带水冷的旋转下降装置及具有该装置的晶体生长装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术技术方案公开了一种带水冷的旋转下降装置，包括支架、水冷杆、旋转装置、真空加热装置、设于所述支架上的线性导轨、设于所述线性导轨上的线性导轨滑块、设于所述支架上的升降装置及设于所述真空加热装置内的工件，所述水冷杆的一端固定于所述升降装置，另一端伸入所述真空加热装置并支撑所述工件，所述升降装置与所述线性导轨通过所述线性导轨滑块相连，所述升降装置带动所述水冷杆沿所述线性导轨上下滑动，所述旋转装置与所述水冷杆相连，所述水冷杆内设有进水管道，所述水冷杆侧壁设有冷却水出口。本实用新型专利技术技术方案具有密封性能良好、晶体生长速率高、制备的晶体均匀性较好、结构简单、易于操作等优点，具有较高的应用价值。

Rotating cooling device with water cooling and crystal growth device with the device

The technical scheme of the utility model discloses a rotating descending device with water cooling, including a support, a water-cooled rod, a rotating device, a vacuum heating device, a linear guide rail arranged on the support, a linear guide slide arranged on the linear guide rail, a lifting device arranged on the support and a vacuum heating device arranged on the support. One end of the water-cooled rod is fixed to the lifting device, the other end is extended into the vacuum heating device and supports the workpiece. The lifting device is connected with the linear guide rail through the linear guide rail slider. The lifting device drives the water-cooled rod to slide up and down along the linear guide rail, and the rotation is described. The device is connected with the water-cooling rod, the water-cooling rod is provided with an inlet pipe, and the side wall of the water-cooling rod is provided with a cooling water outlet. The technical scheme of the utility model has the advantages of good sealing performance, high crystal growth rate, good crystal uniformity, simple structure and easy operation, etc., and has high application value.

