一种用于切克劳斯基法制造硅单晶再装料或籽晶装置中钢绳的紧固件制造方法及图纸

一种用于切克劳斯基法制造硅单晶再装料或籽晶装置中钢绳的紧固件，它至少含有一组由一个开有槽、且该槽通至螺丝的另一面的螺丝，和与该螺丝相配合的螺母。使用本紧固件，将再加料装置上的缆绳固定起来，不宜滑脱，使得一个石英埚产出更多的单晶硅，本紧固件简捷、实用，操作方便，容易更换。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种用于切克劳斯基法制造硅单晶再装料或籽晶装 置中钢绳的的紧固件
技术介绍
半导体硅单晶体大约85%用切克劳斯基(Czochralski)法制造。在这 种方法中，多晶硅被装进石英埚内，加热熔化，然后，将熔硅略做降温， 给予一定的过冷度，把一支特定晶向的硅单晶体(称做籽晶)与熔体硅接 触，通过调整熔体的温度和籽晶向上提升速度，使籽晶体长大至近目标直 径时，提高提升速度，使单晶体近恒直径生长。在生长过程的尾期，此时 埚内的硅熔体尚未完全消失，通过增加晶体的提升速度和调整向埚的供热 量将晶体直径渐渐减小而形成一个尾形锥体，当锥体的尖足够小时，晶体 就会与熔体脱离，从而完成晶体的生长过程。直拉硅单晶在制造时大致分为这么几个阶段装多晶料、抽空、多晶 硅熔化、颈及肩的生长、等直径生长、尾部晶体的生长、晶体冷却，其中 大部分过程是吸热过程。 一般一个埚只拉一支晶棒。如果第一支晶体拉完 后，保持炉内的温度，将单晶棒上升并冷却后取出，再加入多晶硅(这时 可能要一个装置)，熔化这些硅后，再拉第二支单晶棒，同理，这个过程 可以重复多次，这就是所谓的"用再加料"方法， 一个埚可以拉几支晶棒。这个过程中，要解决如何联接缆绳，以前的联接方法有以下几种焊 接，就是加热使缆绳端熔为一体，缺点绳子结构受损，强度下降，也不 便于操作；热压，加热使缆绳接近熔化，然后施加压力，使其联接在一起， 缺点不便于操作；打结，象线绳结扣一样，缺点精度差，易滑脱。本 装置有联接快速、牢靠有效的特点。 专利技术目的本技术的目的是提供一种用于切克劳斯基法制造硅单晶再装料 或籽晶装置中钢绳的紧固件，该禁固件简捷、实用，可用于软缆绳的联接。为达到上述目的，本技术采用以下技术方案这种用于切克劳斯 基(直拉)法制造硅单晶再装料或籽晶装置中钢绳的紧固件，它至少含有一组由一个开有槽、且该槽通至螺丝的另一面的螺丝，和与该螺丝相配合 的螺母。所述的通至螺丝的另一面的槽还通至螺丝长度方向的端面。 本技术的优点是使用本紧固件，将再加料装置上的缆绳固定起来，不宜滑脱，使得一个石英埚产出更多的单晶硅，本紧固件简捷、实用，操作方便，容易更换。附图说明图1是切克劳斯基(直拉)法制造硅单晶的装置剖面图。 图2是已有的再加料机构的示意图。图3a是本技术的一种紧固件的结构示意图。 图3b是本技术的另一种紧固件的结构示意图 图4a是图3a紧固件的安装使用图。 图4b是图3b紧固件的安装使用图。具体实施方式图1是切克劳斯基(直拉)法制造的硅单晶的装置剖面图。如图1所 示，1为籽晶(一种特定晶向的硅单晶体)、硅熔体13、石英埚16、硅单 晶棒3、晶体生长室5、保温材料8、发热体7、出气口9，加热体14。操作的顺序是这样的先将石英埚放入石墨埚支持器内，把多晶硅材 料放入石英埚内，装上特定晶向的籽晶，合上炉室，并抽真空，然后加热 使硅熔化，等硅完全熔化后，逐步降至熔硅的温度至硅的熔点附近。让石 英埚和籽晶反向旋转，将硅籽晶慢慢下降，并与熔硅接触，然后以一定的 速度向上提升籽晶，此过程的目的主要是消除籽晶中因热冲击形成的位错 缺陷。