冷媒回收和利用系统技术方案

本发明专利技术涉及冷媒回收领域，公开了一种冷媒回收和利用系统，包括气体储罐、封闭容腔和设置在封闭容腔内的生产装置，封闭容腔内能够填充用于冷却生产装置的液态冷媒，气体储罐通过第一管道与封闭容腔相连以用于收集由液态冷媒汽化形成的汽化物，气体储罐通过第二管道与生产装置相连以用于将收集的汽化物充入生产装置而将生产装置内的物料压出。本发明专利技术提供的冷媒回收和利用系统，能够将液态冷媒汽化形成的汽化物收集到气体储罐内，避免了将汽化物排入大气时对环境产生影响和造成资源浪费的问题，并且转移生产装置内的物料时无需额外引入汽化物，可利用气体储罐内收集的汽化物来将生产装置内的物料压出，实现了对汽化物的回收和利用。

Refrigerant recovery and utilization system

The invention relates to the field of refrigerant recovery, and discloses a refrigerant recovery and utilization system, including a gas tank, a closed chamber and a production device arranged in a closed chamber, which can be filled with liquid refrigerant for cooling the production device, and the gas tank is connected with the closed chamber through a first pipe for collection. A vapor formed by vaporization of a liquid refrigerant, the gas tank is connected to the production device through a second pipe for pressing out the material in the production device for filling the collected vapor into the production device. The refrigerant recovery and utilization system provided by the invention can collect the vaporized substance formed by vaporization of liquid refrigerant into the gas storage tank, avoid the problems of environmental impact and resource waste when vaporized substance is discharged into the atmosphere, and transfer the materials in the production device without additional introduction of vaporized substance, and can utilize the gas storage. The vapor collected in the tank is used to press the material out of the production unit, and the recovery and utilization of the vapor are realized.

