一种扩散炉炉门密封结构制造技术

本发明专利技术涉及扩散炉技术领域，尤其涉及扩散炉炉门密封结构，包括石英管、炉门本体、平移机构和旋转机构，平移机构和旋转机构均与炉门本体连接，分别用于带动炉门本体平移和旋转，进而使炉门打开或关闭，石英管包括第一管段和沿第一管段的轴向向外延伸出的第二管段，第一管段的内径小于第二管段的内径，炉门本体包括轴向上平行设置的内门和外门，在炉门闭合时，内门嵌入到第二管段内将第一管段的管口封堵，外门将第二管段的管口封堵。该炉门密封结构采用内门和外门双层封堵，即使内门在长期使用后密封性下降，外层门依然能够起到良好的封堵效果，提高了密封性，保证了工艺效果。

A kind of sealing structure of the diffuser furnace door

The invention relates to the technical field of diffusion furnace, in particular to the sealing structure of a diffuser furnace door, including a quartz tube, a furnace door body, a translation mechanism and a rotating mechanism. The translation mechanism and the rotating mechanism are connected to the body of the furnace door, which are used to drive and rotate the body of the furnace door, and then open or close the furnace door, and the quartz tube includes the first part. The inner diameter of the first pipe section is smaller than the inner diameter of the second pipe section, the inner diameter of the first pipe section is smaller than the inner diameter of the second pipe section. The furnace door body includes the inner and outer doors which are arranged in the axial parallel. The inner door is embedded in the second pipe section when the door is closed, and the outer door seals the pipe mouth of the second pipe section. Plugging. The sealing structure of the door is sealed with inner and outer doors. Even if the inner door is sealed down after long term use, the outer door can still have good sealing effect, improve the sealing and guarantee the effect of the process.

