物品保持装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种物品保持装置，与现有装置相比，该物品保持装置能够容易地增大吸附力，从而能够更可靠地保持布料等片状的物品。物品保持装置具有基部和流路。基部具有凹部，且基部在下表面具有能够保持片状的物品的保持部。流路设于基部，流路与设于保持部的孔相连通。孔具有第一孔和第二孔。第一孔设于保持部的、与水平部平行的规定方向上的一侧，第一孔向与规定方向正交的方向中的第一方向开口。第二孔设于保持部的规定方向上的另一侧，该第二孔与第一孔平行，且该第二孔向第一方向的反向即第二方向开口。流路具有第一流路和第二流路。凹部设于第一孔与第二孔之间，凹部与保持部的水平部相比向上方凹进。

【技术实现步骤摘要】
物品保持装置
本专利技术涉及一种物品保持装置。
技术介绍
以往，有一种装置，其通过非接触式吸附半导体晶圆等较薄的面状零件来保持该面状零件。日本特许公开2012年第40621号公报所述的装置具有基体。基体在下表面具有凹部，在凹部设有能够使流体(空气)排出的流体排出部。凹部的周围是非接触式吸附部。该装置使流体排出部排出的流体经过非接触式吸附部，在装置与物品之间产生负压，利用该负压非接触式吸附物品来保持该物品。现有装置中，从流体排出部排出的流体在引导体的引导下流向装置的外方，并经过非接触式吸附部。该装置在要对表面积大于半导体晶圆的表面积的布料等片状的物品进行保持时，需要增大吸附力。在该情况下，需要提高经过非接触式吸附部的空气的流量，或需要提高空气的压力，装置变得大型化。因此，对现有装置而言，存在难以增大吸附力的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是，提供一种物品保持装置，与现有装置相比，该物品保持装置能够容易地增大吸附力，从而能够更可靠地保持布料等片状的物品。技术方案1的物品保持装置具有：基部，其在下表面具有能够保持片状的物品的保持部；及流路，其设于所述基部，该流路与设于所述保持部的孔相连通，通过使被供给到所述流路中的流体从所述孔排出，从而使所述保持部与所述物品之间产生负压，利用该负压吸附所述物品来保持所述物品，其中，所述保持部具有水平地延伸的水平部，所述孔具有：第一孔，其设于所述保持部的、与所述水平部平行的规定方向的一侧，该第一孔向与所述规定方向正交的方向中的一个方向即第一方向开口；及第二孔，其设于所述保持部的、所述规定方向的与所述一侧相反的另一侧，该第二孔与所述第一孔平行，且该第二孔向所述第一方向的反向即第二方向开口，所述流路具有：第一流路，其与所述第一孔相连通，该第一流路朝向所述第一孔去沿所述第一方向延伸；及第二流路，其与所述第二孔相连通，该第二流路朝向所述第二孔去沿所述第二方向延伸，所述基部具有凹部，该凹部设于所述第一孔与所述第二孔之间，该凹部与所述保持部的所述水平部相比向上方凹进。该物品保持装置通过向第一流路和第二流路供给流体，从而使流体从第一孔向第一方向排出，从第二孔向第二方向排出。由于第一孔和第二孔以使凹部位于第一孔和第二孔之间的方式向彼此相反的方向排出流体，因此，能够有效率地使保持部与物品之间的凹部处的空间呈负压，与不设凹部的装置相比，能够用较大的力将与保持部相对的物品向凹部侧吸引。因此，与现有装置相比，物品保持装置能够容易地提高吸附力，从而能够更可靠地通过吸附布料等片状的物品来保持该物品。