待籽晶提升到一定长度时，将提升速度减慢，同时略降低熔体的温 度，使籽晶直径加大，当籽晶直径增大到比目标直径约低IO毫米左右时， 增加提升速度，使晶体近乎等直径生长。在石英埚内存储硅料不多时，再 提高提升速度，同时适当增加加热的功率，使晶体直径变化至一个倒锥形， 当锥尖足够小时，它会脱离硅熔体，这时晶体的生长过程结束。等晶体冷 却到近乎室温时，可将晶体取下。图2是已有再加料机构的结构示意图。本装置包括支臂21、中杆23 、外筒22，中杆位于外筒22的中部，锥25接在中杆的下端，硅料24位 于外筒22和中杆23之间的环形内，本装置中，环形的外筒的底边呈锥形，正好与锥形底托的角度相同，外筒正好能压在底托的面上。工作的原理是硅料2 4装在由外筒22和锥25组成的空腔内，并由 与锥相联的中杆提供向上的力悬挂。支臂21位于炉上方支架上，本机构 的其它部件开始时均处在最高位置，当中杆连同这些部件一起下降时，外筒22的外法兰边会碰到支臂21而使外筒22向下的运动停止，使外筒22 的底面与锥上面产生缝隙，当缝隙足够大时，硅料就从缝中间滑落下来， 从而完成了加料的操作。这里的硅料可以是任何形状的硅料，包括块、片、粒、粉等。 图3a、图3b分别表示两种紧固件，图3a显示的紧固件包括 一个开 有槽的螺丝26，且该槽通至螺丝的另一面，还有与该螺丝26相配合的螺 母27。由于孔没有打到螺丝的端面，要联接的两根绳子从孔中穿过，然后 用螺母压紧。图3b显示的紧固件包括 一个开有槽的螺丝28，且该槽通 至螺丝的另一面，同时，在长度方向，槽通到螺丝的端面，要联接的两根 绳子既可从孔中穿过，也可以从端面沿打开的口子进入，然后用螺母27 压紧。图4a、图4b是缆绳联接装置的实际使用示意图。图4a是采用图3a 的紧固件，图4 b是采用图3b的紧固件。图中，26、 28为螺丝，27为螺 母，29为缆绳，两种联接时均用了五组本技术的紧固件，这样才安全。权利要求1、一种用于切克劳斯基法制造硅单晶再装料或籽晶装置中钢绳的紧固件，其特征在于它至少含有一组由一个开有槽、且该槽通至螺丝的另一面的螺丝，和与该螺丝相配合的螺母。2、 根据权利要求1所述的一种用于切克劳斯基法制造硅单晶再装料 或籽晶装置中钢绳的紧固件，其特征在于所述的通至螺丝的另一面的 槽还通至螺丝长度方向的端面。3、 根据权利要求1或2所述的一种用于切克劳斯基法制造硅单晶再 装料或籽晶装置中钢绳的紧固件，其特征在于它含有五组。专利摘要一种用于切克劳斯基法制造硅单晶再装料或籽晶装置中钢绳的紧固件，它至少含有一组由一个开有槽、且该槽通至螺丝的另一面的螺丝，和与该螺丝相配合的螺母。使用本紧固件，将再加料装置上的缆绳固定起来，不宜滑脱，使得一个石英埚产出更多的单晶硅，本紧固件简捷、实用，操作方便，容易更换。文档编号C30B15/00GK201232093SQ20082010945公开日2009年5月6日 申请日期2008年7月25日 优先权日2008年7月25日专利技术者彬 崔, 张果虎, 戴小林, 王学锋 申请人:北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于切克劳斯基法制造硅单晶再装料或籽晶装置中钢绳的紧固件，其特征在于：它至少含有一组由一个开有槽、且该槽通至螺丝的另一面的螺丝，和与该螺丝相配合的螺母。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张果虎，戴小林，崔彬，王学锋，
申请(专利权)人：北京有色金属研究总院，有研半导体材料股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]