低氧碳单晶硅复投料自卸机构制造技术

技术编号:1830206 阅读:287 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
低氧碳单晶硅复投料自卸机构,其特征在于它包括设置于料筒(2)内壁的筒状衬板(3),在筒状衬板(3)的侧壁下方活络设置有由三角形或扇形挡板(7)组成的圆锥状或棱锥状筒底,挡板(7)的上部与筒状衬板(3)活络连接,挡板(7)的中下部与摇杆(5)下端活络连接,拉杆(1)垂直设置于料筒(2)内腔中,摇杆(5)的上端与拉杆(1)下端横向设置的连杆(4)活络连接,料筒(2)外壁设置有限位块(6)。(*该技术在2011年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术属于自卸机构,特别是指一种低氧碳单晶硅复投料自卸机构
技术介绍
石英坩埚、电能是直拉单晶硅工艺过程中的两大最重要的消耗,直接关系到单晶硅的生产成本,现有直拉单晶硅工艺过程中采用一次加料,石英坩埚在生产过程中为一次性消耗、生产成本及电能消耗大、工人的劳动强度高。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种低氧碳单晶硅复投料自卸机构以克服现有技术之不足。本技术的整体结构是它包括设置于料筒2内壁的筒状衬板3,在筒状衬板3的侧壁下方活络设置有由三角形或扇形挡板7组成的圆锥状或棱锥状筒底,挡板7的上部与筒状衬板3活络连接,挡板7的中下部与摇杆5下端活络连接,拉杆1垂直设置于料筒2内腔中,摇杆5的上端与拉杆1下端横向设置的连杆4活络连接,料筒2外壁设置有限位块6。本技术的具体结构还有摇杆5上端和下端分别与连杆4及挡板7为铰接。挡板7上部与筒状衬板3的侧壁下部为铰接。拉杆1通过开设于料筒2顶部的开孔与料筒2穿接滑动配合,拉杆1中部设置有行程限位块8。本技术所取得的技术进步在于本技术的整体结构设计合理,零部件选配得当,除能充分满足现有生产过程中的工艺条件要求外,可大幅度提高石英坩埚的利用率,降低生产过程中的电消耗,降低操作工人的劳动强度。附图说明本技术的附图有图1是本技术的结构示意图。图2是图1的A向视图。具体实施方式以下结合附图对本技术的实施例作进一步描述本实施例的整体结构如图示,其中挡板7为三角形,共有四块,其中相对的两块与四方筒形衬板3的相应侧壁为固定连接,另外两块与四方筒形衬板3的相应侧壁为活动铰接,拉杆1为两根,其顶部与水平横杆相连且相互平行,其余结构如前述。本技术是这样工作的当装置装料时,提升拉杆1,挡板7在拉杆1下部的摇杆5的带动下向拉杆1旋转,并形成一个封闭的筒底;从装置的顶部装料后操纵拉杆1缓慢下降料筒2,当料筒2外壁表面设置的限位块6受到副室上沿的阻挡时,继续降下料筒2,挡板7在物料重力的作用下逐渐张开,料筒2内的原料流入石英坩埚内完成自动卸料。权利要求1.低氧碳单晶硅复投料自卸机构,其特征在于它包括设置于料筒(2)内壁的筒状衬板(3),在筒状衬板(3)的侧壁下方活络设置有由三角形或扇形挡板(7)组成的圆锥状或棱锥状筒底,挡板(7)的上部与筒状衬板(3)活络连接,挡板(7)的中下部与摇杆(5)下端活络连接,拉杆(1)垂直设置于料筒(2)内腔中,摇杆(5)的上端与拉杆(1)下端横向设置的连杆(4)活络连接,料筒(2)外壁设置有限位块(6)。2.根据权利要求1所述的低氧碳单晶硅复投料自卸机构,其特征在于所述的摇杆(5)上端和下端分别与连杆(4)及挡板(7)为铰接。3.根据权利要求1所述的低氧碳单晶硅复投料自卸机构,其特征在于所述的挡板(7)上部与筒状衬板(3)的侧壁下部为铰接。4.根据权利要求1所述的低氧碳单晶硅复投料自卸机构,其特征在于拉杆(1)通过开设于料筒(2)顶部的开孔与料筒(2)穿接滑动配合,拉杆(1)中部设置有行程限位块(8)。专利摘要本技术属于自卸机构,特别是指一种低氧碳单晶硅复投料自卸机构。它包括设置于料筒内壁的筒状衬板,在筒状衬板的侧壁下方活络设置有由三角形或扇形挡板组成的圆锥状或棱锥状筒底,挡板的上部及中下部分别与筒状衬板和摇杆下端活络连接,拉杆垂直设置于料筒内腔中,摇杆的上端与拉杆下端横向设置的连杆活络连接,料筒外壁设置有限位块。本技术解决了现有技术生产成本及电能消耗大、工人的劳动强度高等问题。本装置结构设计合理,零部件选配得当,除能充分满足现有生产过程中的工艺条件要求外,可大幅度提高石英坩埚的利用率,降低生产过程中的电消耗和操作工人的劳动强度。文档编号C30B15/00GK2510507SQ0126543公开日2002年9月11日 申请日期2001年9月24日 优先权日2001年9月24日专利技术者任丙彦, 王会贤, 吴树田, 曹中谦, 张立科, 王滢赞 申请人:河北省宁晋县晶隆半导体厂, 宁晋县电子材料研究所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:任丙彦王会贤吴树田曹中谦张立科王滢赞
申请(专利权)人:河北省宁晋县晶隆半导体厂宁晋县电子材料研究所
类型:实用新型
国别省市:

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