防静电装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种防静电装置，包括座体部、转动组件、导电部及吸附部；转动组件可转动地设置于座体部；导电部设置于座体部；吸附部设置于转动组件内，转动组件转动时，吸附部用以吸附导电部，导电部接触于转动组件；据此，通过吸附部吸附导电部的设计，使得导电部能持续接触转动组件，以提升导电部与转动组件之间连续导接功能，达到静电自主接地的效果，还可降低静电干扰或损害基板的电子组件的问题，从而降低产品失败的机率，此外，吸附部还可将导电部被转动组件磨耗后产生的金属残留物或金属粉尘及时吸附，避免金属残留物或金属粉尘掉落至地面或散落于现场环境所造成的污染。

Antistatic device

The utility model discloses an antistatic device, which comprises a seat body part, a rotating component, a conductive part and an adsorption section. The rotating component is rotatably set at the seat body, the conductive part is set at the seat body, the adsorption section is set in the rotating component, and when the rotating component is rotated, the adsorption section is used to adsorb the conductive part and the conductive part is in contact with the rotation. According to the design of the adsorption section, the conductive part can continue to contact the rotating component to improve the continuous conduction between the conductive part and the rotating component, to achieve the effect of electrostatic self grounding, and to reduce the problems of electrostatic interference or damage to the electronic components of the substrate, thus reducing the failure of the machine. In addition, the adsorption section can also adsorb the metal residue or metal dust produced by the wear of the electrical part after the wear of the rotating component to avoid the contamination caused by the metal residue or the metal dust falling to the ground or in the field environment.

