抛光机构及抛光装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种抛光机构及抛光装置，涉及光学元件抛光设备技术领域。该抛光机构包括驱动件、基体、行星齿轮组件、传动组件以及被动柔顺组件。行星齿轮组件包括太阳轮、行星架以及行星轮，太阳轮与基体固定连接，驱动件与行星架固定连接且带动行星架转动，行星轮可转动的设置于行星架且与太阳轮啮合传动，行星轮通过传动组件与被动柔顺组件传动连接。该抛光机构设计合理，抛光质量稳定，能够实现抛光磨具同时具有公转、自转的复合运动，且其公转偏心距大小可以在设计范围内进行连续调节，被动柔顺组件实现抛光接触力在小范围内波动，针对不同工艺条件适应性强。

Polishing mechanism and polishing device

The invention discloses a polishing mechanism and polishing device, which relates to the technical field of optical element polishing equipment. The polishing mechanism comprises a driving part, a matrix, a planetary gear assembly, a transmission assembly and a passive compliance assembly. The planetary gear assembly includes a sun gear, a planetary gear and a planetary gear. The sun gear is fixedly connected with the base. The driving part is fixedly connected with the planetary gear and drives the planetary gear to rotate. The planetary gear can be rotated on the planetary gear frame and meshed with the sun gear. The planetary gear is connected with the passive compliance component through the transmission component. The polishing mechanism has reasonable design, stable polishing quality, and can realize the compound movement of polishing abrasive tool with revolution and rotation. The eccentricity of revolution can be adjusted continuously within the design range, and the contact force of passive compliant component can fluctuate in a small range. It has strong adaptability for different process conditions.

【技术实现步骤摘要】
抛光机构及抛光装置
本专利技术涉及光学元件抛光设备
，具体而言，涉及一种抛光机构及抛光装置。
技术介绍
近年来，由于非球面、自由曲面光学元件具有对多种相差校正、改善成像质量等优异光学性能，因而被光学系统采用。目前大型非球面光学元件的精密研抛加工仍主要以人工操作完成，存在着加工质量不稳定、耗时长、难度大、效率低等一系列难题，传统的加工方法不能满足当前社会对于大批量大型非球面光学元件的需求。抛光加工成为了曲面光学元件加工过程的瓶颈，制约了光学技术的发展应用。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种抛光机构，其能够在具有偏心距、公转以及自转的复合运动前提下，对光学元件进行抛光，从而得到高质量的光学元件，设计合理，操作方便，适应性强。本专利技术的另一个目的在于提供一种抛光装置，具有上述抛光机构的优点。本专利技术的实施例是这样实现的：基于上述目的，本专利技术的实施例提供了一种抛光机构，包括驱动件、基体、行星齿轮组件、传动组件以及被动柔顺组件；所述行星齿轮组件包括太阳轮、行星架以及行星轮，所述太阳轮与所述基体固定连接，所述驱动件与所述行星架固定连接且带动所述行星架转动，所述行星轮可转动的设置于所述行星架且与所述太阳轮啮合传动，所述行星轮通过所述传动组件与所述被动柔顺组件传动连接。另外，根据本专利技术的实施例提供的抛光机构，还可以具有如下附加的技术特征：在本专利技术的可选实施例中，所述行星架包括第一传动轴，所述驱动件包括驱动轴，所述第一传动轴依次穿设于所述太阳轮和所述基体，且与所述驱动轴固定连接；所述行星架周向设置有至少一个连接部，所述行星轮的数量与所述连接部的数量相同且包括传动行星轮，所述行星轮一一对应的可转动设置于所述连接部，且每个所述行星轮分别与所述太阳轮啮合，所述传动行星轮通过第二传动轴与所述传动组件连接。在本专利技术的可选实施例中，所述行星轮的数量为三个且围绕所述太阳轮均匀分布。在本专利技术的可选实施例中，所述传动组件包括第一传动轮、双联齿轮以及第二传动轮，所述双联齿轮包括同轴设置的第三传动轮和第四传动轮；所述双联齿轮通过第三传动轴可转动的设置于所述行星架，所述第三传动轮与所述第一传动轮啮合，所述第四传动轮与所述第二传动轮啮合，所述第二传动轮与所述被动柔顺组件的动力输出轴固定连接。在本专利技术的可选实施例中，所述第三传动轮的齿数大于所述第一传动轮的齿数，所述第二传动轮的齿数大于所述第四传动轮的齿数，所述第三传动轮的齿数大于所述第四传动轮的齿数。在本专利技术的可选实施例中，所述行星架背离所述驱动件的一侧还固定设置有副行星架，所述副行星架开设有铰接孔、输出轴调节孔以及角度调节孔，所述输出轴调节孔和所述角度调节孔均为圆弧形孔，且所述输出轴调节孔的轴线、所述角度调节孔的轴线以及所述铰接孔的轴线重合；所述被动柔顺组件通过调偏心轴承座与所述副行星架连接，所述动力输出轴穿设于所述输出轴调节孔且能够沿所述输出轴调节孔进行位置调节。在本专利技术的可选实施例中，所述调偏心轴承座包括座本体和设置于所述座本体周向的铰接部和调节部，所述动力输出轴通过轴承与所述座本体可转动连接，所述铰接部与所述铰接孔可转动连接，所述调节部可调节的设置于所述角度调节孔。在本专利技术的可选实施例中，所述被动柔顺组件包括动力输出轴、压缩弹簧、花键套、预紧件以及输出套筒；所述动力输出轴包括相对的轴承连接端和具有预紧段的磨头连接端，所述轴承连接端设置有抵挡块，所述输出套筒沿轴向开设有穿设孔，所述穿设孔依次包括第一嵌设段、第二嵌设段以及第三嵌设段，所述花键套插设于所述第一嵌设段且具有中心轴孔，所述磨头连接端穿设于所述中心轴孔且所述预紧段位于所述第二嵌设段，所述预紧件与所述预紧段配合连接且卡设于所述第二嵌设段，所述压缩弹簧套设于所述磨头连接端且两端分别抵接于所述抵挡块和所述花键套。在本专利技术的可选实施例中，所述抛光机构还包括抛光磨具，所述抛光磨具包括固定连接的抛光轮和固定件，所述固定件包括固定部和卡设部，所述卡设部嵌设于所述第三嵌设段，所述固定部与所述输出套筒通过连接件固定连接。本专利技术还提供了一种抛光装置，包括机械臂和所述的抛光机构，所述机械臂与所述抛光机构的基体固定连接。本专利技术实施例的有益效果是：设计合理、巧妙，结构简单，抛光质量稳定，实现抛光磨具同时具有公转、自转的复合运动，且抛光磨具的公转偏心距大小可以在设计范围内进行连续调节，被动柔顺组件实现该抛光磨具的抛光接触力在小范围内波动，使得抛光磨具在具有公转和自转的复合运动的基础上能够稳定抛光接触力的大小，且针对不同工艺条件适应性强，抛光磨具始终与待抛光工件实现良好的贴合，并保证抛光接触力保持在一个比较稳定的范围，接触力稳定，工艺条件适应性强，提高抛光质量，有利于得到高质量的抛光工件。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本专利技术实施例1提供的抛光机构第一视角的结构示意图；图2为本专利技术实施例1提供的抛光机构第二视角的结构示意图；图3为本专利技术实施例1提供的抛光机构中行星齿轮组件与基体、驱动件连接的结构示意图；图4为本专利技术实施例1提供的抛光机构中行星齿轮组件的分解图；图5为本专利技术实施例1提供的抛光机构中传动组件的结构示意图；图6为本专利技术实施例1提供的抛光机构中传动组件、被动柔顺组件以及行星架连接的结构示意图；图7为本专利技术实施例1提供的抛光机构中副行星架的结构示意图；图8为本专利技术实施例1提供的抛光机构中被动柔顺组件的爆炸图；图9为本专利技术实施例1提供的抛光机构中被动柔顺组件的剖视图；图10为本专利技术实施例2提供的抛光装置的结构示意图。图标：100-抛光机构；10-驱动件；12-基体；15-行星齿轮组件；152-太阳轮；154-行星架；155-第一传动轴；16-行星轮；162-传动行星轮；164-第二传动轴；18-传动组件；182-第一传动轮；183-双联齿轮；184-第三传动轮；185-第四传动轮；186-第二传动轮；19-副行星架；192-铰接孔；195-输出轴调节孔；198-角度调节孔；20-调偏心轴承座；201-座本体；205-铰接部；208-调节部；23-被动柔顺组件；231-动力输出轴；232-压缩弹簧；233-花键套；234-预紧件；235-输出套筒；236-抵挡块；237-第一嵌设段；238-第二嵌设段；239-第三嵌设段；24-抛光磨具；25-抛光装置；255-机械臂。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种抛光机构，其特征在于，包括驱动件、基体、行星齿轮组件、传动组件以及被动柔顺组件；所述行星齿轮组件包括太阳轮、行星架以及行星轮，所述太阳轮与所述基体固定连接，所述驱动件与所述行星架固定连接且带动所述行星架转动，所述行星轮可转动的设置于所述行星架且与所述太阳轮啮合传动，所述行星轮通过所述传动组件与所述被动柔顺组件传动连接。

