【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种单晶炉测径仪底座。
技术介绍
单晶炉测径仪用于在单晶硅生长过程中测试硅棒的直 径,以保证单晶硅按照要求的尺寸生长。现有的单晶炉测径 仪是由底面设有一个环形卡沿的底座、设在底座上的支架, 与支架连接的托板和垫块,安装在两个垫块上的带有镜头的 电子标尺构成。使用时,将底座坐在单晶炉观察窗上,通过 电子标尺进行测径。由于不同规格的单晶炉上的观察窗大小 不同,因此在生产车间内就要配备多个分别与不同规格的单晶炉相匹配的测径仪,既增加使用成本,造成测径仪的浪费;同时使用也不方便,影响工作效率。
技术实现思路
本技术的目的是要解决现有技术存在的上述问题, 提供一种可适用不同规格的单晶炉,使用方便,降低使用成 本的单晶硅测径仪底座。本技术是这样实现的它有一个底座,在底座中部 设有透光防护镜片,其特殊之处是在底座底面由内至外设 有二至三道环形卡沿。本技术的优点是由于底座底面设有二至三道环形 卡沿,可用于不同规格的单晶炉的测径,采用一个测径仪即可对不同规格的单晶炉进行测径,降低使用成本;使用方便,可提高工作效率。附图说明图1是本技术的结构示意图2是图1的A-A剖视图。具体实施方式如图所示,本技术有一个底座1,在底座1中部设 有透光防护镜片2,在底座1前面设有顶紧螺丝3,在底座1 底面由内至外设有二道环形卡沿101 (也可在底座1底面由 内至外设有三道环形卡沿)。权利要求1、一种单晶炉测径仪底座,包括底座,在底座中部设有透光防护镜片,其特征是在底座底面由内至外设有二至三道环形卡沿。专利摘要一种单晶炉测径仪底座,解决了在生产车间中需配备多个与不同规格的单晶炉相匹配的 ...
【技术保护点】
一种单晶炉测径仪底座,包括底座,在底座中部设有透光防护镜片,其特征是:在底座底面由内至外设有二至三道环形卡沿。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张昱博,
申请(专利权)人:锦州阳光能源有限公司,
类型:实用新型
国别省市:21[中国|辽宁]
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