二挡臂沿所述侧板水平移动的第四气缸，所述第四气缸安装在所述侧板上的第三支撑座上，且所述第四气缸上设有能够使其相对与所述第三支撑座移动的第一缓冲弹簧装置。进一步的，所述固定组靠位单元包括竖直设置的第一挡杆、驱动所述第一挡杆沿垂直于所述侧板的方向运动的第五气缸、安装所述第五气缸的第一安装座，所述第一安装座安装在所述侧板上的第四支撑座上，且所述第一安装座上设有限制其相对所述第四支撑座移动的第二紧固装置。进一步的，所述活动组靠位单元包括竖直设置的第二挡杆、驱动所述第二挡杆沿垂直于所述侧板的方向运动的第六气缸、安装所述第六气缸的第二安装座，所述第二安装座安装在所述侧板上的第五支撑座上，且所述第二安装座上设有能够使其相对所述第五支撑座移动的第二缓冲弹簧装置。本专利技术的基板宏观检查装置，包括支撑座以及旋转机构，所述旋转机构设置于所述支撑座上，还包含上述的基板夹紧定位机构，所述基板夹紧定位机构通过所述旋转机构固定于所述支撑座上，并可在所述旋转机构的带动下绕水平轴向旋转。进一步的，基板宏观检查装置还包含机架和自动光学检测单元，所述自动光学检测单元设置于所述机架上，且可在垂直方向和水平方向实现线性移动。本专利技术的有益效果为：利用两个固定组前后夹紧单元和两个活动组前后夹紧单元可在面板水平放置后，将面板在前后方向进行夹紧定位，利用两个固定组靠位单元和两个活动组靠位单元，可将面板在左右方向进行夹紧定位，利用升降夹紧单元可将定位好的面板进行夹紧，如此，在翻转面板时，面板不会从水平方向滑出，且翻转后便于相机对面板拍照找原点。附图说明图1是本专利技术具体实施方式提供的基板夹紧定位机构的结构示意图；图2是本专利技术具体实施方式提供的基板夹紧定位机构的另一角度的结构示意图；图3是本专利技术具体实施方式提供的基板夹紧定位机构中的升降夹紧单元的结构示意图；图4是本专利技术具体实施方式提供的基板夹紧定位机构中的固定组前后夹紧单元的结构示意图；图5是本专利技术具体实施方式提供的基板夹紧定位机构中的活动组前后夹紧单元的结构示意图；图6是本专利技术具体实施方式提供的基板夹紧定位机构中的固定组靠位单元的结构示意图；图7是本专利技术具体实施方式提供的基板夹紧定位机构中的活动组靠位单元的结构示意图；图8是本专利技术具体实施方式提供的基板宏观检查装置中的部分示意图；图9是本专利技术具体实施方式提供的基板宏观检查装置的整体结构示意图。图中：100-基板夹紧定位机构，10-侧板，20-升降夹紧单元，21-下压板，22-上压板，23-第一气缸，24-第一支撑座，25-第二气缸，26-软垫，30-固定组前后夹紧单元，31-第一挡臂，32-第三气缸，33-第二支撑座，34-第一紧固装置，35-缓冲垫，40-活动组前后夹紧单元，41-第二挡臂，42-第四气缸，43-第三支撑座，44-第一缓冲弹簧装置，45-缓冲垫，50-固定组靠位单元，51-第一挡杆，52-第五气缸，53-第一安装座，54-第四支撑座，55-第二紧固装置，56-橡胶滚轮，60-活动组靠位单元，61-第二挡杆，62-第六气缸，63-第二安装座，64-第五支撑座，65-第二缓冲弹簧装置，66-橡胶滚轮，70-面板，200-支撑座，300-旋转机构，400-机架，500-自动光学检测装置。具体实施方式下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本专利技术的技术方案。