工程机械薄膜压力传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种工程机械薄膜压力传感器，包括由下端外部具有外螺纹、贯通中心的引压通孔、安装有在所述引压通孔下部的脉冲阻尼器、上部加工有边凸台和顶凸台的引压嘴；利用离子束溅射技术和精密光刻技术制造的敏感元件；电路板支架；壳体；连接器；信号调理电路和保护电路组成的混合电路板组成。由于采用了溅射薄膜技术制造压力传感器芯体，敏感材料原子沉积在弹性体上，实现了敏感材料与弹性体的原子融合，结合混合调理电路技术，使得传感器具有精度高、稳定性好、工作温度范围宽、可靠性高、工作寿命长的优点。

【技术实现步骤摘要】
工程机械薄膜压力传感器
本技术涉及传感器
，尤其涉及一种工程机械薄膜压力传感器。
技术介绍
工程机械工作状况较恶劣，对压力传感器的要求高。目前工程机械压力传感器主要使用的是滑动片在电阻板上滑动产生相应电阻值用以测量所受压力大小，主要问题是机械磨损大，精度低，使用寿命短，可靠性不高。因此，开发一种精度高、工作寿命长、可靠性高的可适合工程机械使用的压力传感器极其重要。溅射薄膜压力传感器芯体是采用真空原子薄膜沉积技术，将绝缘材料、应变敏感材料等沉积在弹性体表面而形成的一种性能优良的压力传感器，它具有精度高、稳定性好、工作温度范围宽、可靠性高、工作寿命长等优点。利用溅射薄膜压力传感器芯体和调理电路组合，制造高性能薄膜压力传感器，在工程机械领域应用，可以很好的解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于针对上述问题，提供一种工程机械薄膜压力传感器，以实现精度高、稳定性好、工作温度范围宽、可靠性高、工作寿命长等优点。为解决以上技术问题，本技术的技术方案是：一种工程机械薄膜压力传感器，其特征在于，包括由下端外部具有外螺纹、贯通中心的引压通孔、安装有在所述引压通孔下部的脉冲阻尼器、上部加工有边凸台和顶凸台的引压嘴；利用离子束溅射技术和精密光刻技术制造的敏感元件；电路板支架；壳体；连接器；信号调理电路和保护电路组成的混合电路板组成，所述信号调理电路有四个端子与所述敏感元件表面的压力敏感电路相连，当所述敏感元件受压时，压力敏感电路输出与所受压力成比例的电信号经所述信号调理电路调理成标准输出信号。所述保护电路具有防止供电电源反接，防雷击功能。所述脉冲阻尼器顶部加工有0.5至0.8mm的通孔。与现有技术相比，本技术所具有的有益效果为：由于采用了溅射薄膜技术制造压力传感器芯体，敏感材料原子沉积在弹性体上，实现了敏感材料与弹性体的原子融合，使得传感器具有精度高、稳定性好、工作温度范围宽、可靠性高、工作寿命长的优点。结合混合调理电路技术，使薄膜压力传感器同样具有精度高、稳定性好、可靠性高、工作寿命长的优点。本技术的工程机械薄膜压力传感器的主要性能指标如下：测量范围：0～1～200MPa综合精度：0.2％FS～0.5％FS工作温度范围：-55℃～125℃消耗电流：≤8mA；零点温度漂移：≤±0.02％FS/℃长期稳定性：≤±0.1％FS/年附图说明图1为本技术的工程机械薄膜压力传感器剖面示意图。图2为本技术的工程机械薄膜压力传感器电路框图。图中：1、引压嘴；2、敏感元件；3、电路板支架；4、壳体；5、连接器；6、混合电路板；7、外引线；8、内引线；9、连接针；11、外螺纹；12、引压通孔；13、脉冲阻尼器；14、边凸台；15、顶凸台；21、压力敏感电路；61、信号调理电路；62、保护电路。具体实施方式以下结合附图对本技术优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限制本技术。