显影液的浓度监视装置及显影液管理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供显影液的浓度监视装置及显影液管理装置。它们具备密度仪，用于测定显影液的密度。与碱成分等其它成分的浓度无关地在显影液的密度与吸收二氧化碳浓度之间具有良好的对应关系。浓度监视装置基于密度的测定值，根据显影液的密度与吸收二氧化碳浓度的对应关系算出吸收二氧化碳浓度。警报机构在由运算机构算出的显影液的吸收二氧化碳浓度值偏离预先设定的管理范围时发出警报。显影液管理装置使用显影液的密度与吸收二氧化碳浓度的对应关系，基于显影液的测定出的密度值或算出的吸收二氧化碳浓度值，以使显影液的吸收二氧化碳浓度成为规定的管理值或管理值以下的方式向显影液补给补充液，由此管理显影液的吸收二氧化碳浓度。

Concentration monitoring device for developer and developer management device

The invention provides a concentration monitoring device for developer and a developer management device. They have a densitometer for measuring the density of developer. There is a good correspondence between the density of the developer and the concentration of carbon dioxide absorbed, irrespective of the concentration of alkali and other components. The concentration monitoring device calculates the absorbed carbon dioxide concentration according to the corresponding relationship between the density of the developing solution and the absorbed carbon dioxide concentration based on the measured density. The alarm is issued when the concentration of carbon dioxide absorbed by the developer calculated by the arithmetic agency deviates from the preset management range. The developer uses the corresponding relationship between the density of the developer liquid and the absorbed carbon dioxide concentration, the density value measured by the developer or the calculated absorption of carbon dioxide concentration, so that the carbon dioxide concentration of the developer is used as the prescribed management value or below the management value to replenish the supplement liquid to the developer. This manages the developer to absorb the concentration of carbon dioxide.

