铝靶材制作方法技术

一种铝靶材的制作方法，首先形成铝板，对所述铝板进行喷砂，将喷砂后的铝板制作成铝靶材。由于金属铝具有延展性强且硬度低的特点，采用滚压的抛光方式易将杂质压入金属内部，使其难以去除。喷砂方式是采用压缩空气为动力，以形成高速喷射束将喷料高速喷射到需要处理的工件表面，由于砂粒对工件表面的冲击和切削作用，使工件的表面获得一定的清洁度。因此采用喷砂方式可以有效避免抛光所带来的问题，从而提高形成铝靶材的洁净度。此外，相较于抛光方式，喷砂方式去除铝板表面氧化物及其杂质的速率较高，从而提高了生产效率。

Making method of aluminum target

A method for manufacturing aluminum target is first formed by aluminum plate, sand blasting is carried out on the aluminum plate, and the aluminum plate after blasting is made into aluminum target. Because metal aluminum has the characteristics of high ductility and low hardness, the roller polishing method is easy to squeeze impurities into the metal and make it difficult to remove. The method of sand blasting is to use compressed air as the power to form high speed jet beam to the surface of the workpiece to be treated at high speed. Due to the impact and cutting effect of the sand on the workpiece surface, the surface of the workpiece can get a certain degree of cleanliness. Therefore, sandblasting can effectively avoid the problems caused by polishing, thus improving the cleanliness of aluminum targets. In addition, compared with the polishing method, the sand blasting method can remove the oxide and impurity on the surface of the aluminum plate, thus improving the production efficiency.

