一种钟罩封头、钟罩以及还原炉制造技术

一种钟罩封头，其包括封头主体，封头主体包括间隔设置的封头内壁和封头外壁，封头内壁的内侧形成第一容纳腔，封头内壁和封头外壁之间的空腔形成第一冷却通道；封头主体开设有至少一个排气口以及至少一个冷却介质出口，排气口与第一容纳腔连通，冷却介质出口与第一冷却通道连通。一种钟罩，其包括罩体以及上述钟罩封头，罩体的内部具有第二容纳腔，第二容纳腔与第一容纳腔连通。一种还原炉，其包括底盘以及上述钟罩，钟罩安装至底盘。其改善了还原炉的流场和温度场，硅棒上部及横梁的晶体硅光滑且质密。

【技术实现步骤摘要】
一种钟罩封头、钟罩以及还原炉
本技术涉及晶体硅生长还原炉，具体而言，涉及一种钟罩封头、钟罩以及还原炉。
技术介绍
钟罩式还原炉是改良西门子法和硅烷(SiH4)法制备晶体硅工艺的核心设备，钟罩式还原炉包括钟罩、底盘、电极和硅棒，还原炉的工作原理是通过硅芯电阻性发热，使原料气体在炽热的硅芯表面发生化学气相沉积反应生成晶体硅，产品硅最终以棒状形式从还原炉采出。现有技术的缺陷在于，硅棒上部及横梁的表观形貌差。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种钟罩封头，其硅棒上部及横梁的晶体硅光滑且质密。本技术的另一目的在于提供一种运用上述钟罩封头的钟罩以及还原炉。本技术的实施例是这样实现的：一种钟罩封头，其包括封头主体，封头主体包括间隔设置的封头内壁和封头外壁，封头内壁的内侧形成第一容纳腔，封头内壁和封头外壁之间的空腔形成第一冷却通道；封头主体开设有至少一个排气口以及至少一个冷却介质出口，排气口与第一容纳腔连通，冷却介质出口与第一冷却通道连通。在本技术较佳的实施例中，排气口包括第一排气口，第一排气口设置于钟罩封头的轴线。在本技术较佳的实施例中，排气口还包括第二排气口，第二排气口与第一排气口间隔设置。在本技术较佳的实施例中，封头主体开设有至少三个排气口，第一排气口之外的其它排气口设置于第一排气口的周围。在本技术较佳的实施例中，第一排气口之外的其它排气口均匀间隔设置。在本技术较佳的实施例中，所有排气口均匀间隔设置。在本技术较佳的实施例中，排气口的截面形状是圆形、椭圆形、矩形、三角形或多边形。在本技术较佳的实施例中，封头主体开设有最多四个排气口。在本技术较佳的实施例中，钟罩封头还包括与排气口连通的排气管。在本技术较佳的实施例中，钟罩封头还包括与冷却介质出口连通的冷却管。在本技术较佳的实施例中，钟罩封头还包括与排气口连通的排气管；排气管的排气外壁与排气管的排气内壁之间的空腔形成第二冷却通道。在本技术较佳的实施例中，钟罩封头还包括与冷却介质出口连通的冷却管。在本技术较佳的实施例中，第一冷却通道和第二冷却通道分别单独进行冷却，或者第一冷却通道和第二冷却通道相互连通进行冷却。在本技术较佳的实施例中，冷却介质出口开设于排气管的外壁，冷却介质出口与第二冷却通道连通。在本技术较佳的实施例中，钟罩封头还包括与冷却介质出口连通的冷却管。在本技术较佳的实施例中，封头主体开设有至少两个排气口，至少一部分排气口的大小相同。一种钟罩，其包括罩体以及上述钟罩封头，罩体的内部具有第二容纳腔，第二容纳腔与第一容纳腔连通。在本技术较佳的实施例中，罩体的外壁与罩体的内壁之间的空腔形成第三冷却通道。在本技术较佳的实施例中，第一冷却通道、第二冷却通道和第三冷却通道分别单独进行冷却，或者第一冷却通道、第二冷却通道和第三冷却通道中的至少两者相互连通进行冷却，或者第一冷却通道、第二冷却通道和第三冷却通道相互连通进行冷却。一种还原炉，其包括底盘以及上述钟罩，钟罩安装至底盘。本技术实施例的有益效果是：封头主体包括间隔设置的封头内壁和封头外壁，封头内壁的内侧形成第一容纳腔，封头内壁和封头外壁之间的空腔形成第一冷却通道，封头主体开设有至少一个排气口以及至少一个冷却介质出口，排气口与第一容纳腔连通，冷却介质出口与第一冷却通道连通，排气口从封头主体的排气口排出，第一容纳腔的反应气体下进上出，改善了还原炉的流场和温度场，硅棒上部及横梁的晶体硅光滑且质密。钟罩包括上述封头主体，改善了还原炉的流场和温度场，硅棒上部及横梁的晶体硅光滑且质密。还原炉包括上述钟罩，改善了还原炉的流场和温度场，硅棒上部及横梁的晶体硅光滑且质密。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本技术实施例中还原炉的示意图；图2为图1的俯视图；图3为本技术实施例中钟罩封头的示意图；图4为本技术实施例中罩体及内部结构的示意图；图5为本技术实施例中钟罩封头设置三个排气管的俯视示意图；图6为本技术实施例中排气管采用焊接90°弯头与外部设备和管道采用法兰连接的示意图；图7为本技术实施例中排气管采用两个90°弯头与外部设备和管道采用法兰连接的示意图。图标：1-还原炉；10-钟罩封头；110-封头主体；111-封头内壁；112-封头外壁；113-第一容纳腔；114-第一冷却通道；116-排气口；117-冷却介质出口；130-排气管；131-排气外壁；132-排气内壁；133-第二冷却通道；140-冷却管；20-罩体；210-罩体内壁；212-第二容纳腔；220-罩体外壁；230-冷却介质进口；240-冷却介质导流板；30-钟罩；31-钟罩法兰；40-视镜；50-视镜吹扫H2进口管；51-视镜冷却介质进口管；52-视镜冷却介质出口管；53-法兰冷却介质进出口管；60-硅棒；61-横梁；62-电极；63-硅芯卡件；70-吊耳；80-底盘。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。请参考图1，在本技术实施例中，钟罩30包括钟罩封头10和罩体20，钟罩封头10连接至罩体20，下面具体描述钟罩封头10和罩体20。钟罩封头10请参考图1-3，钟罩封本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种钟罩封头，其特征在于，其包括封头主体，所述封头主体包括间隔设置的封头内壁和封头外壁，所述封头内壁的内侧形成第一容纳腔，所述封头内壁和所述封头外壁之间的空腔形成第一冷却通道；所述封头主体开设有至少一个排气口以及至少一个冷却介质出口，所述排气口与所述第一容纳腔连通，所述冷却介质出口与所述第一冷却通道连通。