【技术实现步骤摘要】
显影液的浓度监视装置及显影液管理装置
本专利技术涉及在半导体或液晶面板的电路基板的显影工序等中为了使光致抗蚀剂膜显影而使用的显现碱性的显影液的浓度监视装置及显影液管理装置。
技术介绍
在用于实现半导体或液晶面板等的微细布线加工的光刻法的显影工序中，作为将在基板上制膜后的光致抗蚀剂溶解的药液，使用显现碱性的显影液(以下称作“碱性显影液”)。在半导体或液晶面板基板的制造工序中，近年来，晶片、玻璃基板的大型化以及布线加工的微细化和高集成化不断发展。在这样的状况下，为了实现大型基板的布线加工的微细化及高集成化，需要进一步高精度地测定碱性显影液的主要成分的浓度来对显影液进行维持管理。现有的碱性显影液的成分浓度的测定如专利文献1所记载那样，利用的是在碱性显影液的碱成分的浓度(以下称作“碱成分浓度”)与导电率之间能获得良好的直线关系这一原理、以及在溶解于碱性显影液的光致抗蚀剂的浓度(以下称作“溶解光致抗蚀剂浓度”)与吸光度之间能获得良好的直线关系这一原理。然而，碱性显影液容易吸收空气中的二氧化碳而产生碳酸盐。此时，显影液中的具有显影活性的碱成分被消耗而减少。因而，为了高精度地对显影液的显影性能进行维持管理，需要综合考虑被显影液吸收的二氧化碳对显影性能带来的影响来进行显影液管理。为了解决这样的问题，在专利文献2中公开了如下的显影液调制装置等，该显影液调制装置对显影液的超声波传播速度、导电率及吸光度进行测定，基于碱浓度、碳酸盐浓度及溶解树脂浓度中的超声波传播速度、导电率和吸光度的预先作成的关系(矩阵)来检测显影液的碱浓度、碳酸盐浓度及溶解树脂浓度，并基于测定出的显影液的碱浓度、碳酸盐浓度和溶解树脂浓度、以及能够发挥使CD值(criticaldimensionvalue)(线宽)为固定值这样的溶解能力的碱浓度、碳酸盐浓度和溶解树脂浓度的预先作成的关系，来控制显影液原液的供给以调节碱浓度。另外，在专利文献3中，公开了如下的碱显影液管理系统等，该碱显影液管理系统具备：碳酸系盐类浓度测定装置，其对显影液的折射率、导电率、吸光度进行测定，并根据这些测定值来取得显影液中的碳酸系盐类浓度；以及控制部，其对该碳酸系盐类浓度测定装置和显影液中的碳酸系盐类浓度进行控制。在先技术文献专利文献专利文献1：日本专利第2561578号公报专利文献2：日本特开2008-283162号公报专利文献3：日本特开2011-128455号公报然而，碱性显影液的超声波传播速度值或折射率值是表示多成分系的碱性显影液的液体整体的性质的特性值。这样的表示液体整体的性质的特性值通常不是仅与该液体中含有的特定的成分的浓度相关。这样的表示液体整体的性质的特性值通常与该液体中含有的各种成分的浓度分别具有关联性。因此，在根据这样的表示液体整体的性质的特性值的测定值来运算显影液的成分浓度的情况下，若设定某特性值仅与某特定的成分浓度相关(例如存在直线关系)而无视其它成分对该特性值带来的影响，则存在无法以充分的精度算出该特定成分的浓度的问题。另一方面，在设定显影液的特性值为显影液中含有的各种成分的浓度的函数而根据显影液的特性值的测定值来算出各成分浓度的情况下，在测定出多个特性值之后，需要采用根据这些特性值的测定值来算出各成分浓度的适当的运算方法。然而，适当地选择要测定的特性值以及找到能够根据特性值的测定值来精度良好地算出各成分浓度的适当的运算方法都是非常困难的。因此，若被测定的特性值和运算方法不适当，则存在无法以充分的精度算出各成分浓度的问题。进而，在多成分系的液体中，通常某成分的浓度并不会与其它成分的浓度彼此独立。在多成分系的液体中，存在当某成分的浓度变化时其它成分浓度也同时变化这样的相互关系。这样就导致更难进行高精度的成分浓度的算出及高精度的显影液管理。此外，就显影液所吸收的二氧化碳的浓度(以下称作“吸收二氧化碳浓度”)而言，并不知晓与该吸收二氧化碳浓度之间存在良好的关联性的显影液的适当的特性值，目前难以精度良好地测定吸收二氧化碳浓度。而且，在显影液的管理中，重要的就是监视显影液的吸收二氧化碳浓度的变化。
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术为了解决上述各课题而提出。本专利技术的目的在于提供一种能够根据多成分系的显影液的密度值来测定显影液的吸收二氧化碳浓度并且能够监视吸收二氧化碳浓度的变化的浓度监视装置、以及能够以使显影液的二氧化碳浓度成为规定的管理值或者不超过规定的管理值的方式进行管理的显影液管理装置。用于解决课题的方案本专利技术的显影液的浓度监视装置具备：密度仪；运算机构，其基于由所述密度仪测定出的显现碱性的显影液的密度值，根据所述显影液的密度与吸收二氧化碳浓度之间的对应关系来算出所述显影液的吸收二氧化碳浓度；以及警报机构，其在由所述运算机构算出的所述显影液的吸收二氧化碳浓度值偏离预先设定的管理范围时发出警报。根据本专利技术，由于具备对与显影液的吸收二氧化碳浓度具有良好的对应关系的密度值进行测定的密度仪，因此能够根据由密度仪测定出的密度值来算出显影液的吸收二氧化碳浓度，并且能够通过警报机构的警报来监视显影液的浓度。在浓度监视装置中，具备发送警报信号的外部输出信号端子、发出警报声的警报装置、灯光点亮或闪烁的警告灯、显示警告的显示装置以及切换触点的开闭的转换端子中的至少任一方来作为所述警报机构。本专利技术的显影液管理装置具备：密度仪；控制机构，其基于由所述密度仪测定出的显现碱性的显影液的密度值，使用所述显影液的密度与吸收二氧化碳浓度之间的对应关系，以使所述显影液的吸收二氧化碳浓度成为规定的管理值或者管理值以下的方式向控制阀发送控制信号，所述控制阀设置在输送向所述显影液补给的补充液的管路上；以及警报机构，其在由所述密度仪测定出的所述显影液的密度值偏离与预先设定的吸收二氧化碳浓度的管理范围对应的密度范围时发出警报，所述密度范围是根据所述显影液的密度与吸收二氧化碳浓度之间的对应关系而确定的。根据本专利技术，利用显影液的密度与吸收二氧化碳浓度的对应关系并根据由密度仪测定出的显影液的密度值可知晓要补给的补充液的量，因此能够以使显影液的吸收二氧化碳浓度成为规定的管理值或者管理值以下的方式补给补充液来进行管理，并且能够通过警报机构的警报来监视显影液的浓度。本专利技术的显影液管理装置具备：密度仪；运算控制机构，其具备运算部和控制部，所述运算部基于由所述密度仪测定出的显现碱性的显影液的密度值，根据所述显影液的密度与吸收二氧化碳浓度之间的对应关系来算出所述显影液的吸收二氧化碳浓度，所述控制部基于由所述运算部算出的所述显影液的吸收二氧化碳浓度，以使所述显影液的吸收二氧化碳浓度成为规定的管理值或者管理值以下的方式向控制阀发送控制信号，所述控制阀设置在输送向所述显影液补给的补充液的管路上；以及警报机构，其在由所述运算部算出的所述显影液的吸收二氧化碳浓度值偏离预先设定的管理范围时发出警报。根据本专利技术，由于具备对与显影液的吸收二氧化碳浓度具有良好的对应关系的密度值进行测定的密度仪，因此能够根据由密度仪测定出的密度值来算出显影液的吸收二氧化碳浓度，能够以使显影液的吸收二氧化碳浓度成为规定的管理值或者管理值以下的方式补给补充液来进行管理，并且能够通过警报机构的警报来监视显影液的浓度。本专利技术的显影液管理装置具备：密度仪；运算机构本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显影液的浓度监视装置，其中，所述显影液的浓度监视装置具备：密度仪；运算机构，其基于由所述密度仪测定出的显现碱性的显影液的密度值，根据所述显影液的密度与吸收二氧化碳浓度之间的对应关系来算出所述显影液的吸收二氧化碳浓度；以及警报机构，其在由所述运算机构算出的所述显影液的吸收二氧化碳浓度值偏离预先设定的管理范围时发出警报。