【技术实现步骤摘要】
冷媒回收和利用系统
本专利技术涉及冷媒回收领域，具体地涉及一种冷媒回收和利用系统。
技术介绍
MO源(即高纯金属有机化合物)是采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术进行外延生长时的支撑材料，是发展光电子产业的关键材料之一，也是生产高亮度、超高亮度发光材料及大规模集成电路的必备原料。MO源需要达到6N(99.9999％)以上的产品纯度才合格，因此在生产过程中需要经过粗分离纯化、细分离纯化、超细分离纯化的生产过程。在MO源分离纯化使用的装置运行过程中会产生热量，需要大量的液氮(液氮储存温度--196℃)进行冷却，每运行完一个分离纯化过程需要进行对装置升温，以转移产品进行下一过程分离纯化，这就需要使液氮快速汽化，以对装置升温，并且分离纯化的产物需使用99.95％纯度的氮气保护进行隔离输送。现有技术中用于分离纯化的生产装置一般设置在顶部敞开的低温真空贮槽内，加入贮槽内的液氮(即液态冷媒)吸收生产装置的热量汽化后的氮气(即汽化物)直接排入大气，并且转移生产装置内的物料时需要额外引入氮气来隔离输送，由液氮汽化形成的氮气没有进行回收和利用，造成资源浪费，不利于环保节能，导致生产成本较高。因此，存在设计一种能够回收和利用液态冷媒汽化后的汽化物的冷媒回收和利用系统的需要。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了克服现有技术存在的液态冷媒汽化后的汽化物没有进行回收和利用的问题，提供一种冷媒回收和利用系统，该冷媒回收和利用系统能够回收和利用液态冷媒汽化后的汽化物。为了实现上述目的，本专利技术一方面提供一种冷媒回收和利用系统，所述冷媒回收和利用系统包括气体储罐、封闭容腔和设置在所述封闭容腔内的生产装置，所述封闭容腔内能够填充用于冷却所述生产装置的液态冷媒，所述气体储罐通过第一管道与所述封闭容腔相连以用于收集由所述液态冷媒汽化形成的汽化物，所述气体储罐通过第二管道与所述生产装置相连以用于将收集的所述汽化物充入所述生产装置而将所述生产装置内的物料压出。在上述技术方案中，液态冷媒汽化形成的汽化物能够收集到气体储罐内，避免了将汽化物排入大气时对环境产生影响和造成资源浪费的问题，并且转移生产装置内的物料时无需额外引入汽化物，可利用气体储罐内收集的汽化物来将生产装置内的物料压出，实现了对液态冷媒汽化形成的汽化物的回收和利用，一定程度上能够降低成本。优选地，所述第一管道上设置有止回阀和/或第一阀门，所述冷媒回收和利用系统包括与所述封闭容腔连接以用于检测所述封闭容腔内的压力的第一压力传感器以及与所述第一压力传感器、所述止回阀和/或所述第一阀门相连的控制单元，所述控制单元设置为能够根据所述第一压力传感器检测的所述封闭容腔内的压力控制所述止回阀和/或所述第一阀门。优选地，沿所述汽化物在所述第一管道内的流动方向在所述第一管道上依次设置有汽化器和压缩机；和/或，所述第二管道上设置有第二阀门和/或第一流量调节阀。优选地，所述冷媒回收和利用系统包括与所述气体储罐相连以用于检测气体储罐内的所述汽化物纯度的纯度检测装置。优选地，所述气体储罐上连接有用于检测所述气体储罐内的压力的第二压力传感器，且在连接所述气体储罐和所述纯度检测装置的管道上设置有根据所述第二压力传感器检测的所述气体储罐内的压力调节进入所述纯度检测装置内的所述汽化物的流量的第二流量调节阀。优选地，所述冷媒回收和利用系统包括能够与所述封闭容腔连通的液态冷媒储罐和与所述封闭容腔相连以进行抽真空处理而使所述液态冷媒储罐内的所述液态冷媒能够输送至所述封闭容腔内以用于冷却所述生产装置的第一抽真空装置。优选地，所述冷媒回收和利用系统包括与所述液态冷媒储罐相连以进行抽真空处理而使所述封闭容腔内的所述液态冷媒能够回收至所述液态冷媒储罐的第二抽真空装置。优选地，所述冷媒回收和利用系统包括控制单元，所述封闭容腔连接有第一压力传感器，所述液态冷媒储罐相连有第三压力传感器，所述第一压力传感器、所述第三压力传感器、所述第一抽真空装置和所述第二抽真空装置与所述控制单元相连，所述控制单元设置为能够根据所述第一压力传感器反馈的所述封闭容腔内的压力和所述第三压力传感器反馈的所述液态冷媒储罐内的压力来控制第一抽真空装置和所述第二抽真空装置。优选地，所述液态冷媒储罐通过第三管道与所述封闭容腔相连以用于将所述液态冷媒储罐内的所述液态冷媒输送至所述封闭容腔内，所述液态冷媒储罐通过第四管道与所述封闭容腔相连以用于将所述封闭容腔内的所述液态冷媒回收至所述液态冷媒储罐，所述第三管道和所述第四管道上分别设置有第三阀门。优选地，所述生产装置为MO源分离纯化装置，所述液态冷媒储罐为用于盛放液氮的液氮储罐。本专利技术的其它特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。附图说明图1是本专利技术优选实施方式的冷媒回收和利用系统的结构示意图。附图标记说明1生产装置2封闭容腔3气体储罐4止回阀5第一阀门6汽化器7压缩机8纯度检测装置9第二压力传感器10第二流量调节阀11第二阀门12第一流量调节阀13第一抽真空装置14第四阀门15第一压力传感器16液态冷媒储罐17第三阀门18第二抽真空装置19第五阀门20第三压力传感器21泄压阀门22控制单元23第四压力传感器P1第一管道P2第二管道P3第三管道P4第四管道具体实施方式以下结合附图对本专利技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限制本专利技术。在本专利技术中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、左、右”通常是指参考附图所示的上、下、左、右；“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。本专利技术一方面提供一种冷媒回收和利用系统，所述冷媒回收和利用系统包括气体储罐3、封闭容腔2和设置在所述封闭容腔2内的生产装置1，所述封闭容腔2内能够填充用于冷却所述生产装置1的液态冷媒，所述气体储罐3通过第一管道P1与所述封闭容腔2相连以用于收集由所述液态冷媒汽化形成的汽化物，所述气体储罐3通过第二管道P2与所述生产装置1相连以用于将收集的所述汽化物充入所述生产装置1而将所述生产装置1内的物料压出。在上述技术方案中，如图1所示，液态冷媒汽化形成的汽化物能够收集到气体储罐3内，避免了将汽化物排入大气时对环境产生影响和造成资源浪费的问题，并且转移生产装置1内的物料时无需额外引入汽化物，可利用气体储罐3内收集的汽化物来将生产装置1内的物料压出，实现了对液态冷媒汽化形成的汽化物的回收和利用，一定程度上能够降低成本。在本技术方案的具体实施方式中，通常所述液态冷媒采用液氮，所述生产装置1为MO源的分离纯化装置。在分离纯化过程中，封闭容腔2内的液氮汽化后形成的氮气会从第一管道P1被收集到气体储罐3内，而在MO源分离纯化完成后，分离纯化装置中的物料可通过气体储罐3内的氮气压出。在此可以理解的是，该冷媒回收和利用系统并不限于用于本具体实施方式中MO源的分离纯化，其它任何可以利用该冷媒回收和利用系统的生产过程皆可。其中，当生产装置1为生产其他物料的装置时，液态冷媒也可为其他液态物质，或者液态冷媒也可替换为能够冷却的固态物质，例如固态二氧化碳等。为了方便自动化控制，优选地，所述第一管道P1上设置有止回阀4和/或第一阀门5，所述冷媒回收和利用系统包括与所述封闭容腔2连接以用于检测所述封闭容腔2内的压本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种冷媒回收和利用系统，其特征在于，所述冷媒回收和利用系统包括气体储罐(3)、封闭容腔(2)和设置在所述封闭容腔(2)内的生产装置(1)，所述封闭容腔(2)内能够填充用于冷却所述生产装置(1)的液态冷媒，所述气体储罐(3)通过第一管道(P1)与所述封闭容腔(2)相连以用于收集由所述液态冷媒汽化形成的汽化物，所述气体储罐(3)通过第二管道(P2)与所述生产装置(1)相连以用于将收集的所述汽化物充入所述生产装置(1)而将所述生产装置(1)内的物料压出。