【技术实现步骤摘要】
铝靶材制作方法
本专利技术涉及靶材制造领域，尤其涉及一种铝靶材制作方法。
技术介绍
物理气相沉积(PVD，PhysicalVaporDeposition)技术是半导体工业等多种行业的核心技术。它主要是利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体发生电离，利用电场加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。因此，所述靶材的纯度和洁净度至关重要。一般制备靶材产品的方法包括：提供符合靶材性能的金属，例如高纯度铝(一般为99.999％)；对所述金属进行预热、挤压成型、粗加工和精加工等工艺，最后加工成尺寸合格的靶材产品。然而，所述挤压成型工艺、热处理等步骤容易使所述金属的洁净度降低，从而导致所形成的靶材性能下降。
技术实现思路
本专利技术解决的问题是提供一种铝靶材的制作方法，以提高铝靶材的洁净度。为解决上述问题，本专利技术提供一种铝靶材的制作方法，所述方法包括：形成铝板；对所述铝板进行喷砂；将喷砂后的铝板制作成铝靶材。可选的，所述喷砂包括采用白刚玉做砂粒。可选的，所述喷砂的喷砂压力在3千克/平方厘米～5千克/平方厘米的范围内。可选的，在进行所述喷砂之后，所述制作方法还包括：将所述喷砂后的铝板置于异丙醇溶液或纯水中进行喷砂后清洗。可选的，进行所述喷砂后清洗的过程中采用超声波振荡9分钟～11分钟。可选的，将喷砂后的铝板制作成铝靶材的步骤中，所述制作方法还包括：将喷砂后的铝板制作成铝方片，对所述铝方片进行酸洗。可选的，所述酸洗的步骤包括：将所述铝方片放入航空煤油中浸泡，进行第一清洗；第一清洗之后，将所述铝方片移至异丙醇溶液，进行第二清洗；第二清洗之后，通过酸液对所述铝方片进行第三清洗；通过纯水清洗所述铝方片，去除酸液残留；对所述铝方片进行真空干燥。可选的，在进行所述酸洗的步骤中，将所述铝方片放置在滚筒中进行所述第一清洗、所述第二清洗及所述第三清洗；进行所述第一清洗及第二清洗的步骤中，所述滚筒保持静止；进行所述第三清洗的步骤中，使所述滚筒保持滚动。可选的，在进行所述第一清洗、所述第二清洗及所述纯水清洗的步骤中，对所述铝方片进行超声波振荡。可选的，在所述第一清洗的步骤中，进行超声波振荡的时间为10分钟～20分钟；在所述第二清洗的步骤中，进行超声波振荡的时间为5分钟～15分钟；在所述纯水清洗的步骤中，进行超声波振荡的时间为5分钟～10分钟。可选的，所述酸液为硝酸与氢氟酸的混合酸，其中硝酸质量比为15％～20％，氢氟酸质量比为1％～3％；酸洗时间为3分钟～5分钟。可选的，所述真空干燥的真空度为0.01帕斯卡～0.03帕斯卡，温度为60摄氏度～80摄氏度，干燥时间为50分钟～70分钟。可选的，将酸洗后的铝方片放置于无尘室中进行清洗处理、干燥及包装。可选的，所述清洗处理、干燥及包装的步骤包括：将所述铝方片置于异丙醇溶液中进行清洗处理；将清洗处理后的所述铝方片进行干燥；将干燥后的所述铝方片进行包装。可选的，进行所述清洗处理时采用超声波振荡5分钟～15分钟。可选的，所述干燥的步骤包括：将清洗处理后的所述铝方片置于真空干燥箱内，所述真空干燥的真空度为0.01帕斯卡～0.03帕斯卡，温度为60摄氏度～80摄氏度，干燥时间为50分钟～70分钟。可选的，形成所述铝板的步骤包括：提供金属料件，所述金属料件为铝；对所述金属料件进行锻打，制作成铝锭；对所述铝锭进行压延，制作成所述铝板。可选的，所述锻打的步骤包括：对所述金属料件进行锻打预热；对预热后的金属料件进行锻打成型，制作成铝锭；将所述铝锭进行冷却处理。可选的，所述锻打预热的预定温度范围在250摄氏度～350摄氏度。可选的，所述锻打变形量的范围在30％～60％。可选的，所述冷却处理的方法为将所述铝锭在锻打成型后2分钟之内置于常温水中冷却。可选的，所述压延的步骤包括：对所述铝锭进行粗轧，制作成粗轧铝板；将所述粗轧铝板进行精轧，制作成所述铝板。可选的，所述粗轧的步骤包括：将所述铝锭用粗轧机压延至厚度为10mm至20mm的粗轧铝板，所述粗轧的每道次压下量小于10mm。可选的，所述精轧的步骤包括：将所述粗轧铝板精轧至厚度为1.8mm至2.2mm的铝板，所述精轧的每道次压下量小于3mm。可选的，在所述粗轧之后，在所述精轧之前，所述方法还包括，将所述粗轧铝板进行分切。与现有技术相比，本专利技术的技术方案具有以下优点：本专利技术方案中，首先形成铝板，对所述铝板进行喷砂，将喷砂后的铝板制作成铝靶材。由于金属铝具有延展性强且硬度低的特点，采用滚压的抛光方式易将杂质压入金属内部，使其难以去除。喷砂方式是采用压缩空气为动力，以形成高速喷射束将喷料高速喷射到需要处理的工件表面，由于砂粒对工件表面的冲击和切削作用，使工件的表面获得一定的清洁度。因此采用喷砂方式可以有效避免抛光所带来的问题，从而提高形成铝靶材的洁净度。此外，相较于抛光方式，喷砂方式去除铝板表面氧化物及其杂质的速率较高，从而提高了生产效率。可选方案中，通过所述喷砂的方式去除铝板表面的氧化层及表面附着物，所述喷砂采用的是白刚玉(AL2O3)粒度砂。由于铝板表面所形成的的氧化物绝大部分为AL2O3，因此采用白刚玉(AL2O3)粒度砂不会引入除铝以外的其他元素，从而提高所述铝靶材的洁净度。可选方案中，将喷砂后的铝板制作成铝方片，对所述铝方片进行酸洗。首先，由于将铝板制作成了铝方片，使得酸洗的过程更易操作，提高了生产效率。其次，所述酸洗可以去除掉喷砂过程中形成的砂粒，通过AL2O3与酸液反应还可以进一步去除所述铝板表面的氧化物及杂质，从而得到高洁净度的铝靶材。附图说明图1是本专利技术铝靶材制作方法的流程示意图；图2是图1所示实施例步骤S1的流程示意图；图3是图2中步骤S12的流程示意图；图4是本专利技术实施例中所述酸洗步骤的流程示意图。具体实施方式由
技术介绍
可知，现有技术形成靶材的过程中，采用滚压的抛光方式易将杂质压入金属内部，使其难以去除，从而降低了形成靶材的洁净度，导致所形成的靶材性能不良。为解决所述技术问题，本专利技术提供一种铝靶材的制作方法，所述方法包括：形成铝板；对所述铝板进行喷砂；将喷砂后的铝板制作成铝靶材。本专利技术首先形成铝板，对所述铝板进行喷砂，将喷砂后的铝板制作成铝靶材。由于金属铝具有延展性强且硬度低的特点，采用滚压的抛光方式易将杂质压入金属内部，使其难以去除。喷砂方式是采用压缩空气为动力，以形成高速喷射束将喷料高速喷射到需要处理的工件表面，由于砂粒对工件表面的冲击和切削作用，使工件的表面获得一定的清洁度。因此采用喷砂方式可以有效避免抛光所带来的问题，从而提高形成铝靶材的洁净度。此外，相较于抛光方式，喷砂方式去除铝板表面氧化物及其杂质的速率较高，从而提高了生产效率。为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施例做详细的说明。参考图1，图1是本专利技术铝靶材的制作方法一实施例的的流程示意图，所述铝靶材的制作方法包括以下基本步骤：步骤S1：形成铝板；步骤S2：对所述铝板进行喷砂；步骤S3：将喷砂后的铝板制作成铝靶材。为了更好地说明本专利技术实施例的铝靶材的制作方法，下面将结合参考图2至图4，对本专利技术的具体实施例做进一步的描述。参考图2，示出了图1所示实施例步骤S1的流程示意图。形成所述铝板的方法包括：步骤S11：提供金属料件，所述金属料件为铝。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种铝靶材的制作方法，其特征在于，包括：形成铝板；对所述铝板进行喷砂；将喷砂后的铝板制作成铝靶材。