也可以是，技术方案2的物品保持装置的所述孔还具有：第三孔，其设于所述保持部的相对于所述凹部而言的所述规定方向的一侧；及第四孔，其设于所述保持部的相对于所述凹部而言的所述规定方向的另一侧，所述流路还具有：第三流路，其与所述第三孔和所述第一流路相连通；及第四流路，其与所述第四孔和所述第二流路相连通，从所述第三流路朝向所述第三孔的方向是所述第二方向，从所述第四流路朝向所述第四孔的方向是所述第一方向。该物品保持装置通过向第一流路～第四流路供给流体，从而，与仅向第一流路、第二流路供给流体的装置相比，能够更可靠地使保持部与物品之间的凹部处的空间呈负压，从而能够将与保持部相对的物品向凹部侧吸引。也可以是，技术方案3的物品保持装置的所述基部在所述保持部具有：第一流路部，其设有所述第一孔、所述第三孔，该第一流路部突出到比所述凹部靠下方处；第二流路部，其相对于所述凹部而言位于与所述第一流路部所处那一侧相反的一侧，该第二流路部设有所述第二孔、所述第四孔，该第二流路部突出到比所述凹部靠下方处；第一倾斜部，其与所述第一流路部的上端、所述第二流路部的上端和所述凹部相连接，该第一倾斜部沿所述第一方向去向下方倾斜；及第二倾斜部，其与所述第一流路部的上端、所述第二流路部的上端和所述凹部相连接，该第二倾斜部沿所述第二方向去向下方倾斜。在该物品保持装置中，从第一孔、第四孔排出的流体沿着第一倾斜部移动，从第二孔、第三孔排出的流体沿着第二倾斜部移动。因此，该物品保持装置能够更可靠地使保持部与物品之间的凹部处的空间呈负压，从而能够将与保持部相对的物品向凹部侧吸引。也可以是，技术方案4的物品保持装置中，从所述第一孔、所述第三孔到所述第一流路部的靠所述凹部侧的端部之间在所述规定方向上的距离和从所述第二孔、所述第四孔到所述第二流路部的靠所述凹部侧的端部之间在所述规定方向上的距离均小于所述凹部的规定方向长度的一半。为了有效率地使凹部呈负压，优选使流体从距凹部更近处排出。对物品保持装置而言，能够将第一孔、第三孔设置得较靠近凹部与第一流路部的交界，能够将第二孔、第四孔设置得较靠近凹部与第二流路部的交界。因此，物品保持装置能够有效率地使凹部呈负压。附图说明图1是输送系统1的立体图。图2是输送系统1的主视图。图3是物品保持装置23处于保持位置且载置台21上升时的、多关节机械臂装置3和物品供给装置4的左视图。图4是物品保持装置23的立体图。图5是物品保持装置23的立体图。图6是物品保持装置23的仰视图。图7是抑制构件52和抑制构件54处于突出位置时的、图4的A－A剖视图。图8是抑制构件52和抑制构件54处于退避位置时的、图4的A－A剖视图。图9是将图7中的抑制构件52附近部分放大后得到的图。图10是表示物品保持装置23的电气结构的框图。图11是物品保持处理的流程图。图12是物品保持装置23从保持位置上升之后的、多关节机械臂装置3和物品供给装置4的左视图。具体实施方式参照附图，说明本专利技术的一实施方式。说明输送系统1的示意结构。下面的说明使用附图中用箭头表示的左右、前后、上下。如图1和图2所示，输送系统1具有框体2、多关节机械臂装置(下面称为“臂装置”)3、物品供给装置4、物品供给装置5、工作台6和PC100(参照图10)。框体2是通过将铁或铝制的棒材组装成矩形来构成的。在框体2的外框的内侧配置有臂装置3、物品供给装置4、物品供给装置5和工作台6。臂装置3为工业用机械手，能够将物品供给装置4的物品保持装置23、物品供给装置5的物品保持装置23所保持的片状的物品9输送到规定的输送位置。本实施方式的输送位置是物品保持装置23处于工作台6的上部且其上下方向的位置比图2中的物品保持装置23的位置靠下方时物品保持装置23所在的位置。输送位置为缝制装置的机座部的上部等处，可以根据输送系统的结构适当地变更输送位置。本实施方式的物品9为角部带有圆角的呈梯形形状的布片。臂装置3同物品供给装置4和物品供给装置5一起将物品9输送到工作台6。