【技术特征摘要】
1.一种钟罩封头，其特征在于，其包括封头主体，所述封头主体包括间隔设置的封头内壁和封头外壁，所述封头内壁的内侧形成第一容纳腔，所述封头内壁和所述封头外壁之间的空腔形成第一冷却通道；所述封头主体开设有至少一个排气口以及至少一个冷却介质出口，所述排气口与所述第一容纳腔连通，所述冷却介质出口与所述第一冷却通道连通。2.根据权利要求1所述的钟罩封头，其特征在于，所述排气口包括第一排气口，所述第一排气口设置于所述钟罩封头的轴线。3.根据权利要求2所述的钟罩封头，其特征在于，所述排气口还包括第二排气口，所述第二排气口与所述第一排气口间隔设置。4.根据权利要求2所述的钟罩封头，其特征在于，所述封头主体开设有至少三个所述排气口，所述第一排气口之外的其它所述排气口设置于所述第一排气口的周围。5.根据权利要求4所述的钟罩封头，其特征在于，所述第一排气口之外的其它所述排气口均匀间隔设置。6.根据权利要求1所述的钟罩封头，其特征在于，所有所述排气口均匀间隔设置。7.根据权利要求1所述的钟罩封头，其特征在于，所述排气口的截面形状是圆形、椭圆形、矩形、三角形或多边形。8.根据权利要求1所述的钟罩封头，其特征在于，所述封头主体开设有最多四个排气口。9.根据权利要求1-8任一项所述的钟罩封头，其特征在于，所述钟罩封头还包括与所述排气口连通的排气管。10.根据权利要求9所述的钟罩封头，其特征在于，所述钟罩封头还包括与所述冷却介质出口连通的冷却管。11.根据权利要求1-8任...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐兰，
申请(专利权)人：徐兰，
类型：新型
国别省市：四川,51