【技术实现步骤摘要】
防静电装置
本技术是有关于一种防静电装置，尤其是指一种用于输送基板设备的防静电装置。
技术介绍
静电是一种处于静止状态的电荷或者说不流动的电荷(流动的电荷就形成了电流)。任何两个不同材质的物体接触后再分离，即可产生静电，而产生静电的普遍方法，就是摩擦生电，但是，某些情况下不摩擦也能产生静电，如感应静电起电或喷射起电等。由此可知，于人们生活的环境都有可能产生静电，因此需要采取适当措施以达到防护静电的目的，避免静电产生危害。在高科技的电子产业，也可能因静电产生危害，例如在组件间残留的静电所导致制程失败，因而对于组件间残留的静电问题越来越被重视。一般而言，在生产过程中静电防护的主要措施例如用中和或接地的方法，针对面板制程，中和方法例如利用带离子CO2混合水来中和表面静电压，此方式通常是利用在湿段制程。就干段制程的要求来说，往往是依靠滚轴与导电刷的接地能力去达到清除静电效果。然而，滚轴需要与导电刷接触，才能将静电传至导电刷，于滚轴旋转过程中，导电刷可能因滚轴的转动而产生变形弯折，变形后的导电刷若与滚轴接触不完整或根本未接触滚轴时，则会导致偶发性断路，静电无法被排除，进而使产品失败的风险机率上升。又或者，导电刷若因其本身弹性疲乏而无法复位，而无法再持续接触滚轴，也无法提供清除静电的效果。因此，如何提供一种能确保滚轴与导电刷相互接触的防静电装置来解决上述问题，是相关
亟需解决的课题。
技术实现思路
本技术的一目的在于，能确保滚轴与导电刷相互持续接触，以达到静电自主接地的目的。本技术的另一目的在于，持续清除静电，借此避免静电干扰或损害电子组件，因此能有效解决产品因静电导致的异常。本技术的又一目的在于，可借由吸附部吸附导电部所产生的金属残留物或金属粉尘，避免金属残余物污染环境，并可降低现场人员清理时间。本技术的再一目的在于，通过结构上的配置关系，以稳固磁吸件的设置位置而不致于脱落或是降低旋转时的晃动。本技术的其他目的在于，锁附件迫紧于轴封件，通过垫片的设置能防止药气、药液或其他制程物渗入而影响磁吸件的磁性。本技术的一实施例提出防静电装置，防静电装置包括一座体部、一转动组件、一导电部以及一吸附部。转动组件可转动地设置于座体部。导电部设置于座体部。吸附部设置于转动组件内，转动组件转动时，吸附部用以吸附导电部，导电部接触于转动组件。基于上述，在本技术的防静电装置中，通过吸附部吸附导电部的设计，使得导电部能持续接触转动组件，以提升导电部与转动组件之间连续导接功能，进而达到静电自主接地的效果。再者，借由上述静电自主接地的设计，可达到有效清除静电的目的，借此降低静电干扰或损害基板的电子组件的问题，进而降低产品失败的机率。此外，导电部被转动组件磨耗后，所产生的金属残留物或金属粉尘也可被吸附部所吸附，避免金属残留物或金属粉尘掉落至地面或散落于现场环境，可避免污染产生。附图说明图1为本技术制程设备的示意图。图2为本技术防静电装置的局部放大示意图。图3为图2的本技术防静电装置的分解示意图。图4为图2的本技术防静电装置的剖面示意图。附图中的符号说明：100制程设备；10防静电装置；11座体部；111本体；112第一容置槽；113第二容置槽；114装设件；12转动组件；121滚轴；1212容置部；123轴封件；1232孔洞；124锁附件；1242锁附端；125垫片；1252孔洞；13导电部；131金属刷体；132板体；133装配件；14吸附部；141套筒件；1412凹部；1414孔洞；142被磁吸件；1422螺孔；143磁吸件；15轴承组件；16导静电滚轮；90基板。具体实施方式以下结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，而非用以限制本技术的保护范围。图1为本技术制程设备的示意图。图2为本技术防静电装置的局部放大示意图。需说明的是，为了便于说明防静电装置，图2仅绘示防静电装置10的一端结构，并且，相对于图1而言，由于防静电装置10中两侧的座体部11结构类似，因此图2仅绘出其中一侧的座体部11为例说明。请先参阅图1所示。在本实施例中，图1的制程设备100例如为一清洗机、一显影机、一蚀刻机、一剥膜机、一涂布机或一重工机，视实际制程而可择定适当的制程机台及制程方式。再者，本实施例的制程设备100例如用在一干段制程。此外，为了便于说明，图1仅绘出制程设备100中防静电装置10中相关联的构件。在本实施例中，制程设备100中的防静电装置10连接数个导静电滚轮16，详细而言，防静电装置10包括两个相对的座体部11、至少一转动组件12、至少一导电部13以及至少一轴承组件15。导静电滚轮16搭载于转动组件12，座体部11是可承载安设有轴承组件15，转动组件12穿过于轴承组件15，使得转动组件12可转动地设置于座体部11。导电部13设置于座体部11，且导电部13用以接触转动组件12。基板90传输时，导静电滚轮16用以传输基板90，基板90位于导静电滚轮16之上，导静电滚轮16可转动地抵接基板90的下表面，以将基板90移载至目标位置，并因所需制程在目标位置制程基板90或者置放基板90，而基板90相对于下表面的上表面是用来制程之用，换言之，于制程后基板90的上表面会有电子组件。在此配置之下，制程设备100运行时，转动组件12是转动导静电滚轮16，导静电滚轮16是转动移送基板90，导电部13用以接触于转动组件12，导静电滚轮16具有导电功能，因此，基板90上的残余静电能借由导静电滚轮16传至转动组件12，接着通过转动组件12将基板90上的残余静电传至导电部13，并通过导电部13接地以排除静电。详细而言，请再参阅图2并搭配图1所示，防静电装置10包括吸附部14，吸附部14设置于转动组件12内，详细而言，转动组件12包括一滚轴121，导电部13用以接触转动组件12的滚轴121。图1中的导静电滚轮16为搭载于转动组件12中的滚轴121，滚轴121穿过于轴承组件15，使得滚轴121可转动地设置于座体部11。再者，本实施例在转动组件12内的一端/或两侧设置吸附部14，吸附部14用以吸附导电部13，使得导电部13能持续接触转动组件12中的滚轴121，基板90上的残余静电能持续借由滚轴121传至导电部13以达到清除静电的目的，本实施例的设计不仅能提升导电部13与转动组件12中滚轴121之间连续导接功能，以清除基板90上的残余静电，更可降低因残余静电干扰或损害基板90上的电子组件的问题，进而能降低产品失败的机率。此外，于转动组件12中的滚轴121转动接触至导电部13过程中，导电部13被转动组件12中的滚轴121磨耗后，所产生的金属残留物或金属粉尘也可被吸附部14所吸附，借此避免污染产生。需说明的是，上述座体部11例如绘示为一长方体，但并用以非限制本技术。此外，转动组件12、导电部13、吸附部14、轴承组件15与导静电滚轮16的数量可因制程需求而适当调整。以下借由图3与图4所示来举例说明本技术防静电装置进一步的配置关系。图3为图2的本技术防静电装置的分解示意图。图4为图2的本技术防静电装置的剖面示意图。请参阅图2至图4所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防静电装置，其特征在于，包括：一座体部；一转动组件，可转动地设置于所述座体部；一导电部，设置于所述座体部；以及一吸附部，设置于所述转动组件内，其中所述转动组件转动时，所述吸附部用以吸附所述导电部，所述导电部接触于所述转动组件。

【技术特征摘要】
2017.06.23 TW 1062092011.一种防静电装置，其特征在于，包括：一座体部；一转动组件，可转动地设置于所述座体部；一导电部，设置于所述座体部；以及一吸附部，设置于所述转动组件内，其中所述转动组件转动时，所述吸附部用以吸附所述导电部，所述导电部接触于所述转动组件。2.如权利要求1所述的防静电装置，其特征在于，其中所述吸附部包括：一套筒件；以及一磁吸件，设置于所述套筒件外表面，所述磁吸件用以吸附所述导电部。3.如权利要求2所述的防静电装置，其特征在于，其中所述吸附部还包括：一被磁吸件，设置于所述套筒件的内部，所述磁吸件吸附所述被磁吸件，使所述磁吸件固定于所述套筒件外表面。4.如权利要求2所述的防静电装置，其特征在于，其中所述磁吸件为一磁...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱显炜，郑宇轩，李宗荣，
申请(专利权)人：亚智科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71