弹性体应变薄膜电阻制造技术

本实用新型专利技术公开了一种弹性体应变薄膜电阻，包括位于中心位置镜像分布的二个内电阻栅、位于纵轴方向边缘位置镜像分布的二个外电阻栅、位于横轴方向边缘位置镜像分布的二个补偿电阻栅、位于边缘位置镜像分布的四个栅条焊盘以及四个补偿焊盘组成。上述电阻栅和焊盘均采用离子束薄膜溅射技术和精密光刻技术制造而成，位于钢杯的平膜片的表面。二个内电阻栅、二个外电阻栅四个电阻可以组成惠斯通电桥，当电桥在零点输出不为零时，选择所述二个补偿电阻栅的适当阻值，串入在惠斯通电桥的桥臂中，使惠斯通电桥的零点输出尽量小。这样传感器配阻容易，溅射薄膜传感器优良性能得到保障。

Elastic body strain film resistance

The utility model discloses an elastic strain film resistance, including two internal resistance grids located in a central position mirror distribution, two external resistance grids located in the mirror image distribution at the edge position of the longitudinal axis, two compensating resistors located in the edge position mirror image distribution, and four grids located at the edge position mirror image distribution. The welding plate and four compensation welding plates are made up. The resistance grids and pads are fabricated by ion beam thin film sputtering and precision lithography, and are located on the surface of the flat diaphragm of the steel cup. The two internal resistance grid and two external resistance grid four resistors can make up the Wheastone bridge. When the bridge is not zero at zero output, the appropriate values of the two compensation resistors are selected, and the zero point output of the Wheastone bridge is as small as the bridge arm of the Wheastone bridge. In this way, the resistance of the sensor is easy to distribute, and the excellent performance of the sputtering film sensor is guaranteed.