【技术特征摘要】
1.一种冷媒回收和利用系统，其特征在于，所述冷媒回收和利用系统包括气体储罐(3)、封闭容腔(2)和设置在所述封闭容腔(2)内的生产装置(1)，所述封闭容腔(2)内能够填充用于冷却所述生产装置(1)的液态冷媒，所述气体储罐(3)通过第一管道(P1)与所述封闭容腔(2)相连以用于收集由所述液态冷媒汽化形成的汽化物，所述气体储罐(3)通过第二管道(P2)与所述生产装置(1)相连以用于将收集的所述汽化物充入所述生产装置(1)而将所述生产装置(1)内的物料压出。2.根据权利要求1所述的冷媒回收和利用系统，其特征在于，所述第一管道(P1)上设置有止回阀(4)和/或第一阀门(5)，所述冷媒回收和利用系统包括与所述封闭容腔(2)连接以用于检测所述封闭容腔(2)内的压力的第一压力传感器(15)以及与所述第一压力传感器(15)、所述止回阀(4)和/或所述第一阀门(5)相连的控制单元(22)，所述控制单元(22)设置为能够根据所述第一压力传感器(15)检测的所述封闭容腔(2)内的压力控制所述止回阀(4)和/或所述第一阀门(5)。3.根据权利要求1所述的冷媒回收和利用系统，其特征在于：沿所述汽化物在所述第一管道(P1)内的流动方向在所述第一管道(P1)上依次设置有汽化器(6)和压缩机(7)；和/或，所述第二管道(P2)上设置有第二阀门(11)和/或第一流量调节阀(12)。4.根据权利要求1所述的冷媒回收和利用系统，其特征在于，所述冷媒回收和利用系统包括与所述气体储罐(3)相连以用于检测气体储罐(3)内的所述汽化物纯度的纯度检测装置(8)。5.根据权利要求4所述的冷媒回收和利用系统，其特征在于，所述气体储罐(3)上连接有用于检测所述气体储罐(3)内的压力的第二压力传感器(9)，且在连接所述气体储罐(3)和所述纯度检测装置(8)的管道上设置有用于根据所述第二压力传感器(9)检测的所述气体储罐(3)内的压力调节进入所述纯度检测装置(8)内的所述汽化物的流量的第二流量调节阀(...

【专利技术属性】
技术研发人员：乔双印，江建峰，胡君平，左坚强，马玉峰，
申请(专利权)人：江西佳因光电材料有限公司，
类型：发明
国别省市：江西,36