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晶体生长系统中的可旋转多坩埚支撑装置制造方法及图纸

技术编号:1830191 阅读:226 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种晶体生长系统中的可旋转多坩埚支撑装置,它包括电源,升降电机,与升降电机连接的引下装置,与引下装置连接的升降台,以及位于升降台上的坩埚导向管支架和导向管支架上的坩埚导向管,其特征在于:每个导向管支架的下端设置有旋转轴,旋转轴贯穿升降台,旋转轴下端伸出升降台的部分分别连接有互相啮合的齿轮,其中一个旋转轴比其它旋转轴长,该较长旋转轴上的齿轮通过联轴器连接一固定在升降台上的旋转电机。它可广泛应用于晶体生长系统。(*该技术在2016年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种晶体生长系统中的可旋转多坩埚支撑装置,包括电源,升降电机,与升降电机连接的引下装置,与引下装置连接的升降台,以及位于升降台上的坩埚导向管支架和导向管支架上的坩埚导向管,其特征在于:每个导向管支架的下端设置有旋转轴,旋转轴贯穿升降台,旋转轴下端伸出升降台的部分分别连接有互相啮合的齿轮,其中一个旋转轴比其它旋转轴长,该较长旋转轴上的齿轮通过联轴器连接一固定在升降台上的旋转电机。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:万尤宝刘俊星
申请(专利权)人:嘉兴学院嘉兴市晶英光电子技术有限公司
类型:实用新型
国别省市:33[中国|浙江]

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