如图1至2所示，本专利技术的基板夹紧定位机构包括框架、设置在框架上的夹紧组件和定位组件，其中，框架具有相对的两个侧板10；夹紧组件包括两组升降夹紧单元20，两组升降夹紧单元20分别设置在两个侧板10上且相对，两组升降夹紧单元20能够夹紧面板70相对的两端；定位组件包括两个固定组前后夹紧单元30、两个活动组前后夹紧单元40、两个固定组靠位单元50和两个活动组靠位单元60，两个固定组前后夹紧单元30分别相对的设置在两个侧板10上并位于夹紧组件一侧；两个活动组前后夹紧单元40分别相对的设置在两个侧板10上并位于夹紧组件另一侧，且两个固定组前后夹紧单元30与两个活动组前后夹紧单元40能够分别抵靠面板70相平行的两个侧边的两个端部上；两个固定组靠位单元50设置在其中一个侧板10上并分别位于固定组前后夹紧单元30与活动组前后夹本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板夹紧定位机构，其特征在于，包括框架、设置在所述框架上的夹紧组件和定位组件，其中，所述框架具有相对的两个侧板；所述夹紧组件包括两组升降夹紧单元，两组所述升降夹紧单元分别设置在两个所述侧板上且相对，两组所述升降夹紧单元能够夹紧所述面板相对的两端；所述定位组件包括：两个固定组前后夹紧单元，两个所述固定组前后夹紧单元分别相对的设置在两个所述侧板上并位于所述夹紧组件一侧；两个活动组前后夹紧单元，两个所述活动组前后夹紧单元分别相对的设置在两个所述侧板上并位于所述夹紧组件另一侧；且两个所述固定组前后夹紧单元与两个所述活动组前后夹紧单元能够分别抵靠所述面板相平行的两个侧边的两个端部上。

【技术特征摘要】
1.一种基板夹紧定位机构，其特征在于，包括框架、设置在所述框架上的夹紧组件和定位组件，其中，所述框架具有相对的两个侧板；所述夹紧组件包括两组升降夹紧单元，两组所述升降夹紧单元分别设置在两个所述侧板上且相对，两组所述升降夹紧单元能够夹紧所述面板相对的两端；所述定位组件包括：两个固定组前后夹紧单元，两个所述固定组前后夹紧单元分别相对的设置在两个所述侧板上并位于所述夹紧组件一侧；两个活动组前后夹紧单元，两个所述活动组前后夹紧单元分别相对的设置在两个所述侧板上并位于所述夹紧组件另一侧；且两个所述固定组前后夹紧单元与两个所述活动组前后夹紧单元能够分别抵靠所述面板相平行的两个侧边的两个端部上。2.根据权利要求1所述的基板夹紧定位机构，其特征在于，所述基板夹紧定位机构还包括：两个固定组靠位单元，两个所述固定组靠位单元设置在其中一个所述侧板上并分别位于所述固定组前后夹紧单元与所述活动组前后夹紧单元下方；两个活动组靠位单元，两个所述活动组靠位单元设置在另外一个所述侧板上并分别位于所述固定组前后夹紧单元与所述活动组前后夹紧单元下方；且两个所述固定组靠位单元与两个所述活动组靠位单元能够分别抵靠所述面板相平行的另外两个侧边的两个端部上。3.根据权利要求1或2所述的基板夹紧定位机构，其特征在于，每组所述升降夹紧单元均包括相对设置的下压板和上压板，所述下压板和所述上压板能够做升降运动及沿垂直于所述侧板的方向运动。4.根据权利要求3所述的基板夹紧定位机构，其特征在于，所述下压板和所述上压板均连接有驱动其沿垂直于所述侧板的方向运动的第一气缸，所述第一气缸上安装有第一支撑座，所述第一支撑座上连接有驱动其升降的第二气缸，所述第二气缸安装在所述侧板上。5.根据权利要求2所述的基板...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨云仙，郭连俊，杨慎东，
申请(专利权)人：苏州精濑光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32