中排气式单晶炉制造技术

一种中排气式单晶炉，包括二层平台、设置在二层平台上方的炉体、设置在二层平台下方的驱动部件，炉体包括外炉筒和设置在内部的热场，热场包括坩埚、安装座、加热器、保温层、中排气组件，在下炉筒的侧壁上对称设置第一排气套和第二排气套，中排气组件包括第一排气管、第二排气管、排气环，第一排气管、第二排气管对称设置在加热器的两侧，第一排气管的上端与排气环连接，第二排气管的上端与排气环连接，排气环包括内侧环壁、外侧环壁、环底，本实用新型专利技术通过中排气组件的设置，将与热场气氛直接连接的进气口设置在热场中上部，如此，不仅解决了因排气带走热量的问题，也不存在挥发物堵塞排气管的问题。

Middle exhaust single crystal furnace

A middle-exhaust type single crystal furnace consists of a two-layer platform, a furnace body arranged above the two-layer platform, and a driving part arranged below the two-layer platform. The furnace body comprises an external furnace hearth and an internal thermal field. The thermal field includes a crucible, a mounting seat, a heater, an insulating layer and a middle-exhaust assembly, which are symmetrically arranged on the side wall of the lower furnace hearth. The first exhaust pipe and the second exhaust pipe are symmetrically arranged on both sides of the heater. The upper end of the first exhaust pipe is connected with the exhaust ring. The upper end of the second exhaust pipe is connected with the exhaust ring. The exhaust ring includes the inner ring wall and the outer ring. The side ring wall and the ring bottom of the utility model are arranged on the upper part of the hot field through the setting of the middle exhaust assembly, and the inlet which is directly connected with the atmosphere of the hot field is arranged on the middle part of the hot field. Thus, the problem that the heat is taken away by the exhaust is solved, and the problem that the exhaust pipe is blocked by the volatile is not existed.