【技术特征摘要】
2017.01.23 JP 2017-0098341.一种显影液的浓度监视装置，其中，所述显影液的浓度监视装置具备：密度仪；运算机构，其基于由所述密度仪测定出的显现碱性的显影液的密度值，根据所述显影液的密度与吸收二氧化碳浓度之间的对应关系来算出所述显影液的吸收二氧化碳浓度；以及警报机构，其在由所述运算机构算出的所述显影液的吸收二氧化碳浓度值偏离预先设定的管理范围时发出警报。2.根据权利要求1所述的显影液的浓度监视装置，其中，所述显影液的浓度监视装置具备发送警报信号的外部输出信号端子、发出警报声的警报装置、灯光点亮或闪烁的警告灯、显示警告的显示装置以及切换触点的开闭的转换端子中的至少任一方来作为所述警报机构。3.一种显影液管理装置，其中，所述显影液管理装置具备：密度仪；控制机构，其基于由所述密度仪测定出的显现碱性的显影液的密度值，使用所述显影液的密度与吸收二氧化碳浓度之间的对应关系，以使所述显影液的吸收二氧化碳浓度成为规定的管理值或者管理值以下的方式向控制阀发送控制信号，所述控制阀设置在输送向所述显影液补给的补充液的管路上；以及警报机构，其在由所述密度仪测定出的所述显影液的密度值偏离与预先设定的吸收二氧化碳浓度的管理范围对应的密度范围时发出警报，所述密度范围是根据所述显影液的密度与吸收二氧化碳浓度之间的对应关系而确定的。4.根据权利要求3所述的显影液管理装置，其中，所述显影液管理装置具备发送警报信号的外部输出信号端子、发出警报声的警报装置、灯光点亮或闪烁的警告灯、显示警告的显示装置以及切换触点的开闭的转换端子中的至少任一方来作为所述警报机构。5.一种显影液管理装置，其中，所述显影液管理装置具备：密...

【专利技术属性】
技术研发人员：中川俊元，
申请(专利权)人：株式会社平间理化研究所，
类型：发明
国别省市：日本,JP