【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉炉门密封结构
本专利技术涉及扩散炉
，尤其涉及扩散炉炉门密封结构。
技术介绍
随着可再生环保能源开发的兴起，太阳能越来越受到人们的关注，近年来，太阳能电池已经成为世界各国普遍关注和大力发展的产业，而扩散炉则是太阳能电池过程中的重要设备之一，而提高设备使用率，减少维护成本，节约耗材，是降低成本不可或缺的必要环节。考虑到经济性，扩散炉的炉门装置启闭自动程度和密封性会直接影响生产成本，扩散炉的炉门装置的密封性能直接影响着扩散源的利用率和太阳能电池的转化效率，同时，其自动化程度和可靠性大大增加设备的利用率，进而降低生产成本，也能提高产品质量和生产率，所述扩散炉的炉门装置的自动化程度及密封性至关重要。目前扩散炉的炉门机构采用单层石英门与石英管口对接密封的密封形式，属于“硬”密封，在长期使用时会导致石英门和石英管口之间的反应物堆积，造成腐蚀，削弱密封效果。密封效果削弱后，反应腔室内部的工艺气氛受到破坏，造成工艺效果不稳定，降低光伏电池片的效率。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利技术要解决的技术问题是解决现有的扩散炉炉门密封性不好的问题。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种扩散炉炉门密封结构，包括石英管、炉门本体、平移机构和旋转机构，所述平移机构和所述旋转机构均与所述炉门本体连接，分别用于带动所述炉门本体平移和旋转，所述石英管包括第一管段和沿所述第一管段的轴向向外延伸出的第二管段，所述第一管段的内径小于第二管段的内径；所述炉门本体包括轴向上平行设置的内门和外门，在炉门本体闭合时，所述内门嵌入到所述第二管段内用于封堵所述第一管段，所述外门与所述第二管段的管口配合用于封堵第二管段，所述外门用于封堵所述第二管段。其中，所述内门为一端敞口另一端封闭的圆筒形，且所述内门的外径不小于所述第一管段的内径，所述内门的敞口端与所述外门连接，所述内门的封闭端与所述第一管段的管口配合；所述外门的形状为圆盘形，所述外门的直径不小于所述第二管段的内径。其中，所述内门和所述外门之间设有柔性连接件，所述柔性连接件用于将所述内门和所述外门连接。其中，所述内门的腔室内设置有卡接件，所述卡接件和所述内门的封闭端之间填充有保温棉，所述柔性连接件的两端分别与卡接件和外门连接，使所述内门和所述外门沿轴向相向或相背运动。其中，还包括导向柱，所述导向柱的一端与所述外门连接，另一端设有挡块，所述卡接件上设有通孔，所述通孔可滑动的套设于所述导向柱上，所述柔性连接件套设于所述导向柱上。其中，所述外门在与所述内门的连接的端面上设有密封垫。其中，所述外门的端面上设有凹槽，所述凹槽内安装有炉门架板，所述炉门架板，且所述炉门架板的中心设有连接轴，用于连接所述旋转机构和平移机构。其中，所述外门上还设有抽气口、补气口和冷水槽，所述抽气口和所述补气口均贯穿所述外门，在所述炉门本体闭合时，所述炉门本体与所述第二管段的内壁之间形成空气夹层，所述抽气口和补气口分别用于向所述空气夹层内抽气和补气；所述冷水槽设于所述外门的内部，所述外门上还设有与所述冷水槽连通的进水口和出水口。其中，还包括压力检测机构和控制机构，所述压力检测机构用于检测所述空气夹层内的压力，所述控制机构与所述压力检测机构连接，用于根据所述压力检测机构检测到的压力向所述空气夹层内抽气或补气，以保证所述内门受力平衡。其中，还包括护罩，所述护罩扣设于所述外门上。(三)有益效果本专利技术的上述技术方案具有如下优点：本专利技术提供的扩散炉炉门密封结构包括石英管、炉门本体、平移机构和旋转机构，平移机构和旋转机构均与炉门本体连接，分别用于带动炉门本体平移和旋转，进而使炉门打开或关闭，石英管包括第一管段和沿第一管段的轴向向外延伸出的第二管段，第一管段的内径小于第二管段的内径，炉门本体包括轴向上平行设置的内门和外门，在炉门闭合时，内门嵌入到第二管段内将第一管段的管口封堵，外门将第二管段的管口封堵。该炉门密封结构采用内门和外门双层封堵，即使内门在长期使用后密封性下降，外层们依然能够起到良好的封堵效果，提高了密封性，保证了工艺效果。除了上面所描述的本专利技术解决的技术问题、构成的技术方案的技术特征以及有这些技术方案的技术特征所带来的优点之外，本专利技术的其他技术特征及这些技术特征带来的优点，将结合附图作出进一步说明。附图说明图1是本专利技术实施例提供的一种扩散炉炉门密封结构的结构示意图；图2是本专利技术实施例提供的扩散炉炉门密封结构的侧视图(除风扇外)；图3是本专利技术实施例提供的炉门本体的结构示意图；图4是本专利技术实施例提供的外门的结构示意图；图5是本专利技术实施例提供的内门的结构示意图；图6是本专利技术实施例提供的卡接件的结构示意图。图中：1：内门；2：外门；3：旋臂；4：平移气缸；5：旋转气缸；6：底座；7：平移滑块连接板；8：固定板；9：平移气缸连接板；10：旋转气缸连接杆；11：风扇；12：限位块；13：石英管；14：调节螺杆；15：平移导轨；16：固定块；17：隔热垫；18：压力传感器；19：微动开关；20：弹簧柱塞；21：炉门架板；22：盖板；23：抽气口；24：补气口；25：隔挡件；26：进出水口；27：密封圈；28：密封垫；29：压环；30：关节轴承；31：连接轴；32：固定杆；33：保温棉；34：柔性连接件；35：导向柱；36：卡接件；37：护罩；101：安装孔；361：中心盘；362：卡爪；363：锁紧片。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。此外，在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”、“多根”、“多组”的含义是两个或两个以上，“若干个”、“若干根”、“若干组”的含义是一个或一个以上。如图1至图6所示，本专利技术实施例提供的一种扩散炉炉门密封结构，包括石英管13、炉门本体、平移机构和旋转机构；平移机构和旋转机构均与炉门本体连接，分别用于带动炉门本体平移和旋转，石英管13包括第一管段和沿第一管段的轴向向外延伸出的第二管段，第一管段的内径小于第二管段的内径；炉门本体包括轴向上平行设置的内门1和外门2，内门1采用石英材料制成，外门2采用铝合金制成，在炉门本体闭合时，内门1嵌入到第二管段内用于封堵第一管段，外门2用于封堵第二管段。该炉门密封结构采用内门1和外门2双层封堵，即使内门1在长期使用后密封性下降，外门2依然能够起到良好的封堵效果，提高了密封性，保证了工艺效果。在本实施例中，平移机构设于固定板8上，且平移机构包括平移气缸4、平移滑块15和平移导轨，平移气缸4的数量为两个，两个平移气缸4并联，两个平移气缸4平行设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扩散炉炉门密封结构，其特征在于：包括石英管、炉门本体、平移机构和旋转机构，所述平移机构和所述旋转机构均与所述炉门本体连接，分别用于带动所述炉门本体平移和旋转，所述石英管包括第一管段和沿所述第一管段的轴向向外延伸出的第二管段，所述第一管段的内径小于第二管段的内径；所述炉门本体包括轴向上平行设置的内门和外门，在炉门本体闭合时，所述内门嵌入到所述第二管段内用于封堵所述第一管段，所述外门与所述第二管段的管口配合用于封堵第二管段，所述外门用于封堵所述第二管段。

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉炉门密封结构，其特征在于：包括石英管、炉门本体、平移机构和旋转机构，所述平移机构和所述旋转机构均与所述炉门本体连接，分别用于带动所述炉门本体平移和旋转，所述石英管包括第一管段和沿所述第一管段的轴向向外延伸出的第二管段，所述第一管段的内径小于第二管段的内径；所述炉门本体包括轴向上平行设置的内门和外门，在炉门本体闭合时，所述内门嵌入到所述第二管段内用于封堵所述第一管段，所述外门与所述第二管段的管口配合用于封堵第二管段，所述外门用于封堵所述第二管段。2.根据权利要求1所述的扩散炉炉门密封结构，其特征在于：所述内门为一端敞口另一端封闭的圆筒形，且所述内门的外径不小于所述第一管段的内径，所述内门的敞口端与所述外门连接，所述内门的封闭端与所述第一管段的管口配合；所述外门的形状为圆盘形，所述外门的直径不小于所述第二管段的内径。3.根据权利要求1所述的扩散炉炉门密封结构，其特征在于：所述内门和所述外门之间设有柔性连接件，所述柔性连接件用于将所述内门和所述外门连接。4.根据权利要求3所述的扩散炉炉门密封结构，其特征在于：所述内门的腔室内设置有卡接件，所述卡接件和所述内门的封闭端之间填充有保温棉，所述柔性连接件的两端分别与卡接件和外门连接，使所述内门和所述外门沿轴向相向或相背运动。5.根据权利要求4所述的扩散炉炉门密封结构，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：张磊，耿丹，孙鹏涛，桂晓波，王广明，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11