【技术实现步骤摘要】
本技术属于自卸机构,特别是指一种低氧碳单晶硅复投料自卸机构。
技术介绍
石英坩埚、电能是直拉单晶硅工艺过程中的两大最重要的消耗,直接关系到单晶硅的生产成本,现有直拉单晶硅工艺过程中采用一次加料,石英坩埚在生产过程中为一次性消耗、生产成本及电能消耗大、工人的劳动强度高。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种低氧碳单晶硅复投料自卸机构以克服现有技术之不足。本技术的整体结构是它包括设置于料筒2内壁的筒状衬板3,在筒状衬板3的侧壁下方活络设置有由三角形或扇形挡板7组成的圆锥状或棱锥状筒底,挡板7的上部与筒状衬板3活络连接,挡板7的中下部与摇杆5下端活络连接,拉杆1垂直设置于料筒2内腔中,摇杆5的上端与拉杆1下端横向设置的连杆4活络连接,料筒2外壁设置有限位块6。本技术的具体结构还有摇杆5上端和下端分别与连杆4及挡板7为铰接。挡板7上部与筒状衬板3的侧壁下部为铰接。拉杆1通过开设于料筒2顶部的开孔与料筒2穿接滑动配合,拉杆1中部设置有行程限位块8。本技术所取得的技术进步在于本技术的整体结构设计合理,零部件选配得当,除能充分满足现有生产过程中的工艺条件要求外,可大幅度提高石英坩埚的利用率,降低生产过程中的电消耗,降低操作工人的劳动强度。附图说明本技术的附图有图1是本技术的结构示意图。图2是图1的A向视图。具体实施方式以下结合附图对本技术的实施例作进一步描述本实施例的整体结构如图示,其中挡板7为三角形,共有四块,其中相对的两块与四方筒形衬板3的相应侧壁为固定连接,另外两块与四方筒形衬板3的相应侧壁为活动铰接,拉杆1为两根,其顶部与水平横杆相连且相互平行,其余结构如前述。 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:任丙彦,王会贤,吴树田,曹中谦,张立科,王滢赞,
申请(专利权)人:河北省宁晋县晶隆半导体厂,宁晋县电子材料研究所,
类型:实用新型
国别省市:
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