臂装置3具有臂部11、臂部12、支承部13和基座部14。臂部11具有转动直线驱动装置(下面称为“驱动装置”)15。驱动装置15具有滚珠丝杠16、第一马达18和第二马达19。滚珠丝杠16沿上下方向延伸。滚珠丝杠16贯穿臂部11的一端部。驱动装置15能够在第一马达18的作用下使滚珠丝杠16绕其轴线转动。驱动装置15能够在第二马达19的作用下使滚珠丝杠16沿着其延伸方向移动。滚珠丝杠16绕其轴线转动是指以滚珠丝杠16的轴线为中心的顺时针方向转动或逆时针方向转动。臂部12沿前后方向延伸，在臂部12前端部以臂部11能够转动的方式支承该臂部11的另一端部。支承部1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种物品保持装置，该物品保持装置(23)具有：基部(32)，其在下表面具有能够保持片状的物品(9)的保持部(33)；及流路(70～78)，其设于所述基部，该流路与设于所述保持部的孔(61～68)相连通，通过使被供给到所述流路中的流体从所述孔排出，从而使所述保持部与所述物品之间产生负压，利用该负压吸附所述物品来保持所述物品，该物品保持装置的特征在于，所述保持部具有水平地延伸的水平部(331)，所述孔具有：第一孔(61、65)，其设于所述保持部的、与所述水平部平行的规定方向的一侧，该第一孔向与所述规定方向正交的方向中的一个方向即第一方向开口；及第二孔(62、68)，其设于所述保持部的、所述规定方向的与所述一侧相反的另一侧，该第二孔与所述第一孔平行，且该第二孔向所述第一方向的反向即第二方向开口，所述流路具有：第一流路(71、75)，其与所述第一孔相连通，该第一流路朝向所述第一孔去沿所述第一方向延伸；及第二流路(72、78)，其与所述第二孔相连通，该第二流路朝向所述第二孔去沿所述第二方向延伸，所述基部具有凹部(43)，该凹部设于所述第一孔与所述第二孔之间，该凹部与所述保持部的所述水平部相比向上方凹进。...

【技术特征摘要】
2017.01.31 JP 2017-0153181.一种物品保持装置，该物品保持装置(23)具有：基部(32)，其在下表面具有能够保持片状的物品(9)的保持部(33)；及流路(70～78)，其设于所述基部，该流路与设于所述保持部的孔(61～68)相连通，通过使被供给到所述流路中的流体从所述孔排出，从而使所述保持部与所述物品之间产生负压，利用该负压吸附所述物品来保持所述物品，该物品保持装置的特征在于，所述保持部具有水平地延伸的水平部(331)，所述孔具有：第一孔(61、65)，其设于所述保持部的、与所述水平部平行的规定方向的一侧，该第一孔向与所述规定方向正交的方向中的一个方向即第一方向开口；及第二孔(62、68)，其设于所述保持部的、所述规定方向的与所述一侧相反的另一侧，该第二孔与所述第一孔平行，且该第二孔向所述第一方向的反向即第二方向开口，所述流路具有：第一流路(71、75)，其与所述第一孔相连通，该第一流路朝向所述第一孔去沿所述第一方向延伸；及第二流路(72、78)，其与所述第二孔相连通，该第二流路朝向所述第二孔去沿所述第二方向延伸，所述基部具有凹部(43)，该凹部设于所述第一孔与所述第二孔之间，该凹部与所述保持部的所述水平部相比向上方凹进。2.根据权利要求1所述的物品保持装置，其特征在于，所述孔还具有：第三孔(63、66)，其设于...

【专利技术属性】
技术研发人员：原田幸一，田川祐二，岩本刚，大城功成，上田凌，
申请(专利权)人：兄弟工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP