The utility model provides a detachable spherical measuring instrument for white light interferometer, which comprises a base, a tray is arranged on the base, a gap is left between the bottom of the tray and the upper surface of the base, a cavity is arranged in the tray and the upper end opens, a first bracket is arranged on the tray, and the lower end of the first bracket is arranged in the cavity. The upper end of the second bracket is respectively provided with a guide rail, and a third bracket comprises a fixed connected cylindrical rod and a square rod. A rotating knob is arranged at one end of the square bar away from the guide rail, and a spherical pallet is arranged on the rotating knob; a cylindrical bar away from the spherical pallet is fixedly connected with the guide rail through a connecting rod and an adjusting bolt. The utility model can tilt and rotate the position of the sample, adjust the position of the sample from left to right, and adjust the position of the sample from top to bottom. The measuring accuracy and the measuring efficiency are high.
【技术实现步骤摘要】
一种用于白光干涉仪的可拆卸球形测量仪
本技术涉及白光干涉仪
,尤其涉及一种用于白光干涉仪的可拆卸球形测量仪。
技术介绍
传统的球面检测手段,如用轮廓仪、圆度仪、原子力显微镜等进行检测,存在着检测效率低、容易划伤工件表面、孤立缺陷容易遗漏等问题,光学干涉测量法具有非接触、采样密度高、效率高、精度高等优点,是较为理想的表面形貌检测方法。如图1所示,现有的一种扫描白光干涉测量方法,利用白光相干长度(时间相干性)极短(约3μm)的特性,对被样品表面进行垂直扫描,得到各采样点干涉信号强度与扫描位置的关系曲线,通过数据处理找到信号强度最大位置,既零光程位置,从而获得被测表面上每一点的深度信息,实现形貌检测,但现有的垂直扫描白光干涉仪在使用过程中无法精密调整球形摩擦学试样的角度,使得视场内仅出现1~3个干涉条纹,当样品10表面存在摩痕101,无法达到近似平整的球面时,产生的干涉条纹会存在变形现象,甚至边缘部分无法测得,极大的影响测量的准确性;其次,在现有的测量过程中,由于垂直扫描白光干涉仪单次测量区域比较小,以10X镜头为例,其测量区域在1mm左右,以及现有的传统结构的载物平台限制,仅能对待测物品上下,左右平移,无法对样品表面的特征位置或抽取若干区域进行抽点检测,从而给测量和分析带来诸多误差,因此现有的垂直光扫描仪存在测量精度较低、无法精确调整样品位置的弊端。
技术实现思路
本技术提供了一种用于白光干涉仪的可拆卸球形测量仪,不仅可以实现对样品的上下左右平移调整,同时还可以使样品倾斜、旋转,便于抽点检测,检测精度更高。本技术所采用的技术方案是,一种用于白光干涉仪的可拆卸球形 ...
【技术保护点】
1.一种用于白光干涉仪的可拆卸球形测量仪,其特征在于,包括L型的底座(1),所述的底座上设有托盘(2),所述的托盘可沿所述的底座的侧壁上下运动,所述的托盘(2)的底部与所述的底座(1)的上表面之间留有间隙;所述的托盘(2)内设有空腔且上端开口,所述的托盘(2)上设有横向的第一支架(3),所述的第一支架下端容置在所述的空腔中;所述的第一支架(3)的两端分别设有纵向的第二支架(4),所述的第一支架的中部设有向上的微分头(5),所述的微分头的测杆(51)与所述的第一支架(3)为螺纹连接,所述的测杆(51)的下端抵在所述的托盘(2)上,所述的测杆转动带动所述的第一支架上下运动;所述的第二支架(4)的上端分别设有弧形的导轨(4.1),所述的导轨包括上轨道和下轨道,所述的上轨道和下轨道之间留有空隙,所述的导轨之间设有第三支架(6),所述的第三支架容置在上轨道与下轨道之间的空隙中,所述的第三支架包括固定相连的圆柱杆(6.1)和方杆(6.2),所述的圆柱杆位于两个导轨之间其长度不小于两个导轨之间的距离,在所述的方杆远离导轨的一端设有旋转钮(8),所述的旋转钮上设有球形托盘(9),所述的圆柱杆(6.1) ...
【技术特征摘要】
1.一种用于白光干涉仪的可拆卸球形测量仪,其特征在于,包括L型的底座(1),所述的底座上设有托盘(2),所述的托盘可沿所述的底座的侧壁上下运动,所述的托盘(2)的底部与所述的底座(1)的上表面之间留有间隙;所述的托盘(2)内设有空腔且上端开口,所述的托盘(2)上设有横向的第一支架(3),所述的第一支架下端容置在所述的空腔中;所述的第一支架(3)的两端分别设有纵向的第二支架(4),所述的第一支架的中部设有向上的微分头(5),所述的微分头的测杆(51)与所述的第一支架(3)为螺纹连接,所述的测杆(51)的下端抵在所述的托盘(2)上,所述的测杆转动带动所述的第一支架上下运动;所述的第二支架(4)的上端分别设有弧形的导轨(4.1),所述的导轨包括上轨道和下轨道,所述的上轨道和下轨道之间留有空隙,所述的导轨之间设有第三支架(6),所述的第三支架容置在上轨道与下轨道之间的空隙中,所述的第三支架包括固定相连的圆柱杆(6.1)和方杆(6.2),所述的圆柱杆位于两个导轨之间其长度不小于两个导轨之间的距离,在所述的方杆远离导轨的一端设有旋转钮(8),所述的旋转钮上设有球形托盘(9),所述的圆柱杆(6.1)远离球形托盘的一端通过连杆(7)和调整螺栓(13)与所述的导轨(4.1)固定连接...
【专利技术属性】
技术研发人员:秦襄培,尹雄,潘琪,王洪娇,李俊林,
申请(专利权)人:武汉工程大学,
类型:新型
国别省市:湖北,42
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