【技术实现步骤摘要】
带水冷的旋转下降装置及具有该装置的晶体生长装置
本技术涉及结晶设备领域，尤其涉及一种带水冷的旋转下降装置及具有该装置的晶体生长装置。
技术介绍
晶体材料是二十一世纪高科技领域应用中最热门的材料之一。目前针对不同的晶体，通常都有多种生长工艺和方法可供选择，根据生长原理大致可以分为气相法，溶液法，熔体法，外延法等，应用比较广泛和成熟的是熔体生长法，比较典型的熔体生长技术主要包括提拉法(CZ)，泡生法(Ky)，定向凝固法(DS)，区熔法(FZ)，坩埚下降法(VGF)，热交换法(HEM)等，由于晶体提拉法制备结晶时具有可以直接进行测试与观察，便于控制生长条件、晶体生长速度较快、晶体光学均匀性高等优点，所以广泛被运用。然而，使用现有的装置在制备晶体时，晶体的生长速度慢，所制得的晶体均匀性还有待提升。
技术实现思路
本技术技术方案所要解决的技术问题是晶体生长速度慢、均匀性差。为解决上述技术问题，本技术技术方案提供了一种带水冷的旋转下降装置，包括支架、水冷杆、旋转装置、真空加热装置、设于所述支架上的线性导轨、设于所述线性导轨上的线性导轨滑块、设于所述支架上的升降装置及设于所述真空加热装置内的工件，所述水冷杆的一端固定于所述升降装置，另一端伸入所述真空加热装置并支撑所述工件，所述升降装置与所述线性导轨通过所述线性导轨滑块相连，所述升降装置带动所述水冷杆沿所述线性导轨上下滑动，所述旋转装置与所述水冷杆相连，所述水冷杆内设有进水管道，所述水冷杆侧壁设有冷却水出口。可选的，所述升降装置包括带有丝杆螺母的滚珠丝杆升降机和连接安装板，所述滚珠丝杆升降机设于所述支架上，所述连接安装板连接所述线性导轨滑块与所述丝杆螺母。可选的，所述水冷杆上设有磁流体，所述磁流体连接所述连接安装板与所述水冷杆。可选的，所述旋转装置包括旋转电机与旋转传动装置，所述旋转电机通过所述旋转传动装置带动所述水冷杆旋转。可选的，所述旋转传动装置包括两个带轮与皮带，所述带轮一个设于所述旋转电机的电机轴上，另一个设于所述水冷杆上，所述皮带环绕两个带轮。可选的，所述水冷杆外套设有用于密封的波纹管。可选的，所述冷却水出口采用旋转接头。为解决上述技术问题，本技术技术方案还提供了一种晶体生长装置，包括上述的带水冷的旋转下降装置。与现有技术相比，本技术的技术方案具有以下优点：水冷杆上连接旋转装置，工件随水冷杆下降的同时进行旋转，能够加速晶体生长，同时提高晶体的均匀性；采用波纹管与磁流体对水冷杆进行密封，增加了整个装置的密封性能。因而，该装置密封性能良好，晶体生长速率高，制备的晶体均匀性较好，结构简单，易于操作，具有较高的应用价值。附图说明图1为本技术实施例的带水冷的旋转下降装置的结构示意图；图2为本技术实施例的带水冷的旋转下降装置的局部结构示意图。具体实施方式下面结合实施例对本技术技术方案进行详细说明。如图1所示，本技术的带水冷的旋转下降装置，包括支架1、线性导轨21、线性导轨滑块22、升降装置、旋转装置、水冷杆3、真空加热装置4及设于真空加热装置4内的工件5。其中，支架1采用型钢焊接而成，整体加工。线性导轨21设于支架1上，用于升降导向，线性导轨21上设有线性导轨滑块22，线性导轨滑块22可滑动地设于线性导轨21上。升降装置设于支架1上，水冷杆3的一端固定于升降装置，另一端伸入真空加热装置4内，起到支撑工件5的作用，在实际工作中，可选择真空炉作为真空加热装置4。旋转装置与水冷杆3相连，并带动水冷杆3旋转，进而带动工件5转动。为了清晰起见，请参照图2，水冷杆3内设有进水管道6，所述水冷杆3的侧壁设有冷却水出口7。冷却水通过进水管道6进入水冷杆3内，水冷杆3内是中空的，进入水冷杆3的冷却水通过水冷杆3下端的冷却水出口7排出装置外，在本实施例中，冷却水出口7采用旋转接头，冷却水的加入保证整个装置能够安全稳定的工作。在本实施例中，升降装置包括滚珠丝杆升降机81和连接安装板82，滚珠丝杆升降机81设于支架1上，通过螺栓进行固定，滚珠丝杆升降机81上设有丝杆螺母811，丝杆螺母811用于调节装置的升降。连接安装板82作为下降装置的基板，连接线性导轨滑块22与滚珠丝杆升降机81的丝杆螺母811。进一步地，水冷杆3外套设有波纹管9，水冷杆3与连接安装板82通过磁流体10连接，波纹管9与磁流体10对水冷杆3进行密封，提高了整个装置的密封性。在本实施例中，旋转装置包括旋转电机11与旋转传动装置，旋转电机11通过旋转传动装置带动水冷杆3旋转。旋转传动装置包括两个带轮121与皮带122，其中，一个带轮121设于旋转电机11的电机轴上，另一个设于水冷杆3上，皮带122环绕两个带轮121，在晶体生长过程中，旋转电机11带动水冷杆3进行旋转，水冷杆3带着工件5一同旋转，提高了晶体的增长速率，生成的晶体均匀性较好。本技术实施例还提供了一种晶体生长装置，包括上述带水冷的旋转下降装置。本实施例的带水冷的旋转下降装置的工作原理如下：在真空加热装置4内，工件5放置于水冷杆3上，真空加热装置4对工件5进行加热，旋转电机11带动水冷杆3旋转，与此同时，丝杆螺母811做上下运动，线性滑轨滑块22与丝杆螺母811通过连接安装板82相连，线性滑轨滑块22沿线性滑轨21随丝杆螺母811作上下滑动，起到导向作用。连接安装板82随丝杆螺母811做上下运动，与连接安装板82固定的水冷杆3也实现了上下移动的功能，从而使得工件5的各个部位可以随意进行加热。结晶结束后，将工件5移出真空加热装置4，进行装料或加料，装料或加料完成后，将工件5置入真空加热装置4，再开始进行加热工作。以上详细描述了本技术的具体实施例，应当理解，本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本技术的构思作出诸多修改和变化。因此，凡本
中技术人员依本技术的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带水冷的旋转下降装置，其特征在于，包括支架、水冷杆、旋转装置、真空加热装置、设于所述支架上的线性导轨、设于所述线性导轨上的线性导轨滑块、设于所述支架上的升降装置及设于所述真空加热装置内的工件，所述水冷杆的一端固定于所述升降装置，另一端伸入所述真空加热装置并支撑所述工件，所述升降装置与所述线性导轨通过所述线性导轨滑块相连，所述升降装置带动所述水冷杆沿所述线性导轨上下滑动，所述旋转装置与所述水冷杆相连，所述水冷杆内设有进水管道，所述水冷杆侧壁设有冷却水出口。

【技术特征摘要】
1.一种带水冷的旋转下降装置，其特征在于，包括支架、水冷杆、旋转装置、真空加热装置、设于所述支架上的线性导轨、设于所述线性导轨上的线性导轨滑块、设于所述支架上的升降装置及设于所述真空加热装置内的工件，所述水冷杆的一端固定于所述升降装置，另一端伸入所述真空加热装置并支撑所述工件，所述升降装置与所述线性导轨通过所述线性导轨滑块相连，所述升降装置带动所述水冷杆沿所述线性导轨上下滑动，所述旋转装置与所述水冷杆相连，所述水冷杆内设有进水管道，所述水冷杆侧壁设有冷却水出口。2.如权利要求1所述的带水冷的旋转下降装置，其特征在于，所述升降装置包括带有丝杆螺母的滚珠丝杆升降机和连接安装板，所述滚珠丝杆升降机设于所述支架上，所述连接安装板连接所述线性导轨滑块与所述丝杆螺母。3.如权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈彭平，柯金伟，任雄，
申请(专利权)人：上海煜志机电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31