【技术实现步骤摘要】
中排气式单晶炉
本技术涉及单晶炉
，尤其涉及一种中排气式单晶炉。
技术介绍
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。一般的单晶炉热场中，都是下排气结构，排气口通常设置在下炉筒侧壁上，导致排气口靠近热场的底部，因热场底部石墨件和石墨碳毡挥发物和氧化物多，容易造成排气套管堵塞，从而造成拉晶环境污染，不能很好的拉制出晶棒，严重的会影响到拉晶过程中断，造成硅料损坏，拉晶成本上升。再者，因其在下部容易带走更多的热量，造成热量损失，而引起加热功率高。
技术实现思路
有必要提出一种避免热场内热量散失的、排气系统不会堵塞的中排气式单晶炉。一种中排气式单晶炉，包括二层平台、设置在二层平台上方的炉体、设置在二层平台下方的驱动部件，炉体包括外炉筒和设置在内部的热场，外炉筒包括从上向下依次安装连接的炉盖、中炉筒和下炉筒，下炉筒安装在二层平台上，热场包括坩埚、安装座、加热器、保温层，安装座设置下炉筒内，以安装坩埚，坩埚设置在中炉筒内，加热器包围设置在坩埚的周围，以对坩埚内的物料进行加热化料，保温层包括从上向下依次设置的上保温层、中保温层、下保温层，中保温层设置在加热器与中炉筒之间，下保温层设置在安装座与下炉筒之间，驱动部件的上端穿过下炉筒的底部，以与安装座连接，进而驱动坩埚旋转和升降，所述热场还包括中排气组件，在下炉筒的侧壁上对称设置第一排气套和第二排气套，第一排气套的一端及第二排气套的一端外漏在下炉筒外部，用于与外部抽气机构连接，第一排气套的另一端及的另一端穿过下炉筒及保温层，以与中排气组件连通，中排气组件包括第一排气管、第二排气管、排气环，第一排气管、第二排气管对称设置在加热器的两侧，第一排气管、第二排气管靠近保温层设置，第一排气管、第二排气管均为竖直设置的空心直管，第一排气管的下端与第一排气套连通，第一排气管的上端与排气环连接，第二排气管的下端与第二排气套连通，第二排气管的上端与排气环连接，排气环为一圆环，排气环设置在坩埚及加热器的上方的热场内，排气环包括内侧环壁、外侧环壁、环底，内侧环壁、外侧环壁为同心圆，环底连接在内侧环壁、外侧环壁之间，以形成U型环槽，还在内侧环壁、外侧环壁上分别开设进气口和出气口，出气口与第一排气管、第二排气管的上端连通，进气口与内侧环壁内侧的热场连通，以从坩埚口部上方的热场内排出气体。优选的，所述内侧环壁上的进气口为对称设置的至少四个，所述外侧环壁上的出气口为对称设置的两个，以对热场内的气体均匀抽吸，所述出气口和进气口错位设置。本技术中，通过中排气组件的设置，充分利用现有排气套的位置，通过第一排气管、第二排气管及排气环的设置，将与热场气氛直接连接的进气口设置在热场中上部，如此，不仅解决了因排气带走热量的问题，也不存在挥发物堵塞排气管的问题。附图说明图1为单晶炉的结构示意图。图2为所述炉体的结构示意图。图3为图2中的局部放大图。图4为排气环的结构示意图。图5为二层平台的结构示意图。图6为二层平台的另一个角度的结构示意图。图7为图6中的局部放大图。图中：二层平台10、观察窗口101、炉盖11、中炉筒12、下炉筒13、第一排气套131、第二排气套132、坩埚21、安装座22、加热器23、热屏组件24、内导流筒241、外导流筒242、外檐2421、内缘2422、保温填充层243、支撑环244、压环245、隔离内筒246、上保温层251、中保温层252、下保温层253、第一排气管261、第二排气管262、排气环263、内侧环壁264、进气口2641、外侧环壁265、出气口2651、环底266、下凸缘环267、中间反射层271、连接板31、标尺32、第一导向件33、安装板331、树脂环332、压紧螺钉333、第二导向件34、指针35、配重36。具体实施方式为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。参见图1至图7，本技术实施例提供了一种单晶炉，包括二层平台10、设置在二层平台10上方的炉体、设置在二层平台10下方的驱动部件，炉体包括外炉筒和设置在内部的热场，外炉筒包括从上向下依次安装连接的炉盖11、中炉筒12和下炉筒13，下炉筒13安装在二层平台10上，热场包括坩埚21、安装座22、加热器23、热屏组件24、保温层，安装座22设置下炉筒13内，以安装坩埚21，坩埚21设置在中炉筒12内，加热器23包围设置在坩埚21的周围，以对坩埚21内的物料进行加热化料，热屏组件24设置在坩埚21的上方，在热屏组件24中间设置晶棒通道，保温层包括从上向下依次设置的上保温层251、中保温层252、下保温层253，上保温层251设置在热屏组件24与中炉筒12之间，中保温层252设置在加热器23与中炉筒12之间，下保温层253设置在安装座22与下炉筒13之间，驱动部件的上端穿过下炉筒13的底部，以与安装座22连接，进而驱动坩埚21旋转和升降，所述热场还包括中排气组件