如图1、2所示，一种工程机械薄膜压力传感器，首先采用机械加工的方法制造引压嘴1，所述引压嘴1下端外部具有外螺纹11，中心部位具有贯通的引压通孔12，所述引压通孔12下部安装有脉冲阻尼器13，所述引压嘴1上部加工有边凸台14和顶凸台15。所述脉冲阻尼器13顶部加工有0.5至0.8mm的通孔。采用机械加工方法制造电路板支架3和壳体4备用。采用机械加工方法制造敏感元件2，利用离子束溅射技术和精密光刻技术在所述敏感元件2的上表面制造压力敏感电路21。所述压力敏感电路21具有四个阻值相等的薄膜电阻并组成惠斯通电桥。当所述敏感元件2受压时，惠斯通电桥失出平衡，产生与所受压力成比例的电信号。制造由信号调理电路61和保护电路62组成的混合电路板6。所述信号调理电路61有四个端子与所述压力敏感电路21相连，将所述敏感元件2受压时，惠斯通电桥输出的与所受压力成比例的电信号调理成标准输出信号，如4～20mA，0.5～4.5V等。保护电路62具有防止供电电源反接，防雷击等功能。将所述敏感元件2下部套合在所述引压嘴1的顶凸台15上并在接合处牢固密封焊接。将所述电路板支架3安装在所述敏感元件2的上部外缘台阶上并固定；将所述混合电路板安6装在所述电路板支架3上。通过内引线8将所述压力敏感电路21与所述混合电路板6连接。将所述壳体4安装在引压嘴1的边凸台14上并密封焊接。通过外引线7将混合电路板6与连接器5内部的连接针9下端连接；将所述连接器5与所述壳体4吻合并牢固密封焊接。将所述引压嘴1的外螺纹11与交变试验机连接，进行压力交变试验；将完成交变试验的产品放入高低温箱中进行高低温试验。具体工作原理为：当压力作用在敏感元件2时，所述惠斯通电桥的四个电阻阻值发生变化，电桥失出平衡输出与所受压力成比例的电信号。电信号通过信号调理电路61调理成标准的变送器输出信号并通过保护电路62向外输出，检测输出的标准信号即可得到所受压力值的大小。以上所述，仅是本技术的较佳实施方式，不应被视为对本技术范围的限制，而且本技术所主张的权利要求范围并不局限于此，凡熟悉此领域技艺的人士，依照本技术所披露的
技术实现思路
，可轻易思及的等效变化，均应落入本技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种工程机械薄膜压力传感器，其特征在于，包括由下端外部具有外螺纹(11)、贯通中心的引压通孔(12)、安装有在所述引压通孔(12)下部的脉冲阻尼器(13)、上部加工有边凸台(14)和顶凸台(15)的引压嘴(1)；利用离子束溅射技术和精密光刻技术制造的敏感元件(2)；电路板支架(3)；壳体(4)；连接器(5)；信号调理电路(61)和保护电路(62)组成的混合电路板(6)组成，所述信号调理电路(61)有四个端子与所述敏感元件(2)表面的压力敏感电路(21)相连，当所述敏感元件(2)受压时，压力敏感电路(21)输出与所受压力成比例的电信号经所述信号调理电路(61)调理成标准输出信号。

【技术特征摘要】
1.一种工程机械薄膜压力传感器，其特征在于，包括由下端外部具有外螺纹(11)、贯通中心的引压通孔(12)、安装有在所述引压通孔(12)下部的脉冲阻尼器(13)、上部加工有边凸台(14)和顶凸台(15)的引压嘴(1)；利用离子束溅射技术和精密光刻技术制造的敏感元件(2)；电路板支架(3)；壳体(4)；连接器(5)；信号调理电路(61)和保护电路(62)组成的混合电路板(6)组成，所述信号调理电路(61)有四个...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷卫武，
申请(专利权)人：北京中航兴盛测控技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11