【技术特征摘要】
1.一种铝靶材的制作方法，其特征在于，包括：形成铝板；对所述铝板进行喷砂；将喷砂后的铝板制作成铝靶材。2.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述喷砂包括采用白刚玉做砂粒。3.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述喷砂的喷砂压力在3千克/平方厘米～5千克/平方厘米的范围内。4.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，在进行所述喷砂之后，所述制作方法还包括：将所述喷砂后的铝板置于异丙醇溶液或纯水中进行喷砂后清洗。5.如权利要求4所述的制作方法，其特征在于，进行所述喷砂后清洗的过程中采用超声波振荡9分钟～11分钟。6.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，将喷砂后的铝板制作成铝靶材的步骤中，所述制作方法还包括：将喷砂后的铝板制作成铝方片，对所述铝方片进行酸洗。7.如权利要求6所述的制作方法，其特征在于，所述酸洗的步骤包括：将所述铝方片放入航空煤油中浸泡，进行第一清洗；第一清洗之后，将所述铝方片移至异丙醇溶液，进行第二清洗；第二清洗之后，通过酸液对所述铝方片进行第三清洗；通过纯水清洗所述铝方片，去除酸液残留；对所述铝方片进行真空干燥。8.如权利要求7所述的制作方法，其特征在于，在进行所述酸洗的步骤中，将所述铝方片放置在滚筒中进行所述第一清洗、所述第二清洗及所述第三清洗；进行所述第一清洗及第二清洗的步骤中，所述滚筒保持静止；进行所述第三清洗的步骤中，使所述滚筒保持滚动。9.如权利要求7所述的制作方法，其特征在于，在进行所述第一清洗、所述第二清洗及所述纯水清洗的步骤中，对所述铝方片进行超声波振荡。10.如权利要求7所述的制作方法，其特征在于，在所述第一清洗的步骤中，进行超声波振荡的时间为10分钟～20分钟；在所述第二清洗的步骤中，进行超声波振荡的时间为5分钟～15分钟；在所述纯水清洗的步骤中，进行超声波振荡的时间为5分钟～10分钟。11.如权利要求7所述的制作方法，其特征在于，所述酸液为硝酸与氢氟酸的混合酸，其中硝酸质量比为15％～20％，氢氟酸质量比为1％～3％；酸洗时间为3分钟～5分钟。12.如权利要求7所述的制作方法，其特征在于，所述真空干燥的真空度为0.01帕斯卡～0.03帕斯卡，温度为60摄氏度～80摄氏度，干燥时间为5...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，相原俊夫，王学泽，曹欢欢，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33