【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种半导体行业的晶体生长炉部件，采用这种部件可实现插板阀阀盖的内水冷，水冷管在阀内随阀板移动而不通过动密封，并用单连杆实现阀盖的启闭。
技术介绍
目前公知的用直拉法(切克劳斯基法)生长的晶体生长炉，需要在主副室之间设隔离阀。其阀盖需水冷。若采用插板阀，已知的插板阀水冷管为外置型，存在动密封及尺寸大的问题，已知的阀盖轴向位移要用四连杆机构，结构复杂。本插板阀水冷软管内置，使用可靠，尺寸小，用单连杆实现阀盖轴向启闭，简单可靠。
技术实现思路
为了克服插板阀水冷管外置存在动密封及尺寸大，四连杆机构结构复杂等问题，本技术设计提供了一种晶体生长炉的插板阀部件，该部件采用水冷管内置，单连杆机构，尺寸小，使用简单可靠。本技术采用的技术方案是阀盖水冷用的进出水软管通过进出水管座装在阀体内，在阀盖随导板做平面移动时软管在阀体内随阀盖移动。阀盖与导板之间只用一个连杆联结，并通过弹簧和顶杆平面紧贴，通过手把实现阀盖随导板做平面开合和轴向启闭。本技术的有益效果是在目前公知的水冷阀板的插板阀中，在通径相同的前提下，本插板阀结构简单，尺寸最小，使用可靠。附图说明图1是本技术实施例剖面构造的主视图图2是本技术实施例剖面构造的俯视图图3是本技术实施例原理的主视图图4是本技术实施例原理的俯视图图中1阀盖 2导板 3连杆 4弹簧 5阀体 6顶杆 7进水管座 8出水管座 9出水软管 10进水软管 11手把具体实施方式图示插板阀按截止状态画出，阀盖1通过连杆3与导板2相联，通过弹簧4，顶杆6及连杆使阀盖在截止前与导板平面相合，阀体5外面的进水管座7和出水管座8伸入阀体...
【技术保护点】
一种用于晶体生长炉的插板阀部件，其特征在于：阀盖水冷用的进出水软管设置在阀体内部，阀盖与导板之间用一个连杆相连，并通过顶杆和弹簧实现平面贴紧。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李润源，付一凡，周世增，
申请(专利权)人：北京京仪世纪自动化设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]
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