【技术实现步骤摘要】
弹性体应变薄膜电阻
本技术涉及一种弹性体应变薄膜电阻，尤其涉及一种弹性体钢杯平膜片应变薄膜电阻的技术改进。
技术介绍
溅射薄膜压力传感器是一种性能优良的压力传感器，它具有精度高、稳定性好等优点，在许多领域得到应用。但溅射薄膜压力传感器大都采用弹性体钢杯制造，在钢杯的平膜片上布置四个应变电阻栅，形成惠斯通电桥，这种方式制造电桥，其桥臂四个电阻离散性较大，传感器配阻困难，传感器零点输出大，传感器优良性能得不到保障。因此，开发一种配阻方便、传感器零点输出尽量小的弹性体应变薄膜电阻极其重要。在不影响弹性体任何性能的前提下，增加二个补偿电阻栅，选用适当的补偿电阻串入电桥中，可使惠斯通电桥零点输出尽量小，并提高生产效率，解决上述存在的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种带补偿电阻栅，方便配阻，针对现有技术的不足，实现压力传感器弹性体薄膜电阻零点输出尽量小的目的。为解决以上技术问题，本技术的技术方案是：包括位于中心位置镜像分布的二个内电阻栅、位于纵轴方向边缘位置镜像分布的二个外电阻栅、位于横轴方向边缘位置镜像分布的二个补偿电阻栅、位于边缘位置镜像分布的四个栅条焊盘以及四个补偿焊盘组成。所述二个内电阻栅、二个外电阻栅、二个补偿电阻栅、四个栅条焊盘以及四个补偿焊盘采用离子束薄膜溅射技术和精密光刻技术制造而成，位于钢杯的平膜片的表面。所述二个内电阻栅、二个外电阻栅组成惠斯通电桥，当压力作用在所述平膜片时，位于平膜片的所述惠斯通电桥失出平衡，输出与所受压力成比例的电信号。所述二个内电阻栅、二个外电阻栅组成惠斯通电桥时，选择所述二个补偿电阻栅串入在惠斯通电桥中，使所述惠斯通电桥的零点输出尽量小。与现有技术相比，本技术所具有的有益效果为：在不影响弹性体任何性能的前提下，增加二个容易配阻的补偿电阻栅。在组桥时，选用适当的补偿电阻串入电桥中，可使惠斯通电桥零点输出尽量小，并提高生产效率，保证溅射薄膜压力传感器的优良性能。附图说明图1为本技术的薄膜电阻栅布置示意图。图2为本技术的弹性体钢杯的剖面示意图。图中：1、平膜片；2、内电阻栅；3、外电阻栅；4-1、栅条焊盘1；4-2、栅条焊盘2；4-3、栅条焊盘3；4-4、栅条焊盘4；4-5、补偿焊盘1；4-6、补偿焊盘2；4-7、补偿焊盘3；4-8、补偿焊盘4；5、补偿电阻栅；6、钢杯。具体实施方式如图1、2所示，一种弹性体应变薄膜电阻，包括位于中心位置镜像分布的二个内电阻栅2、位于纵轴方向边缘位置镜像分布的二个外电阻栅3、位于横轴方向边缘位置镜像分布的二个补偿电阻栅5、位于边缘位置镜像分布的四个栅条焊盘4-1、栅条焊盘4-2、栅条焊盘4-3、栅条焊盘4-4以及四个补偿焊盘4-5、补偿焊盘4-6、补偿焊盘4-7、补偿焊盘4-8组成。上述电阻栅和焊盘均采用离子束薄膜溅射技术和精密光刻技术制造而成，均位于钢杯6的平膜片1的表面。所述二个内电阻栅2、二个外电阻栅3四个电阻可以组成惠斯通电桥，即在栅条焊盘4-1、栅条焊盘4-2、栅条焊盘4-3、栅条焊盘4-4上引线，当对角的栅条焊盘4-3、栅条焊盘4-4引线输入电压时，另一对角的栅条焊盘4-1、栅条焊盘4-2引线有信号输出。当电桥在零点输出不为零时，选择所述二个补偿电阻栅5的适当阻值，串入在惠斯通电桥的桥臂中，即补偿焊盘4-5、补偿焊盘4-6、补偿焊盘4-7、补偿焊盘4-8中的任意一个或二个替代所述栅条焊盘4-1或/和栅条焊盘4-2，使所述惠斯通电桥的零点输出尽量小。工作原理：所述二个内电阻栅2、二个外电阻栅3或串入补偿电阻栅5组成惠斯通电桥，当压力作用在所述平膜片1时，位于平膜片1的所述惠斯通电桥失出平衡，输出与所受压力成比例的电信号，通过检测输出电信号就可以得到钢杯所受的压力大小。以上所述，仅是本技术的较佳实施方式，不应被视为对本技术范围的限制，而且本技术所主张的权利要求范围并不局限于此，凡熟悉此领域技艺的人士，依照本技术所披露的
技术实现思路
，可轻易思及的等效变化，均应落入本技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弹性体应变薄膜电阻，其特征在于：包括位于中心位置镜像分布的二个内电阻栅(2)，位于纵轴方向边缘位置镜像分布的二个外电阻栅(3)，位于横轴方向边缘位置镜像分布的二个补偿电阻栅(5)，位于边缘位置镜像分布的四个栅条焊盘(4‑1)、栅条焊盘(4‑2)、栅条焊盘(4‑3)、栅条焊盘(4‑4)以及四个补偿焊盘(4‑5)、补偿焊盘(4‑6)、补偿焊盘(4‑7)、补偿焊盘(4‑8)组成。

【技术特征摘要】
1.一种弹性体应变薄膜电阻，其特征在于：包括位于中心位置镜像分布的二个内电阻栅(2)，位于纵轴方向边缘位置镜像分布的二个外电阻栅(3)，位于横轴方向边缘位置镜像分布的二个补偿电阻栅(5)，位于边缘位置镜像分布的四个栅条焊盘(4-1)、栅条焊盘(4-2)、栅条焊盘(4-3)、栅条焊盘(4-4)以及四个补偿焊盘(4-5)、补偿焊盘(4-6)、补偿焊盘(4-7)、补偿焊盘(4-8)组成。2.如权利要求1所述的弹性体应变薄膜电阻，其特征在于：所述二个内电阻栅(2)，二个外电阻栅(3)，二个补偿电阻栅(5)，四个栅条焊盘(4-1)、栅条焊盘(4-2)、栅条焊盘(4-3)、栅条焊盘(4-4...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷卫武，曾朋辉，
申请(专利权)人：北京中航兴盛测控技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11