，在下炉筒13的侧壁上对称设置第一排气套131和第二排气套132，第一排气套131的一端及第二排气套132的一端外漏在下炉筒13外部，用于与外部抽气机构连接，第一排气套131的另一端及的另一端穿过下炉筒13及保温层，以与中排气组件连通，中排气组件包括第一排气管261、第二排气管262、排气环263，第一排气管261、第二排气管262对称设置在加热器23的两侧，第一排气管261、第二排气管262靠近保温层设置，第一排气管261、第二排气管262均为竖直设置的空心直管，第一排气管261的下端与第一排气套131连通，第一排气管261的上端与排气环263连接，第二排气管262的下端与第二排气套132连通，第二排气管262的上端与排气环263连接，排气环263为一圆环，排气环263设置在坩埚21及加热器23的上方的热场内，排气环263包括内侧环壁264、外侧环壁265、环底266，内侧环壁264、外侧环壁265为同心圆，环底266连接在内侧环壁264、外侧环壁265之间，以形成U型环槽，还在内侧环壁264、外侧环壁265上分别开设进气口2641和出气口2651，出气口2651与第一排气管261、第二排气管262的上端连通，进气口2641与内侧环壁264内侧的热场连通，以从坩埚21口部上方的热场内排出气体。所述坩埚位置标识装置设置在二层平台10的下方，坩埚位置标识装置包括下限位机构和上限位机构，设置在二层平台10下方的驱动部件包括升降电机、减速器、丝杠、导套，升降电机通过减速器与丝杠连接，以驱动丝杠转动，丝杠与导套螺纹传动连接，导套的上端与安装座22连接，以驱动坩埚21升降，下限位机构固定设置在驱动部件下方的二层平台10的机架上，以对导套的下降的最低位置进行限位，上限位机构固定设置在驱动部件上方的二层平台10的机架上，以对导套的下降的最高位置进行限位。进一步，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种中排气式单晶炉，其特征在于：包括二层平台、设置在二层平台上方的炉体、设置在二层平台下方的驱动部件，炉体包括外炉筒和设置在内部的热场，外炉筒包括从上向下依次安装连接的炉盖、中炉筒和下炉筒，下炉筒安装在二层平台上，热场包括坩埚、安装座、加热器、保温层，安装座设置下炉筒内，以安装坩埚，坩埚设置在中炉筒内，加热器包围设置在坩埚的周围，以对坩埚内的物料进行加热化料，保温层包括从上向下依次设置的上保温层、中保温层、下保温层，中保温层设置在加热器与中炉筒之间，下保温层设置在安装座与下炉筒之间，驱动部件的上端穿过下炉筒的底部，以与安装座连接，进而驱动坩埚旋转和升降，所述热场还包括中排气组件，在下炉筒的侧壁上对称设置第一排气套和第二排气套，第一排气套的一端及第二排气套的一端外漏在下炉筒外部，用于与外部抽气机构连接，第一排气套的另一端及的另一端穿过下炉筒及保温层，以与中排气组件连通，中排气组件包括第一排气管、第二排气管、排气环，第一排气管、第二排气管对称设置在加热器的两侧，第一排气管、第二排气管靠近保温层设置，第一排气管、第二排气管均为竖直设置的空心直管，第一排气管的下端与第一排气套连通，第一排气管的上端与排气环连接，第二排气管的下端与第二排气套连通，第二排气管的上端与排气环连接，排气环为一圆环，排气环设置在坩埚及加热器的上方的热场内，排气环包括内侧环壁、外侧环壁、环底，内侧环壁、外侧环壁为同心圆，环底连接在内侧环壁、外侧环壁之间，以形成U型环槽，还在内侧环壁、外侧环壁上分别开设进气口和出气口，出气口与第一排气管、第二排气管的上端连通，进气口与内侧环壁内侧的热场连通，以从坩埚口部上方的热场内排出气体。...

【技术特征摘要】
1.一种中排气式单晶炉，其特征在于：包括二层平台、设置在二层平台上方的炉体、设置在二层平台下方的驱动部件，炉体包括外炉筒和设置在内部的热场，外炉筒包括从上向下依次安装连接的炉盖、中炉筒和下炉筒，下炉筒安装在二层平台上，热场包括坩埚、安装座、加热器、保温层，安装座设置下炉筒内，以安装坩埚，坩埚设置在中炉筒内，加热器包围设置在坩埚的周围，以对坩埚内的物料进行加热化料，保温层包括从上向下依次设置的上保温层、中保温层、下保温层，中保温层设置在加热器与中炉筒之间，下保温层设置在安装座与下炉筒之间，驱动部件的上端穿过下炉筒的底部，以与安装座连接，进而驱动坩埚旋转和升降，所述热场还包括中排气组件，在下炉筒的侧壁上对称设置第一排气套和第二排气套，第一排气套的一端及第二排气套的一端外漏在下炉筒外部，用于与外部抽气机构连接，第一排气套的另一端及的另一端穿过下炉筒及保温层，以与中排气组件连通，中排气组件包括第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴学军，
申请(专利权)人：宁夏旭樱新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏,64