【技术特征摘要】
1.一种抛光机构，其特征在于，包括驱动件、基体、行星齿轮组件、传动组件以及被动柔顺组件；所述行星齿轮组件包括太阳轮、行星架以及行星轮，所述太阳轮与所述基体固定连接，所述驱动件与所述行星架固定连接且带动所述行星架转动，所述行星轮可转动的设置于所述行星架且与所述太阳轮啮合传动，所述行星轮通过所述传动组件与所述被动柔顺组件传动连接。2.根据权利要求1所述的抛光机构，其特征在于，所述行星架包括第一传动轴，所述驱动件包括驱动轴，所述第一传动轴依次穿设于所述太阳轮和所述基体，且与所述驱动轴固定连接；所述行星架周向设置有至少一个连接部，所述行星轮的数量与所述连接部的数量相同且包括传动行星轮，所述行星轮一一对应的可转动设置于所述连接部，且每个所述行星轮分别与所述太阳轮啮合，所述传动行星轮通过第二传动轴与所述传动组件连接。3.根据权利要求2所述的抛光机构，其特征在于，所述行星轮的数量为三个且围绕所述太阳轮均匀分布。4.根据权利要求1所述的抛光机构，其特征在于，所述传动组件包括第一传动轮、双联齿轮以及第二传动轮，所述双联齿轮包括同轴设置的第三传动轮和第四传动轮；所述双联齿轮通过第三传动轴可转动的设置于所述行星架，所述第三传动轮与所述第一传动轮啮合，所述第四传动轮与所述第二传动轮啮合，所述第二传动轮与所述被动柔顺组件的动力输出轴固定连接。5.根据权利要求4所述的抛光机构，其特征在于，所述第三传动轮的齿数大于所述第一传动轮的齿数，所述第二传动轮的齿数大于所述第四传动轮的齿数，所述第三传动轮的齿数大于所述第四传动轮的齿数。6.根据权利要求4所述的抛光机构，其特征在于，所述行星架背离所述驱动件的一侧还固定设置有副行星架...

【专利技术属性】
技术研发人员：倪磊，倪晋，
申请(专利权)人：成都睿坤科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川,51